包括标准单元的集成电路及其制造方法

    公开(公告)号:CN115939124A

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202210850196.8

    申请日:2022-07-19

    Abstract: 提供了一种集成电路,包括布置在多行上的标准单元。该标准单元可以包括:多个功能单元,每个功能单元都被实现为逻辑电路;以及多个填充单元,包括至少一个第一填充单元和至少一个第二填充单元,每个填充单元包括后端线(BEOL)图案、中间线(MOL)图案和前端线(FEOL)图案中的至少一个图案,并且其中,至少一个第一填充单元和至少一个第二填充单元具有彼此相同的大小,并且至少一个第一填充单元的至少一个图案中的一个图案的密度不同于至少一个第二填充单元的至少一个图案中的一个图案的密度。

    半导体器件
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108987396A

    公开(公告)日:2018-12-11

    申请号:CN201810543913.6

    申请日:2018-05-30

    Abstract: 公开了一种半导体器件。该半导体器件包括具有多个有源图案的衬底。多个栅电极与所述多个有源图案相交。有源触点电连接到有源图案。多个通孔包括第一常规通孔和第一虚设通孔。多个互连线设置在通孔上。所述多条互连线包括设置在第一常规通孔和第一虚设通孔两者上的第一互连线。第一互连线通过第一常规通孔电连接到有源触点。每个通孔包括通孔主体部分和覆盖通孔主体部分的底面和侧壁的通孔阻挡部分。每条互连线包括互连线主体部分和覆盖互连线主体部分的底面和侧壁的互连线阻挡部分。

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