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公开(公告)号：CN105387852B
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201510671505.5
申请日：2015-10-19
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5691 , G01C25/00 , B81C1/00
Abstract: 本发明为一种微半球陀螺谐振子的自对准技术制备方法，具体是以刻蚀有环形凹槽和圆形凹槽的硅片为硅衬底，在玻璃薄片上利用溅射金属的方法，形成所需要制备的图形和导线，利用高温下玻璃在熔融状态易被吹起的特性，使其形成空球壳和空环形壳体，通过腐蚀玻璃的方法，使没有溅射上金属的空壳部分被腐蚀掉，最终形成类“伞型”、“Y型”半球陀螺谐振子和与其近似平行的检测电极和激励电极。本发明谐振子的表面光滑并且完全对称，利用玻璃上的金属做掩膜，省去了激光切割技术，降低了成本同时提高了精度；本发明谐振子的谐振频率、品质因数等参数更优秀，同时制备出的激励电极和检测电极能够更完美的平行于谐振子，而且减少了工艺步骤。
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公开(公告)号：CN107218932A
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201710410258.2
申请日：2017-06-03
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种面向MEMS湍流探测的共模抑制振动补偿传感器结构，解决了平台振动对海洋湍流探测干扰极大等技术瓶颈问题。本发明包括底座、湍流传感器和补偿传感器，湍流传感器由第一中空壳体、第一传感芯片、保护罩和保护柱组成；补偿传感器由第二中空壳体、第二传感芯片和密封导流罩组成，并且第一中空壳体、第一传感芯片与第二中空壳体、第二传感芯片完全相同。本发明采用具有共模抑制的振动补偿方法，在不改动湍流传感器结构的基础上，利用补偿传感器的对照效果，实现了消除平台振动信号的目的，具有较高的准确性和可行性。
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公开(公告)号：CN119779916A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411788647.5
申请日：2024-12-06
Applicant: 中北大学
IPC: G01N11/00
Abstract: 本发明公开了一种液体粘度测量系统、辅助装置，所述装置包含：测量管；传感器组件，其设置在所述测量管的一端，包含：PCB及其上的超声换能器，PCB被配置为激励超声换能器发射超声信号和采集超声换能器接收的超声信号；反射端，其设置在测量管的另一端，面对超声换能器，与传感器组件之间形成一个密闭测量空间，使得液体在注入到该测量空间后不会泄露，且超声换能器发射的超声信号穿透液体后能被反射端反射回来，被超声换能器接收，基于所述超声换能器接收到的超声信号得到与液体粘度相关的超声波在液体中的传播速度和信号衰减。本发明通过灵活改变测量条件，精确测量超声波在不同液体介质中的传播速度和信号衰减，从而实现对液体粘度的准确评估。
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公开(公告)号：CN119770077A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411830055.5
申请日：2024-12-12
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及一种仿乳腺体模测试平台及其应用方法，平台包含：至少两个第一直线导轨(10)，沿y方向平行布置；第二直线导轨(20)，其沿着x方向布置，两端安装在第一直线导轨(10)的滑块(11)上，使得第二直线导轨(20)能够沿着y方向平移；具有伸缩性的连接件(30)，其沿z方向安装，其中一端与第二直线导轨(20)的滑块(21)连接，另一端被配置为能够连接仿乳腺体模(50)；环形导轨(40)，其上的滑块被配置为能够安装超声曲面阵列换能器(60)，使得超声曲面阵列换能器(60)能够绕连接件(30)上的仿乳腺体模(50)圆周运动，实现对仿乳腺体模(50)探测角度的调整。利用平台将仿乳腺体模浸入超声耦合介质内，进行成像及热消融测试。
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公开(公告)号：CN114955979B
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202210525262.4
申请日：2022-05-15
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明提供了一种差分电容式纤毛水听器及其制造方法，属于水下声纳传感器制造技术领域。本发明差分电容式纤毛水听器结构包括纤毛体、连接梁、中心连接体、上电极、钝化层、介质层、下电极、基底层等；制备方法，使用COMS‑MEMS单片集成工艺，在COMS工艺的后端层设置器件的结构，电路信号处理电子层在器件结构下方集成，各金属层间通过金属钨塞连接。由COMS‑MEMS单片集成工艺制备的差分电容式纤毛水听器具有一致性好、集成化、频带宽、灵敏度高、易封装、可批量生产等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119240594A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202410909040.1
