公开(公告)号：CN1862377A

公开(公告)日：2006-11-15

申请号：CN200610076905.2

申请日：2006-04-25

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 稻月判臣 ,  吉川博树 ,  丸山保 ,  冈崎智

IPC: G03F1/14 ,  G03F1/00 ,  C23C14/00

CPC classification number: G03F1/32 ,  Y10T428/31616

Abstract: 在对曝光光线透明的基板(1)上设置层合2层由金属硅化物的化合物(2a、2b)组成的层的相位偏移多层膜(2)。而且，在表面侧的金属硅化物的化合物(2b)表面上形成氧化稳定化层(2c)。相位偏移多层膜(2)中基板侧(下面)的层(2a)是金属组成相对高的金属硅化物的化合物，上面的层(2b)是金属组成相对低的金属硅化物的化合物。氧化稳定化层(2c)的金属含量为下面的层(2a)的金属含量的1/3或1/3以下(摩尔比)，为低金属组成，化学稳定性优异，显示高耐药品性。下面的层(2a)由具有较高金属含量的金属硅化物的化合物膜构成，因此，容易控制相位偏移多层膜的光学特性，能得到所希望的光学特性。