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公开(公告)号：CN101908497A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN201010225906.5
申请日：2010-07-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , B25J9/02 , B25J13/00 , B25J19/00
Abstract: 一种应用于洁净环境下的双臂传输机器人，用于高洁净度环境下、大直径半导体硅片的传输与高精度定点置放的。双臂传输机器人的结构形式为R-θ型，其工作原理是基于柱坐标系的空间结构，具有各运动轴可以独立控制的特点。双臂传输机器人主要由R轴左臂机构、R轴右臂机构、T轴旋转机构、Z轴升降机构等组成，并且采用了特殊的密封装置封闭传动机构对外部环境的污染，以适应高洁净度的生产环境要求。
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公开(公告)号：CN1962209B
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200610151113.7
申请日：2006-12-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种三支链六自由度并联柔性铰链微动机构。它包括基平台、动平台、设置于基平台上的驱动单元和通过柔性铰关节分别与驱动单元和动平台连接的三个支杆，所述的驱动单元包括安装在基平台上的三个弹性平板和与弹性平板相连的压电陶瓷驱动器，基平台上的三个弹性平板一体加工，每个弹性平板上连接两个压电陶瓷驱动器，两个压电陶瓷驱动器呈直角分布。本发明的三支链六自由度并联微动结构具有结构简洁紧凑，建模方便，装配误差小，有利于保证运动精度等优点。
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公开(公告)号：CN101508180A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200910071598.2
申请日：2009-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于花岗岩滑块的微冲压成型驱动设备，它涉及一种微冲压成型驱动设备。本发明解决了现有的基于双直线电机的微冲压驱动系统存在的摩擦大、热变形大以及定位和运行精度低的问题。本发明的滑块(6)由花岗岩材料制成，滑块(6)上开有至少四个安装孔(11)，每个安装孔(11)内嵌有一个连接套(10)，每个直线电机(2)的次级(8)通过连接套(10)与滑块(6)固接。本发明采用直线电机直接驱动花岗岩材料制成的滑块，避免了传动环节导致的误差累计，摩擦小，热变形小，大大降低了运动发热对定位精度的影响，提高了定位精度，更易于实现微冲压所需的高速度和高精度，另外本发明通过增加了连接套改善了滑块的受力情况，提高了运行精度。
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公开(公告)号：CN100511747C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200610151114.1
申请日：2006-12-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L41/107 , H02N2/00
Abstract: 本发明涉及的是一种基于电压与电流复合控制的压电陶瓷驱动电源。它包括压电陶瓷Z、连接于压电陶瓷两端的高压运算放大器A1和内外环复合控制电路，其中内环通过在压电陶瓷Z上串接反馈电阻R1构成电流控制环，外环通过运算放大器A2、电阻R2及连接于R2和A1输出端间的相互并联的可调电阻R4、可调电容C1构成比例积分控制器，实现外环的电压反馈。对压电陶瓷驱动电源进行测试，施加控制电压对压电陶瓷充电一段时间，以固定周期检测压电陶瓷的位移量，测得基于复合控制的压电陶瓷在范围是0-10μm时，最大带宽2.5kHz，最小稳定频率0.1Hz。开环阶跃响最小稳定时间为小于1ms，最小定位误差小于4nm。
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公开(公告)号：CN101327592A
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：CN200810064983.X
申请日：2008-07-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种集成压阻微力检测的四臂式MEMS微夹持器，它包括梳齿静电驱动结构、末端夹持结构、支撑结构和力检测结构，梳齿静电驱动结构由定齿和动齿组成，在定齿和动齿上加载电压，在静电力作用下，动齿向定齿运动，末端夹持结构设计四个夹持臂，中间的两个臂在动齿的驱动下向两侧的臂贴近，完成夹持；两侧的臂固定，上面集成了压阻，负责检测夹持力的大小。支撑结构将动齿悬空，并起到支撑作用，在静电力消失后利用自身弹性将动齿恢复到初始位置。力检测结构为夹持端的固定臂，在其根部两侧集成了侧壁压阻，实现对夹持力的检测，其中压阻结构、工艺简单，集成性好。整体结构加工在一片单晶硅上，通过硅玻璃键合，实现硅结构的支撑和绝缘。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101206481A
