三氯氢硅和四氯化硅的精馏方法

    公开(公告)号:CN101780958B

    公开(公告)日:2011-08-10

    申请号:CN201010136534.9

    申请日:2010-03-30

    Abstract: 本发明公开了三氯氢硅和四氯化硅的精馏方法,步骤为:将含有液态氯硅烷和微量液体杂质和微量固体杂质的混合物通入蒸发器,除去固体杂质,气体冷凝为液相依次通入第一精馏塔,第二精馏塔,从第二精馏塔顶分离出物质通入第三精馏塔,塔底釜液通入第五精馏塔;第三精馏塔的塔底釜液通入第四精馏塔;从第四精馏塔顶得到高纯度三氯氢硅产品;从第五精馏塔顶得到的三氯氢硅返回第二精馏塔,塔底釜液送至第六精馏塔;从第六精馏塔顶得到合格的高纯四氯化硅产品,从第六精馏塔的塔底釜液排放少量的高沸点杂质。本发明所采用的精馏塔数量少。成本和运行费低;处理能力大;生产的高纯四氯化硅可以进入氢化炉中反应重新转化为三氯氢硅,供生产多晶硅。

    一种氯硅烷混合物的分离方法

    公开(公告)号:CN102826553A

    公开(公告)日:2012-12-19

    申请号:CN201210294559.0

    申请日:2012-08-17

    Abstract: 本发明提供一种氯硅烷混合物的分离方法,主要解决了现有多晶硅生产中氯硅烷精馏分离工艺的流程长,投资大,能耗高等问题。本发明方法主要包括以下步骤:以含有二氯二氢硅、四氯化硅和三氯氢硅的氯硅烷混合物为原料,原料首先进入隔板精馏塔的隔板段进料侧,经分离后在隔板段采出侧得到三氯氢硅;塔顶得到二氯二氢硅;塔底得到四氯化硅。本发明的氯硅烷混合物的分离方法将隔板精馏技术应用到氯硅烷精馏中实现了塔内完全热耦合,与常规氯硅烷精馏流程相比可节省能耗30%左右,而且还缩短了流程,降低设备投资、节省占地面积。

    一种三氯氢硅精制方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102807223A

    公开(公告)日:2012-12-05

    申请号:CN201210295368.6

    申请日:2012-08-17

    Abstract: 本发明涉及一种三氯氢硅精制方法,利用了隔板精馏塔和普通精馏塔(脱重塔)的组合实现了三氯氢硅的精制。精制工艺主要包括以下步骤,粗三氯氢硅进入隔板精馏塔的隔板段进料侧;经分离后在隔板段的另一侧得到纯度高于99.99%三氯氢硅产品,塔顶得到轻组分和少量三氯氢硅混合物,塔釜得到了重组分和少量三氯氢硅混合物。隔板精馏塔的产品再进入一个常规的精馏塔实现二级脱重,最终得到符合电子级多晶硅纯度要求的99.999999999%的三氯氢硅。与常规三氯氢硅精制相比,缩短了精馏流程,实现了塔内完全热耦合,降低投资,减少了能耗,节省占地。

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