公开(公告)号：CN1240802C

公开(公告)日：2006-02-08

申请号：CN02804596.3

申请日：2002-01-31

Applicant: 三井金属鉱业株式会社

Inventor： 伊藤昭文 ,  望月直义 ,  渡边广幸 ,  内野义嗣 ,  下河原明

IPC: C09K3/14 ,  C01F17/00 ,  B24B57/04 ,  B24B37/00

CPC classification number: C09K3/14 ,  C01F17/0043 ,  C01P2006/12 ,  C01P2006/60 ,  C09K3/1409

Abstract: 本发明将研磨材料的色泽保持在一定范围内，或使其稳定含氟来提供一种研磨速度足够快、研磨缺陷较少的研磨特性优异的铈类研磨材料及其制造方法。铈类研磨材料可以为以下材料：是以氧化铈为主要成分的铈类研磨材料，在用L*a*b*色度体系表示其色泽时，是L*值在65以上、90以下；a*值在0以上、15以下；b*值在10以上、30以下的铈类研磨材料。

公开(公告)号：CN1527870A

公开(公告)日：2004-09-08

申请号：CN02806168.3

申请日：2002-03-08

Applicant: 三井金属鉱业株式会社

Inventor： 伊藤昭文 ,  望月直义 ,  牛山和哉 ,  渡边广幸

IPC: C09K3/14 ,  B24B57/02 ,  H01L21/304

CPC classification number: C03C19/00 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1436 ,  C09K3/1445 ,  C09K3/1463 ,  Y10T428/256 ,  Y10T428/2991 ,  Y10T428/2993

Abstract: 本发明是以氧化铈为主成分的铈类研磨材料，它具有如下特征：构成研磨材料的研磨材料粒子由含有硅或硅化合物构成的硅成分和铝或铝化合物构成的铝成分中的至少一种的覆盖层覆盖。该铈类研磨材料，是将铈类研磨材料湿式分散于分散介质中，制成浆液，在该浆液中添加含有硅化合物或铝化合物中至少一种的处理溶液，进行表面处理而制成。另外，也可以在以往的铈类研磨材料的制造工序中，在粉碎工序中或粉碎工序后在上述的浆液中添加含有硅化合物或铝化合物中至少一种的处理溶液，进行表面处理后，进行焙烧、分级而制成。