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公开(公告)号：CN110158051A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201811397741.2
申请日：2018-11-22
Applicant: 中国科学院过程工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种低温介稳流化工艺制备TiOxCyNz涂层及其复合涂层的系统及方法。在介稳流化预反应器中成本低廉的TiCl4经过预处理后被转移到介稳流涂层反应器中，随后在基体上沉积出TiOxCyNz涂层及其复合涂层。本发明制备TiOxCyNz涂层及其复合涂层具有以下优势：(1)突破了传统还原TiCl4工艺中扩散控制的固-气反应造成的效率低的问题，并显著降低了传统工艺的还原成本；(2)显著降低了化学气相沉积TiOxCyNz涂层以及其复合涂层的温度，拓宽了基体种类的范围；(3)工艺操作简单，经济，能生产多种涂层和复合涂层，具有良好的经济效益和社会效益。
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公开(公告)号：CN110158050A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201810457652.6
申请日：2018-05-14
Applicant: 中国科学院过程工程研究所
IPC: C23C16/30 , C23C16/32 , C23C16/34 , C23C16/448
Abstract: 本发明公开了一种流化床制备TiN、TiC、TiCN涂层的系统及方法。在预反应流化床内含钛粉体原料经过预处理后并转移到沉积流化床内，随后在沉积流化床内的基体上均匀沉积TiN、TiC、TiCN涂层。本发明制备TiN、TiC、TiCN涂层具有以下优势：(1)由于流化床工艺良好的传热、传质特性，实现了预处理过程的定向还原和精确控制，高效地获得了有效前驱体；(2)显著降低了以价格低廉的TiCl4为原料制备TiN、TiC、TiCN涂层的温度，并提高了原料利用率；(3)涂层基体形状不受限制，特别适用于在复杂形状的零件上均匀包覆TiN、TiC、TiCN涂层；(4)工艺简单、设备经济可以实现大规模批量化制备TiN、TiC、TiCN涂层，具有良好的经济效益和社会效益。
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公开(公告)号：CN110155965A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201810456091.8
申请日：2018-05-14
Applicant: 中国科学院过程工程研究所
IPC: C01B21/076
Abstract: 本发明公开了一种生产TiN、TiC、TiCN粉体的系统及方法。在流化床内预先加入目标种子粉体，采用惰性气体使其流化，随后在一定温度范围下，气态TiCl4与氮源或(和)碳源气体在流化床内合成TiN、TiC、TiCN粉体。本发明解决了基于TiCl4原料的化学气相沉积工艺中效率低、容易形成涂层而难以形成粉体的问题，提高了制备TiN、TiC、TiCN粉体的效率，并且工艺流程简单，不需要成本高昂的设备，可以实现连续批量化生产TiN、TiC、TiCN粉体，具有良好的经济效益和社会效益。
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公开(公告)号：CN110373652B
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN201910619808.0
申请日：2019-07-10
Applicant: 中国科学院过程工程研究所
IPC: C23C16/442 , C23C16/14
Abstract: 本发明公开了一种化学气相沉积制备锆包覆层的系统及方法。初始的四氯化锆或四碘化锆经过预反应后合成前驱体，随后在包覆流化床中实现锆包覆层的制备。本发明制备锆包覆材料具有以下优势：生产成本低，环境友好，且包覆材料不受形状限制，特别适合在复杂形状上包覆锆涂层，能够实现批量连续化生产，具有良好的经济效益和社会效益。
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公开(公告)号：CN110158050B
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN201810457652.6
申请日：2018-05-14
Applicant: 中国科学院过程工程研究所
IPC: C23C16/30 , C23C16/32 , C23C16/34 , C23C16/448
Abstract: 本发明公开了一种流化床制备TiN、TiC、TiCN涂层的系统及方法。在预反应流化床内含钛粉体原料经过预处理后并转移到沉积流化床内，随后在沉积流化床内的基体上均匀沉积TiN、TiC、TiCN涂层。本发明制备TiN、TiC、TiCN涂层具有以下优势：(1)由于流化床工艺良好的传热、传质特性，实现了预处理过程的定向还原和精确控制，高效地获得了有效前驱体；(2)显著降低了以价格低廉的TiCl4为原料制备TiN、TiC、TiCN涂层的温度，并提高了原料利用率；(3)涂层基体形状不受限制，特别适用于在复杂形状的零件上均匀包覆TiN、TiC、TiCN涂层；(4)工艺简单、设备经济可以实现大规模批量化制备TiN、TiC、TiCN涂层，具有良好的经济效益和社会效益。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110355360B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201910619522.2
