回收多晶硅生产的尾气中氯化氢的方法

    公开(公告)号:CN101791487B

    公开(公告)日:2012-01-25

    申请号:CN201010135902.8

    申请日:2010-03-30

    Abstract: 本发明公开了回收多晶硅生产的尾气中氯化氢的方法,步骤为:将尾气经冷却、冷凝,使大部分氯硅烷液化,气体经压缩进入氯化氢吸收塔,用氯硅烷溶液吸收,氢气从氯化氢吸收塔顶部排出并收集;从氯化氢吸收塔底部排出的富氯化氢的氯硅烷液体通入氯化氢精馏塔,氯硅烷溶液从氯化氢精馏塔塔底排出;含有微量氢气的氯化氢气体从氯化氢精馏塔塔顶排出,进入精馏塔顶全凝器,精馏塔顶全凝器的冷凝液进入精馏塔回流罐,微量氢气从精馏塔回流罐顶部排出并收集,精馏塔回流罐的冷凝液一部分通入氯化氢精馏塔作为回流液,一部分进入液体氯化氢储罐进行储存。本发明提高了回收的氯化氢的纯度;增加了氯化氢的存储量;节省了设备的投资。

    一种多晶硅生产中的三氯氢硅生产方法

    公开(公告)号:CN102530960A

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN201110459911.7

    申请日:2011-12-31

    Abstract: 本发明公开了一种多晶硅生产中的三氯氢硅生产方法,将来自多晶硅生产系统的氢气、补充的新鲜氢气、工业硅粉与来自多晶硅生产中的四氯化硅进入反应器I,反应温度500-600℃,反应压力3.5-5.0MPa,气相流速为0.1-2m/s进行反应,生成四氯化硅、三氯氢硅和少量二氯氢硅及氯化氢;分离后将四氯化硅进入反应器I循环反应,氯化氢送去与硅粉在反应器II中在反应温度为100-400℃,反应压力为0.1-0.5MPa条件下反应生成氯硅烷混合物,精馏分别得到四氯化硅、高纯三氯氢硅、二氯氢硅。本发明生成三氯氢硅过程无加入催化剂,保持反应转化率在20-30%之间,减轻了后续分离系统的负担;合理设计氯化氢反应途径减少能量消耗;提高压力增大了设备处理能力,使得整个多晶硅生产系统能够长期连续稳定运行。

    回收多晶硅生产的尾气中氯化氢的方法

    公开(公告)号:CN101791487A

    公开(公告)日:2010-08-04

    申请号:CN201010135902.8

    申请日:2010-03-30

    Abstract: 本发明公开了回收多晶硅生产的尾气中氯化氢的方法,步骤为:将尾气经冷却、冷凝,使大部分氯硅烷液化,气体经压缩进入氯化氢吸收塔,用氯硅烷溶液吸收,氢气从氯化氢吸收塔顶部排出并收集;从氯化氢吸收塔底部排出的富氯化氢的氯硅烷液体通入氯化氢精馏塔,氯硅烷溶液从氯化氢精馏塔塔底排出;含有微量氢气的氯化氢气体从氯化氢精馏塔塔顶排出,进入精馏塔顶全凝器,精馏塔顶全凝器的冷凝液进入精馏塔回流罐,微量氢气从精馏塔回流罐顶部排出并收集,精馏塔回流罐的冷凝液一部分通入氯化氢精馏塔作为回流液,一部分进入液体氯化氢储罐进行储存。本发明提高了回收的氯化氢的纯度;增加了氯化氢的存储量;节省了设备的投资。

Patent Agency Ranking