申请日：2024-07-08
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种基于SOI晶圆的MEMS电容式传感器结构及其制备方法，属于MEMS传感器技术领域。该结构包括自上而下设置的上电极层、振膜层、电容空腔层、衬底层和下电极层；电容空腔层上形成有若干个呈矩形阵列排布的电容空腔体，相邻电容空腔体之间形成环状支撑壁，电容空腔体正上方形成振膜体，振膜体周围开设有贯穿振膜层的环状释放通道；上电极层包括若干个位于振膜体顶部的上电极体；下电极层包括设置在衬底层底面上的下电极体。本发明传感器结构制造方法简单，工艺流程少，成本低，可批量生产。本发明传感器结构尺寸小，集成度高，灵敏度高。
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公开(公告)号：CN119197744A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202310767685.1
申请日：2023-06-27
Applicant: 中北大学
IPC: G01H11/06
Abstract: 本发明涉及声波的测量技术领域，尤其涉及一种纤毛式MEMS三维矢量水听器，解决了背景技术中的技术问题，其包括托台、两个半球形透声帽和电路仓筒体，半球形透声帽包括半球形支撑架以及半球形壳体，水听器芯片包括仿生纤毛、硅基底器件层及硅材衬底，硅基底器件层上设有窗口，窗口的中心处设置有正方形的中心连接体，中心连接体的四边通过四根悬臂梁与窗口连接，仿生纤毛连接至中心连接体的中央，硅基底器件层的四根悬臂梁上排布有三组分别用于测量X、Y、Z方向水声信号的惠斯通电桥。本发明所述的水听器不仅可以检测Ｘ、Y平面的水声信号，还可以检测来自Z方向的水声信号，而且采用优化的压阻排布方式，能避免串扰。
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公开(公告)号：CN114955979A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210525262.4
申请日：2022-05-15
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明提供了一种差分电容式纤毛水听器及其制造方法，属于水下声纳传感器制造技术领域。本发明差分电容式纤毛水听器结构包括纤毛体、连接梁、中心连接体、上电极、钝化层、介质层、下电极、基底层等；制备方法，使用COMS‑MEMS单片集成工艺，在COMS工艺的后端层设置器件的结构，电路信号处理电子层在器件结构下方集成，各金属层间通过金属钨塞连接。由COMS‑MEMS单片集成工艺制备的差分电容式纤毛水听器具有一致性好、集成化、频带宽、灵敏度高、易封装、可批量生产等优点。
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公开(公告)号：CN114890374A
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202210525263.9
申请日：2022-05-15
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种L型连接梁声发射器件及其制备方法。该声发射器件由下而上依次为基底层、交替设置的介质层及金属层、钝化层，第n层介质层上刻蚀有矩形空腔，空腔顶部形成矩形振膜、L型连接梁及上电极，空腔底部形成下电极。制备时，使用COMS工艺的后端（BEOL）层作为MEMS器件的结构层，COMS电子层在MEMS器件层下方集成，各金属层间通过钨塞互连，最后通过刻蚀形成矩形空腔、矩形振膜及L型连接梁。本发明L型连接梁声发射器件具有可靠性好、体积小、灵敏度高、制造成本低、易于批量生产等优点。
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公开(公告)号：CN110530606B
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN201910908003.8
申请日：2019-09-25
Applicant: 中北大学
IPC: G01M10/00
Abstract: 本发明为一种湍流传感器的测试系统及其测试方法，属于湍流探测技术领域。本发明包括气压水箱、水泵、空气压缩机、流量计、喷水柱桶和积水槽，气压水箱分为密闭部和敞口部，水泵置于敞口部内并通过抽水阀与密闭部连接，空气压缩机、流量计均与密闭部连接，流量计的另一端与喷水柱桶底部连接，喷水柱桶的顶部与积水槽连接，积水槽分为同心设置的主水槽和副水槽，主水槽通过输水管路与敞口部连接，副水槽上设置有用于固定待测湍流传感器的固定支架。本发明测试系统能够有效地进行湍流传感器的湍流实验，测量不同水流流速下传感器受到的剪切力大小，从而为该传感器外场海洋环境下的实验提供有力的方案与数据支持。
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