申请日：2019-07-10
Applicant: 中国科学院过程工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种制备锆包覆层的系统和方法。初始锆源原料在流化床中经过预处理后获得前驱体，而后前驱体在包覆反应器中实现锆包覆层的生产。本发明制备Zr包覆层具有如下突出优点：能在较低温度下，低成本、高效率、大规模批量化生产各种形状和厚度的锆包覆涂层，并且涂层的形貌、晶粒尺寸可控，具有良好的经济效益和社会效益。
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公开(公告)号：CN110155966A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201810457645.6
申请日：2018-05-14
Applicant: 中国科学院过程工程研究所
IPC: C01B21/076 , C01B21/082
Abstract: 本发明公开了一种TiN、TiC、TiCN粉体的制备系统及方法。粗的含钛粉体在预反应流化床内经过预处理后被输送到粉体合成流化床中，随后在氮源、碳源的气氛中被直接氮化或(和)碳化成细小的TiN、TiC、TiCN粉体。本发明降低了TiN、TiC、TiCN粉体的合成温度，克服了传统直接氮化或(和)碳化工艺中需多次破碎、反复氮化或(和)碳化过程，提高了粉体制备效率，解决了传统工艺中TiCl4钛源氮化或(和)碳化效率低的问题，提高了原料利用率，并且工艺流程简单，能够实现连续批量化生产TiN、TiC、TiCN粉体，适用于大规模工业化生产，具有良好的经济效益和社会效益。
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公开(公告)号：CN110155964A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201810456074.4
申请日：2018-05-14
Applicant: 中国科学院过程工程研究所
IPC: C01B21/076
Abstract: 本发明公开了一种流化床制备TiN、TiC、TiCN粉体的系统及方法。价格低廉的TiCl4气体在流化床内经过预反应后获得预反应产物，随后预反应产物在沉积反应流化床中的氮源、碳源气氛中被氮化或(和)碳化成TiN、TiC、TiCN粉体。本发明显著降低了传统化学气相沉积制备TiN、TiC、TiCN粉体的温度，制备的TiN、TiC、TiCN粉体粒径和形貌可控，且制备工艺和设备简单、原料经济，适用于大规模工业化生产，具有良好的经济效益和社会效益。
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公开(公告)号：CN110331403B
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN201910619519.0
申请日：2019-07-10
Applicant: 中国科学院过程工程研究所
IPC: C23C26/00 , C01B32/914 , C01B21/076
Abstract: 本发明公开了一种流态化制备ZrC、ZrN包覆层的系统及方法。锆源粉体在流化床中经过预处理后，被转移到包覆反应器中，在氮源气体或者碳源气体中经过低温包覆，能在各种形状的基体或粉体材料上制备出致密的ZrC、ZrN包覆层。以传统工艺相比，本发明具有沉积温度低，显著扩展了包覆材料的种类，并且生产成本低，环境友好，特别适合工业中大规模批量化生产ZrN或ZrC包覆层，具有良好的经济效益和社会效益。
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公开(公告)号：CN110158051B
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN201811397741.2
申请日：2018-11-22
Applicant: 中国科学院过程工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种低温介稳流化工艺制备TiOxCyNz涂层及其复合涂层的系统及方法。在介稳流化预反应器中成本低廉的TiCl4经过预处理后被转移到介稳流涂层反应器中，随后在基体上沉积出TiOxCyNz涂层及其复合涂层。本发明制备TiOxCyNz涂层及其复合涂层具有以下优势：(1)突破了传统还原TiCl4工艺中扩散控制的固‑气反应造成的效率低的问题，并显著降低了传统工艺的还原成本；(2)显著降低了化学气相沉积TiOxCyNz涂层以及其复合涂层的温度，拓宽了基体种类的范围；(3)工艺操作简单，经济，能生产多种涂层和复合涂层，具有良好的经济效益和社会效益。
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