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公开(公告)号：CN107437482A
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201710605260.5
申请日：2017-07-24
Applicant: 中北大学
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H59/0009
Abstract: 一种直板型实用化射频MEMS开关，主要结构由衬底、微波传输线、驱动电极、下电极、触点、上电极、固定锚点、空气桥、释放孔组成，微波传输线、驱动电极和下电极设置在衬底上，驱动电极位于上电极的下方，上电极为直板型结构，在上电极开孔，形成释放孔阵列，上电极的固定端通过固定锚点固定在微波传输线上，在下电极上设有单触点，本发明采用直板型上电极结构，具有简单实用、方便阻抗匹配的优点，在工艺加工中易于实现，适用于批量化生产，提高了开关的成品率，本发明还采用单触点结构，可以有效地改善双触点虚接引起的可靠性问题，增强了开关接触特性，减小了弱接触，避免开关烧蚀和粘连，使开关的寿命得到较大的提高。
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公开(公告)号：CN106618924A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201610549796.5
申请日：2016-07-14
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及自动化和仪器仪表技术领域，具体涉及一种基于MEMS稳定平台与转台的多功能救护床，所述救护床包括可实现稳定平台功能及转台功能的床体，所述床体上设置有用于测量床体姿态数据的MEMS惯性器件、控制床体转动的电机组件、接收姿态数据并对电机组件发送反馈旋转信号的电机控制电路、及对电机组件发送主动旋转信号的主控制台；通过本发明的上述结构，实现救护床具有稳定平台的功能，解决了路况较为复杂的情况下防止车辆的颠簸对伤员造成二次伤害的问题，大大缓解一般救护床在伤员运输过程中二次伤害，从而节约了相应的人力，同时可以实现转台功能，便于移动伤员或患者。
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公开(公告)号：CN106094887B
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN201610545510.6
申请日：2016-07-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及自动化和仪器仪表技术领域，特别涉及一种集成三轴转台功能及稳定平台功能的系统，所述系统包括基础平台、用于测量基础平台姿态信息的惯性组件、接收惯性组件所发送的姿态信息并进行解算的电机控制电路、根据电机控制电路解算的信息进行反馈动作的舵机组件、及具有显示姿态信息和控制舵机功能的上位机组件；所述舵机组件所执行的反馈动作实现了稳定平台功能，上位机组件对舵机组件的控制命令实现了三轴转台的功能；本发明有效、精准的将三轴转台及稳定平台集成到一个设备之上，相较于一般的独立稳定平台或三轴转台，本发明具有小体积、多功能、低成本等优势，便于大规模推广及应用，对提升我国创新教育的辐射面具有潜在的意义。
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公开(公告)号：CN107640735A
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201710605343.4
申请日：2017-07-24
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及MEMS器件制造领域，特别涉及实用化射频MEMS开关的制造方法。主要包括硅片清洗、高阻硅片表面氮化硅的生长、共面波导电镀、上电极极板电镀、铝制下拉电极的制作、牺牲层释放。采用本发明的技术方案制造的射频MEMS开关，射频MEMS开关下接触电极平整度较高具有成品率相对较高、开关寿命相对较长，插入损耗较低、隔离度较高。
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公开(公告)号：CN107393767A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710607507.7
申请日：2017-07-24
Applicant: 中北大学
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H59/0009
Abstract: 一种T型双悬臂梁式单刀双掷开关，主要结构由衬底、微波传输线、驱动电极、上电极、下电极、固定锚点和空气桥组成，微波传输线和驱动电极设置在衬底上，上电极为双悬臂梁、中间锚点支撑左右各一个悬臂梁结构，下电极采用带弹性梁的单触点、双触点、三触点，从力学方面讲，可减小上电极因静电力作用快速下拉时对下电极产生的撞击力，起到缓冲作用，从而保护触点和上电极，可增强有效接触，避免弱接触带来的烧蚀和粘连，当在第一驱动电极上施加驱动电压时，上电极在静电力的作用下发生下拉至与触点接触，此时开关处于导通状态，第二驱动电极上方的上电极翘起，既增大了开关的隔离度，防止了上下电极之间的自吸合，同时也增强了开关寿命和微波性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN206992019U
