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公开(公告)号:CN110730790B
公开(公告)日:2021-06-15
申请号:CN201880037295.6
申请日:2018-05-28
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08F20/22 , C07D307/20 , C07D307/24 , G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种赋予高灵敏度且高分辨率的图案的不含碳数4以上的全氟烷基的含氟聚合物,其是在与光产酸剂一起制成膜时,制膜后显示出拒水性,通过光照射而因酸成为亲水性的图案形成材料。本发明的含氟聚合物的特征在于含有式(1)所示的重复单元。(式中,R1为氢原子、氟原子或碳数1~10的烷基,R2~R5为氢原子、碳数1~10的烷基,X为单键或2价的基团,Y为碳数1~3的含氟烷基或羧酸酯基(‑COOR),R为碳数1~3的含氟烷基;这些基团所含有的7个以下的氢原子任选被氟原子取代)
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公开(公告)号:CN112205077A
公开(公告)日:2021-01-08
申请号:CN201980034770.9
申请日:2019-05-23
Applicant: 中央硝子株式会社
Abstract: 本发明的带图案膜基板的制造方法包含:对带图案膜基板进行UV臭氧清洗或氧等离子体清洗,得到第一带图案膜基板的清洗工序,其中,所述带图案膜基板在基板上形成有具有图案的图案膜;及加热上述第一带图案膜基板而得到第二带图案膜基板的加热工序,通过上述清洗工序,上述第一带图案膜基板的图案膜的接触角减小,通过上述加热工序,上述第二带图案膜基板的图案膜的接触角得到恢复。
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公开(公告)号:CN110730790A
公开(公告)日:2020-01-24
申请号:CN201880037295.6
申请日:2018-05-28
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08F20/22 , C07D307/20 , C07D307/24 , G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种赋予高灵敏度且高分辨率的图案的不含碳数4以上的全氟烷基的含氟聚合物,其是在与光产酸剂一起制成膜时,制膜后显示出拒水性,通过光照射而因酸成为亲水性的图案形成材料。本发明的含氟聚合物的特征在于含有式(1)所示的重复单元。(式中,R1为氢原子、氟原子或碳数1~10的烷基,R2~R5为氢原子、碳数1~10的烷基,X为单键或2价的基团,Y为碳数1~3的含氟烷基或羧酸酯基(-COOR),R为碳数1~3的含氟烷基;这些基团所含有的7个以下的氢原子任选被氟原子取代)
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公开(公告)号:CN116829674A
公开(公告)日:2023-09-29
申请号:CN202280013817.5
申请日:2022-02-01
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C09K3/18
Abstract: 本发明提供一种可制作分隔壁的拒液剂,该分隔壁即便进行氧等离子体处理或UV臭氧处理,拒液性也不易降低。本发明的拒液剂(A)的特征在于:其包含具有聚合单元(a1)与除上述聚合单元(a1)以外的1种或2种以上的聚合单元(a2)的聚合物,所述聚合单元(a1)由具有至少1个氢原子被氟原子取代的任选包含醚性氧的烷基的烃组成,且上述聚合单元(a1)及上述聚合单元(a2)中所包含的烯属不饱和双键数为3以上。
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公开(公告)号:CN115087686A
公开(公告)日:2022-09-20
申请号:CN202180013158.0
申请日:2021-02-03
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08G65/22 , C07D303/14 , C07D303/48 , C08F299/02 , C08G59/00 , C08L63/00 , C08L71/02 , G03F7/038 , H01L21/312 , C07D301/14
Abstract: 一种固化性组合物,其包含第一化合物,所述第一化合物具有由以下通式(x)所示的基团和环氧基且分子量为1000以下。通式(x)中,Rf1及Rf2分别独立为含氟烷基。-C(Rf1)(Rf2)-OH(x)。
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公开(公告)号:CN113166294A
公开(公告)日:2021-07-23
申请号:CN201980078051.7
申请日:2019-11-18
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08F8/00 , G03F7/027 , G03F7/038 , H05B33/12 , H01L51/50 , H05B33/22 , G09F9/30 , H01L27/32 , C08F279/02 , C08F290/12 , C08F299/00 , C08F214/18 , C08F220/10 , C08F220/24 , C08F2/48 , G03F7/004
Abstract: 本发明的目的在于提供一种具有良好的拒液性的光敏性树脂组合物。本发明的光敏性树脂组合物的特征在于,至少含有具有交联部位的含氟树脂、溶剂及光聚合引发剂,上述含氟树脂含有由具有氟原子的烃组成的重复单元。
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公开(公告)号:CN112219451A
公开(公告)日:2021-01-12
申请号:CN201980034689.0
申请日:2019-05-23
Applicant: 中央硝子株式会社
Abstract: 本发明的带图案膜基板的制造方法包含:对带图案膜基板进行UV臭氧清洗或氧等离子体清洗,得到第一带图案膜基板的清洗工序,其中,所述带图案膜基板是在基板上形成有具有图案的图案膜的带图案膜基板,上述图案膜含有具有特定重复单元的含氟共聚物;及加热上述第一带图案膜基板而得到第二带图案膜基板的加热工序。
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