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公开(公告)号：CN102176423B
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201110062770.5
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 一种硅片传输机器人的Z轴双重限位机构。电子限位应用了光电传感器原理，属于无触点式的电子开关，限位精度高，无机械磨损、使用寿命长。机械硬限位使用金属材料，约束面积大、刚性高，有利于Z轴电机迅速产生过载力矩而报警断电，防止因电子限位失效而造成设备的其它损害。本发明限位作用可靠，在装配过程中无需调整。
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公开(公告)号：CN102126208B
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201110062722.6
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明在于提供一种用于硅片传输机器人的并联型R轴扩展机械臂，用于完成特殊位置的取放硅片工作流程。当取放硅片的位置相对于R轴回转半径变化不大而行走轨迹较为复杂时，采用并联型R轴扩展机械臂能够简化R轴的工作路径和行走轨迹，化简程序编制的难度及工作量，并能有效的提高工作效率。并联型R轴扩展机械臂的动力由独立的W/T轴电机和两个W/R轴电机提供，由计算机统一控制其工作程序；当R轴的工作轨迹在其回转半径内变化不大且呈现较为复杂状态时，并联型R轴扩展机械臂的W/T轴电机和两个W/R轴电机按计算机程序的控制，驱动执行机构开始作不同角度、不同方向的旋转，带动两个FORK组合按工作位置行进，从而额外获得以W/T轴和W/R轴为旋转中心、以前伸的FORK组合中心长度为半径的一组工作轨迹，以完成特殊位置的取放硅片工作流程。
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公开(公告)号：CN102169208A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110101233.7
申请日：2011-04-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B6/255
Abstract: 用于光纤熔融拉伸的高压电弧产生装置，涉及用于光纤熔融拉伸的高压电弧产生装置，解决了现有氢氧焰加热的方式难以保证精度，并且不宜在对防爆要求苛刻的环境中使用的问题，它包括右电极座、左电极座、右电极、左电极、电弧通道、石英中间立板和高压电源，右电极座位于石英中间立板的右侧，左电极座位于石英中间立板的左侧，且左电极座与右电极座相对于石英中间立板对称分布，右电极竖直放置在右电极座内，左电极竖直放置在左电极座内，石英中间立板顶部中间开有圆柱形孔槽的电弧通道，右电极的上端与电弧通道的右端相邻设置，左电极的上端与电弧通道的左端相邻设置，右电极、左电极分别连接在高压电源的两个输出端，用于光纤熔融拉伸。
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公开(公告)号：CN102152316A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110062744.2
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J17/00
Abstract: 一种硅片传输机器人R轴结构，具有更高的回转精度、联接刚度、结构简单、节省空间、特别适用于空间结构狭窄的硅片传输机器人R轴结构，包括R轴大臂外壳机构(1)、R轴大臂同步带及预紧机构(2)、同轴密封机构(3)、同步小带轮旋转机构(4)、同步大带轮旋转机构(5)、十字交叉轴承(6)、传动轴机构(7)、R轴小臂同步带及预紧机构(8)、R轴小臂外壳机构(9)等。本发明机构的特点，是使用1个十字交叉轴承(6)来取代传统结构中的一对角接触球轴承、轴承隔套、轴承压盖、轴承锁紧螺母等一系列零件组成的机构，使传动轴的长度有效减短，从而降低了R轴大小臂的高度空间，并由此引发一系列功能的改善。
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公开(公告)号：CN101508180B
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200910071598.2
申请日：2009-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于花岗岩滑块的微冲压成型驱动设备，它涉及一种微冲压成型驱动设备。本发明解决了现有的基于双直线电机的微冲压驱动系统存在的摩擦大、热变形大以及定位和运行精度低的问题。本发明的滑块(6)由花岗岩材料制成，滑块(6)上开有至少四个安装孔(11)，每个安装孔(11)内嵌有一个连接套(10)，每个直线电机(2)的次级(8)通过连接套(10)与滑块(6)固接。本发明采用直线电机直接驱动花岗岩材料制成的滑块，避免了传动环节导致的误差累计，摩擦小，热变形小，大大降低了运动发热对定位精度的影响，提高了定位精度，更易于实现微冲压所需的高速度和高精度，另外本发明通过增加了连接套改善了滑块的受力情况，提高了运行精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101865215A