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201720900727.4
申请日：2017-07-24
Applicant: 中北大学
IPC: H01H59/00
Abstract: 一种十字型的单刀三掷开关，主要结构由衬底、微波传输线、驱动电极、上电极、下电极、固定锚点和空气桥组成，微波传输线和驱动电极设置在衬底上，上电极为T型直板型结构，下电极采用带弹性梁的单触点、双触点、三触点，从力学方面讲，可以减小上电极因静电力作用快速下拉时对下电极产生的撞击力，起到缓冲作用，从而保护触点和上电极，从电学方面讲，可以增强有效接触，避免弱接触带来的烧蚀和粘连，当在第一驱动电极上施加驱动电压时，上电极在静电力的作用下发生下拉至与触点接触，此时开关处于导通状态，第二驱动电极上方的上电极翘起，既增大了开关的隔离度，防止了上下电极之间的自吸合，同时也增强了开关寿命和微波性能。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207199541U
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201720897824.2
申请日：2017-07-24
Applicant: 中北大学
IPC: H01H59/00
Abstract: 一种带有弹性梁触点的射频MEMS开关，主要结构由衬底、微波传输线、驱动电极、下电极、固定锚点、上电极、释放孔、空气桥、引线组成，微波传输线、驱动电极和引线设置在衬底上，驱动电极位于上电极的下方，上电极为直板型结构，上电极通过固定锚点固定在微波传输线上，下电极采用带有双弹性梁的双触点结构，弹性梁通过固定锚点固定在微波传输线上，双弹性梁上分别设有触点，从力学性能讲，可以减小上电极在静电作用下快速下拉对下电极产生的撞击力，起到缓冲作用，从而保护触点和上电极，从电学性能讲，可以增强有效接触，避免弱接触带来的开关烧蚀和粘连，本实用新型有效地改善了传统双触点虚接引起的可靠性问题，使开关的寿命得到较大的提高。
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公开(公告)号：CN206252617U
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201620736099.6
申请日：2016-07-14
Applicant: 中北大学
Abstract: 本实用新型涉及自动化和仪器仪表技术领域，具体涉及一种基于MEMS稳定平台与转台的多功能救护床，所述救护床包括可实现稳定平台功能及转台功能的床体，所述床体上设置有用于测量床体姿态数据的MEMS惯性器件、控制床体转动的电机组件、接收姿态数据并对电机组件发送反馈旋转信号的电机控制电路、及对电机组件发送主动旋转信号的主控制台；通过本实用新型的上述结构，实现救护床具有稳定平台的功能，解决了路况较为复杂的情况下防止车辆的颠簸对伤员造成二次伤害的问题，大大缓解一般救护床在伤员运输过程中二次伤害，从而节约了相应的人力，同时可以实现转台功能，便于移动伤员或患者。
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公开(公告)号：CN207097753U
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201720897823.8
申请日：2017-07-24
Applicant: 中北大学
Abstract: 一种直板型单刀单掷开关单片集成衰减器，该结构主要由衬底、第一衰减开关、第二衰减开关、第一短路开关、第二短路开关、微波传输线CPW、衰减模块、引线和空气桥组成，衬底的上表面设有开关、微波传输线CPW、衰减片和引线，微波传输线CPW的T型结和转角上方设有空气桥，第一衰减开关、第二衰减开关、衰减模块以及微波传输线CPW构成的衰减通道，第一短路开关、第二短路开关和微波传输线CPW构成的短路通道，本实用新型采用了一种可实用化的射频MEMS开关，开关采用直板型带通孔的上电极和悬臂梁单触点式下电极，简化了结构，提高了的可靠性，在加工工艺中易于实现,使得衰减器具有较长的寿命且易于批量化生产，很适合实际应用。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206931543U
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201720900730.6
申请日：2017-07-24
Applicant: 中北大学
IPC: H01H59/00
Abstract: 一种T型双悬臂梁式单刀双掷开关，主要结构由衬底、微波传输线、驱动电极、上电极、下电极、固定锚点和空气桥组成，微波传输线和驱动电极设置在衬底上，上电极为双悬臂梁、中间锚点支撑左右各一个悬臂梁结构，下电极采用带弹性梁的单触点、双触点、三触点，从力学方面讲，可减小上电极因静电力作用快速下拉时对下电极产生的撞击力，起到缓冲作用，从而保护触点和上电极，可增强有效接触，避免弱接触带来的烧蚀和粘连，当在第一驱动电极上施加驱动电压时，上电极在静电力的作用下发生下拉至与触点接触，此时开关处于导通状态，第二驱动电极上方的上电极翘起，既增大了开关的隔离度，防止了上下电极之间的自吸合，同时也增强了开关寿命和微波性能。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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