Patent search ap:("中央硝子株式会社") AND inv:"佐野明日香" Page 2

11.

发明授权
带图案膜基板的制造方法及含氟共聚物有权

公开(公告)号：CN112219451B

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN201980034689.0

申请日：2019-05-23

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 兼子让 , 青木贵志 , 野村祐介 , 佐佐木佳子 , 佐野明日香

IPC: H05B33/10 , C08F22/18 , G09F9/00 , G09F9/30 , H10K85/10 , H10K59/10 , H05B33/12 , H05B33/22

Abstract: 本发明的带图案膜基板的制造方法包含：对带图案膜基板进行UV臭氧清洗或氧等离子体清洗，得到第一带图案膜基板的清洗工序，其中，所述带图案膜基板是在基板上形成有具有图案的图案膜的带图案膜基板，上述图案膜含有具有特定重复单元的含氟共聚物；及加热上述第一带图案膜基板而得到第二带图案膜基板的加热工序。

Patent Agency Ranking