化合物、树脂、组合物、以及抗蚀图案形成方法和电路图案形成方法

    公开(公告)号:CN109715591A

    公开(公告)日:2019-05-03

    申请号:CN201780055990.0

    申请日:2017-09-13

    Inventor: 越后雅敏

    Abstract: 本发明提供一种下述式(0)所示的化合物。(式(0)中,RY为氢原子、RZ为碳数1~60的N价的基团或单键,RT各自独立地为任选具有取代基的碳数1~30的烷基、任选具有取代基的碳数6~30的芳基、任选具有取代基的碳数2~30的烯基、任选具有取代基的碳数1~30的烷氧基、卤素原子、硝基、氨基、羧酸基、巯基或羟基,前述烷基、前述芳基、前述烯基和前述烷氧基任选包含醚键、酮键或酯键,此处,RT中的至少1个为羟基,而且RT中的至少1个为碳数2~30的烯基,X表示氧原子、硫原子、单键或为无桥接,m各自独立地为0~9的整数,此处,m中的至少1个为2~9的整数或m中的至少2个为1~9的整数、N为1~4的整数,此处,N为2以上的整数的情况下,N个[]内的结构式任选相同或不同,r各自独立地为0~2的整数。)

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