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公开(公告)号：CN102207119B
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201110062741.9
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种双螺母同轴联接机构，结构合理，能够适应正反转交变扭矩、具有高同轴回转精度、高可靠性、无空回程、高效率传递扭矩、节省空间。通过控制传动轮(1)、传动轴(4)的加工精度，可以控制其联接精度。通过两个螺母的拧紧力使其贴合面产生很大的静摩擦力，而扭矩的传递完全是通过摩擦力来实现的。此外，由于紧固螺钉承受拉力使螺距产生微观拉长，形成自锁不易松扣。
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公开(公告)号：CN101908497B
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201010225906.5
申请日：2010-07-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , B25J9/02 , B25J13/00 , B25J19/00
Abstract: 一种应用于洁净环境下的双臂传输机器人，用于高洁净度环境下、大直径半导体硅片的传输与高精度定点置放的。双臂传输机器人的结构形式为R-θ型，其工作原理是基于柱坐标系的空间结构，具有各运动轴可以独立控制的特点。双臂传输机器人主要由R轴左臂机构、R轴右臂机构、T轴旋转机构、Z轴升降机构等组成，并且采用了特殊的密封装置封闭传动机构对外部环境的污染，以适应高洁净度的生产环境要求。
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公开(公告)号：CN101865291B
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN201010225903.1
申请日：2010-07-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16J15/43
Abstract: 一种应用于高洁净环境下的磁流体密封结构，包括磁流体密封圈挡圈(1)、导磁套(2)、O型密封圈(3)、磁流体密封圈外接套(4)、联接螺钉(5)、磁流体密封圈(6)，所述磁流体密封结构将O型密封圈(3)套在磁流体密封圈外接套(4)外径的环型槽内；所述磁流体密封圈(6)装入磁流体密封圈外接套(4)的内径孔内，推至贴紧底面；所述磁流体密封圈挡圈(1)底面凸缘与磁流体密封圈外接套(4)内径相配合，使用联接螺钉(5)拧紧；所述导磁套(2)通过过盈配合装配在相对于磁流体密封机构旋转的心轴上。磁流体密封结构的系统(如R轴大臂)中的装配精度是通过精度替换法获得的。本发明的结构密封可靠。
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公开(公告)号：CN102126209B
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201110062737.2
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于硅片传输机器人的W轴差轴传动机构，以完成特殊位置的取放硅片工作流程；由于高度尺寸较小，适用于对高度方向尺寸有一定限制的R轴空间结构。本发明的W轴差轴传动机构，扩展了硅片传输机器人的使用范围，且安装过程简单，只需从R轴小臂末端拆除末端FORK手臂，重新安装在W轴差轴传动机构的输出端，并使用专用的底座使R轴小臂与W轴差轴传动机构相联接，重新调整控制程序后，即可调试及应用。
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公开(公告)号：CN102501227A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201110393208.0
申请日：2011-12-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25H1/00
Abstract: 基于差动杠杆原理的柔性铰链定位装置，它涉及一种大行程高分辨率微驱动定位装置，以克服现有柔性铰链定位平台存在大行程下高分辨率较难达到的缺点。第一杠杆、第二杠杆、第一输入平台、第二输入平台和输出平台均设置在杠杆致动腔内，第一杠杆与杠杆壳体内壁通过第一柔性铰链连接，第一输入平台与第一杠杆通过第二柔性铰链连接，第二杠杆与第一输入平台通过第三柔性铰链连接，第二输入平台与第二杠杆通过第四柔性铰链连接，输出平台与第二杠杆通过第五柔性铰链连接，输出平台与杠杆壳体内壁通过第六柔性铰链和两个第七柔性铰链连接，第一致动器驱动第一输入平台，第二致动器驱动第二输入平台。本发明用于亚毫米级运动行程的精密定位。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102277614A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201110137969.X
申请日：2011-05-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 制作熔锥型偏振器的小型加热炉装置，涉及制作熔锥型偏振器的装置，解决了目前没有结构简单、温度控制准确及稳定、适合偏振器制作工艺的小型加热炉装置的问题，它包括下炉体外壳、下炉体、上炉体、单端加热管、热电偶、接线端子、下炉腔、上炉腔、上炉体外壳和电源，下炉腔位于下炉体的上表面中间，单端加热管从炉体的右侧端嵌入到炉体的内部，热电偶从下炉体的右侧端中间嵌入到下炉体的内部，上炉腔位于上炉体的下表面中间，单端加热管从上炉体的右侧端嵌入到上炉腔，热电偶从炉体的右侧端中间嵌入到炉体的内部，热电偶连接在炉体温控表的输入端，用于制作熔锥型光纤偏振器。
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公开(公告)号：CN102200181A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN201110062758.4
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16H25/22 , F16H25/24 , H01L21/677
Abstract: 一种Z轴传动结构，使用三角支撑滑套(6)及三套LF型直线滚珠花键轴/直线滚珠衬套组合(3)替代立柱，作为主体支撑结构。由于LF型直线滚珠花键轴/直线滚珠衬套组合(3)具有很高的传动精度，而且安装在圆周内呈120°均布，因此使三角支撑滑套(6)只均匀地承受T轴与R轴机构的重量，而不会因受力不均产生额外的翻转力矩，极大的改善了受力状态，使Z轴传动结构更加合理。
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公开(公告)号：CN102157417A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110062743.8
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , B25J9/02 , B65G49/07 , B65G47/74
Abstract: 一种硅片传输机器人，用于完成较大传输空间的取放硅片工作流程。当取放硅片的位置相对于R轴回转半径过大而不能及、且行走轨迹较为复杂时，采用本发明的特殊结构的硅片传输机器人，能够简化R轴的工作路径和行走轨迹，化简程序编制的难度及工作量，并能有效的提高工作效率。特殊结构的硅片传输机器人之所以特殊，在于这种结构并没有传统意义上的R轴，而是在随T轴旋转的机箱盖上，通过铺设导轨滑块机构定位，以伺服电机带动丝杠丝母机构作为驱动，驱动左右活动臂前后平移；而左右活动臂上也铺设导轨滑块机构定位，以伺服电机带动丝杠丝母机构作为驱动，驱动左右取片臂前后平移，以完成特殊位置的取放硅片工作流程。
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公开(公告)号：CN102126209A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201110062737.2
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于硅片传输机器人的W轴差轴传动机构，以完成特殊位置的取放硅片工作流程；由于高度尺寸较小，适用于对高度方向尺寸有一定限制的R轴空间结构。本发明的W轴差轴传动机构，扩展了硅片传输机器人的使用范围，且安装过程简单，只需从R轴小臂末端拆除末端FORK手臂，重新安装在W轴差轴传动机构的输出端，并使用专用的底座使R轴小臂与W轴差轴传动机构相联接，重新调整控制程序后，即可调试及应用。
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