公开(公告)号：CN101432660A

公开(公告)日：2009-05-13

申请号：CN200780014840.1

申请日：2007-05-17

Applicant: 三菱化学株式会社

Inventor： 瑞穗右二 ,  福井诚 ,  水上润二 ,  田中俊行

IPC: G03F7/031 ,  G03F7/004 ,  G03F7/26 ,  C08F2/50 ,  G02B5/20 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1335 ,  G02F1/1339

CPC classification number: G03F7/0007 ,  G02B5/201 ,  G03F7/027

Abstract: 本发明提供一种固化性组合物，特征在于，在将曝光部的残膜率[t(％)]相对于曝光量的对数[logE(mJ/cm2)]划曲线的残膜率－曝光量曲线中，将残膜率的60％和90％的点进行连接的下述式(1)的直线的γ值为45以上，t＝γlogE+δ…(1)，[这里，介由负掩膜图形形成图像时，残膜率t(％)如下表示。残膜率[t(％)]＝{(各曝光量下的图形高度)/(1000mJ/cm2曝光量下的图形高度)}×100]。