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200710144854.7
申请日：2007-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于双直线电机的高速高精度微冲压驱动系统，它涉及一种微型零件高速高精度微冲压成形驱动设备。本发明可解决传统成形设备的驱动装置，无法满足零件微塑性成形的问题。两个机架(2)与底座(1)的左、右端固接，两个支架(3)与两个机架(2)固接，滑块(8)装在两个支架(3)之间，滑块(8)的前、后端对称设置有直线电机(4)，直线电机(4)的初级(14)与支架(3)固接，直线电机(4)的次级(13)与滑块(8)固接，滑块(8)上固装有四条导轨(5)，导轨(5)与导轨滑块(6)的导轨滑槽(11)滑动配合，导轨滑块(6)与支架(3)固接，四条导轨(5)的正上方设置有与支架(3)固接的气动制动器(7)，光栅尺(9)固装在滑块(8)上，光栅尺探头(10)靠近光栅尺(9)设置且固装在机架(2)上。本发明能实现低成本、大批量微塑性零件成形。
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公开(公告)号：CN100362641C
公开(公告)日：2008-01-16
申请号：CN200510010591.1
申请日：2005-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种用于MEMS高温压力传感器自动阳极键合的加热装置。它包括底板，在底板上安装有支架，在支架上安装有加热块，加热块的四周设置有散热片，加热块的一侧加工有用来安放加热棒的圆孔，在加热块的另一侧有用来安装温度传感器的圆孔，加热棒和温度传感器安装在加热块上的相应的圆孔中，在加热块的一侧设置夹具和与夹具相配合的夹具气缸，夹具上带有复位弹簧，在加热块的另一侧设置封装头和封装头驱动气缸，夹具、封装头与其连接件之间有绝热连接器。本发明是基于PC控制的多路键合的加热炉装置。实现在上位机控制下多路加工点同时进行芯片键合功能，大大提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN1306248C
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：CN200510010287.7
申请日：2005-08-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 宏/微驱动的两自由度高加速度高精度的并联定位系统，它涉及一种运动定位系统。本发明解决了现有定位系统串联结构基层平台直线运动惯量大；并联结构解耦装置结构设计困难及多关节并联杆机构末端执行器竖直方向刚度差的问题。本发明的基座(1)上固定有轴线相互垂直的X轴直线驱动装置(2)和Y轴直线驱动装置(3)，X轴直线驱动装置(2)与X轴移动平台总成(8)固接，Y轴直线驱动装置(3)与Y轴移动平台总成(9)固接，X轴移动平台总成(8)与X轴末端平台(10)之间铰接有X轴平行连杆机构(12)，Y轴移动平台总成(9)与Y轴末端平台(11)之间铰接有Y轴平行连杆机构(13)，X轴末端平台(10)和Y轴末端平台(11)与末端输出平台(15)固接。本发明具有高精度高加速度的优点。
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公开(公告)号：CN1256220C
公开(公告)日：2006-05-17
申请号：CN200310107676.2
申请日：2003-11-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J9/08
Abstract: 六自由度-三支链缩放式混合并联机器人，它涉及并联机器人结构的改进。本发明平行四边形中的一号连杆(4)和二号连杆(12)的上端由横杆(8)一端的小轴(17)与其轴连接，平行四边形中的一号连杆(4)的下端与三号连杆(13)的上端由轴连接，平行四边形中的二号连杆(12)的下端与四号连杆(14)的上端由轴连接，平行四边形中的三号连杆(13)的下端与外电机(5)的输出轴由轴连接，本发明采用轴线相交于一点但不共面的三个转动副等效球副的连接形式，扩大了连杆的摆动范围，进而增大了机构的工作空间。本发明与相同尺寸的并联机器人相比，增大了工作范围，提高了运动灵活性，从人体工程学考虑，更适合人的操作空间。具有结构紧凑，运动惯量小，无回程间隙，低磨擦，可操作性好的优点。
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公开(公告)号：CN1544209A
公开(公告)日：2004-11-10
申请号：CN200310107676.2
申请日：2003-11-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J9/08
Abstract: 六自由度—三支链缩放式混合并联机器人，它涉及并联机器人结构的改进。本发明由上平台(1)、下平台(6)、三个支链(11)组成，三个支链(11)沿着下平台圆周周向均布设置，三个支链(11)的下端分别固定在下平台(6)的上平面上；三个支链(11)的上端分别与上平台(1)的下端相连接。本发明采用轴线相交于一点但不共面的三个转动副等效球副的连接形式，扩大了连杆的摆动范围，进而增大了机构的工作空间。本发明与相同尺寸的并联机器人相比，增大了工作范围，提高了运动灵活性，从人体工程学考虑，更适合人的操作空间。同现有的技术相比，具有结构紧凑，运动惯量小，无回程间隙，低摩擦，可操作性好的优点。
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