公开(公告)日：2010-10-20
申请号：CN201010225878.7
申请日：2010-07-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种高精度的同轴联接机构，包括次级传动轮(1)、主传动轮轴(2)、联接板(3)，联接螺钉(4)；所述次级传动轮(1)底面具有止口，所述止口上均布第一组螺孔，所述主传动轮轴(2)上均布第二组螺孔，所述联接板(3)上设置有与所述次级传动轮(1)和主传动轮轴(2)上的螺孔相对应的沉头螺孔，所述次级传动轮(1)与所述主传动轮轴(2)间隙配合，所述联接板(3)设置在所述次级传动轮(1)的止口内，对正其沉头螺孔与主传动轮轴(2)配合端面的螺孔，以一组联接螺钉(4)放入联接板(3)的沉头螺孔内并拧紧，使联接板(3)底面与主传动轮轴(2)的端面紧固。螺纹变形自锁不易脱扣。
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公开(公告)号：CN101788257A
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：CN201010300293.7
申请日：2010-01-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于电容传感器的六自由度微位姿测量的装置及方法，涉及微位姿测量的装置及方法。本发明为了能够准确的获得微动机构的末端位姿。本发明的装置：三组电容传感器分别固定在外安装块的三个长方体上的通孔中，内安装块位于外安装块的正方形凹槽中，内安装块的三个互为相邻的表面分别与外安装块的三个内表面平行。本发明的方法：将内安装块的一个表面固定在待测微动机构上；采用三组电容传感器测量待测微动机构的六个自由度的位姿，获得测量结果。本发明适用于微动机构的微位姿的测量场合。
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公开(公告)号：CN100372088C
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200610009745.X
申请日：2006-02-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种MEMS高温压力传感器自动键合方法。它选择由台面、设置在台面上的物流台、操作手、加热炉和显微镜组成的自动键合机进行自动键合；自动键合机的操作手安装在由4个轴控制的4自由度操作手工作台上，加热炉安装在由2个轴控制的2自由度定位工作台上，显微镜安装在包括可上下运动的轴的显微镜自动调焦工作台上。本发明基于显微视觉的高精度、非接触式测量，实现了不论是正面还是反面MEMS高温压力传感器的高精度对准作业；融合视觉/微力觉信息，实现芯片和玻璃基的高精度、无损抓取和搬运；设备的高自动化程度使得其具有批量制造能力，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN1278838C
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN03132554.8
申请日：2003-08-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种微型零件的塑性成形设备——一种精密微塑性成形系统，它包括模具组件、至少二根电热棒(2)、施压机构(3)、进给机构(4)、温控组件和力传感器(6)，上冲头、下冲头和凹模共同完成坯料的塑性成形。模具组件的上方由下向上依次设置有施压机构(3)、力传感器(6)和进给机构(4)，温控组件与电热棒(2)相连接。电热棒(2)进行通电加热，温控组件通过控制电热棒(2)保证模座(1-2)保持在给定的恒温，由于加工成形的零件的外形尺寸都在微米级，加载速度稍快或位移量稍大所造成的微小失误都会给零件的质量带来极大影响，因此本发明的系统采用了压电陶瓷驱动器来施压，通过计算机控制加载速度和位移量，从而保证了加工质量。本发明具有设计合理、结构严谨和工作可靠的优点。
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公开(公告)号：CN1815705A
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN200510010591.1
申请日：2005-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种用于MEMS高温压力传感器自动阳极键合的加热装置。它包括底板，在底板上安装有支架，在支架上安装有加热块，加热块的四周设置有散热片，加热块上开有加热棒和温度传感器安装圆孔，加热棒和温度传感器安装在加热块中，在加热块的一侧设置夹具和与夹具相配合的夹具气缸，夹具上带有复位弹簧，在加热块的另一侧设置封装头和封装头驱动气缸，夹具、封装头与其连接件之间有绝热连接器。本发明是基于PC控制的多路键合的加热炉装置。实现在上位机控制下多路加工点同时进行芯片键合功能，大大提高生产效率。
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