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公开(公告)号：CN1260046C
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：CN200310107692.1
申请日：2003-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J7/00
Abstract: 本发明公开了一种用于夹持微小物体的夹持器——组合式微夹持器。它由导槽体(4)、电机(3)、螺母(5)、前支撑梁(6)、后支撑梁(8)、轴承(10)、弹簧(7)和两根压电悬梁(2)组成，前支撑梁(6)的下半部镶在导槽体(4)上表面上所开的导槽(4-1)中，电机设置在导槽体(4)的左端上，电机(3)的表面上开有精密螺纹的电机轴(3-1)穿入导槽体(4)中，电机轴(3-1)的自由端通过轴承(10)连接在导槽体(4)上，螺母(5)旋合在电机轴(3-1)上并且与前支撑梁(6)的下端固定连接，后支撑梁(8)固定在导槽体(4)的右端上，前支撑梁(6)与后支撑梁(8)之间设置有弹簧(7)，两根压电悬梁(2)分别设置在前支撑梁(6)和后支撑梁(8)的上端上。与其他微夹持器相比，本发明具有更大的通用性和适用性，具有很高的实用价值。
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公开(公告)号：CN1779936A
公开(公告)日：2006-05-31
申请号：CN200510010440.6
申请日：2005-10-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , B25J9/02 , B65G49/07 , B65G47/74
Abstract: 本发明提供的是一种二维并联驱动的硅片搬运机器人。它包括机体、导轨(2)、丝杠(3)、滚珠花键组合体、框架螺母(5)、套筒(6)、同步电机和同步轮I(7)、同步电机和同步轮II(8)、同步带结构I(9)、摇臂I(10)，轴I(12)、摇臂II(13)、同步带结构II(14)、轴II(15)、夹持机械手(16)和罩体(17)。本发明的机器人结构新颖紧凑，运动惯量小、重量轻，可实现R轴和Z轴的高速高精度运动性能。其中，R轴运动实现沿机器人旋转半径方向的直线运动，Z轴运动实现沿机器人竖直方向的直线运动。
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公开(公告)号：CN1731083A
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：CN200510010288.1
申请日：2005-08-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 双光栅位移传感器计数方式的位置检测装置及其检测方法，它具体涉及基于光栅位移传感器的大行程、高精度、高速度的位置检测装置及其方法，它是为了解决单个精密光栅尺无法同时达到大行程、高速度和高精度的位置检测要求的问题。本发明装置中微米级光栅位移传感器1和纳米级光栅位移传感器2的输出端分别连接计数及切换电路3的两个输入端。本发明采用双光栅位移传感器计数方式，即在高速运动阶段由微米级光栅位移传感器1检测高速位移；当进入低速运动时刻，由纳米级光栅位移传感器2检测系统运动位移。本发明解决了现有的位置检测单元测量高速度与高精度相矛盾的问题，达到了cm级的测量行程、m/s级的测量速度和nm级的测量精度。
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公开(公告)号：CN1544207A
公开(公告)日：2004-11-10
申请号：CN200310107692.1
申请日：2003-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J7/00
Abstract: 本发明公开了一种用于夹持微小物体的夹持器——组合式微夹持器。它由导槽体(4)、电机(3)、螺母(5)、前支撑梁(6)、后支撑梁(8)、轴承(10)、弹簧(7)和两根压电悬梁(2)组成，前支撑梁(6)的下半部镶在导槽体(4)上表面上所开的导槽(4－1)中，电机设置在导槽体(4)的左端上，电机(3)的表面上开有精密螺纹的电机轴(3－1)穿入导槽体(4)中，电机轴(3－1)的自由端通过轴承(10)连接在导槽体(4)上，螺母(5)旋合在电机轴(3－1)上并且与前支撑梁(6)的下端固定连接，后支撑梁(8)固定在导槽体(4)的右端上，前支撑梁(6)与后支撑梁(8)之间设置有弹簧(7)，两根压电悬梁(2)分别设置在前支撑梁(6)和后支撑梁(8)的上端上。与其他微夹持器相比，本发明具有更大的通用性和适用性，具有很高的实用价值。
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公开(公告)号：CN2701163Y
公开(公告)日：2005-05-18
申请号：CN200420018896.8
申请日：2004-04-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N2/14
Abstract: 驻波型压电马达驱动器，它具体是一种驻波型压电马达驱动器。晶振(1)的输出端接可编程逻辑控制器(2)的输入端，速度和方向控制信号从(5)的控制端输入，(5)的输出信号端通过模/数转换器(4)接(2)的速度控制端，(5)的方向输出信号端接(2)的方向控制端，(2)的四个驱动信号输出端分别连接谐振驱动电路(3)的四个信号输入端，(3)的一个输出端接压电马达(7)的一个输入端，(3)的另一个输出端分别通过第一方向开关电路(8)、第二方向开关电路(9)与(7)的另两个输入端相接，(2)的两个控制信号输出端分别接(8)、(9)的控制信号的输入端。本实用新型能够输出频率准确的激励信号，并具有低功耗、成本低、运行可靠的优点。
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