公开(公告)号：CN103620499A

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：CN201280030770.X

申请日：2012-06-18

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 照井贵阳 ,  森高 ,  小森谷治彦

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0392 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/16

Abstract: 本发明的正型抗蚀剂组合物的特征在于，其含有含氟脂肪族醇、聚合物、乙烯基化合物和光产酸剂，含氟脂肪族醇为一元醇、所含有的碳原子数为2～8且氢原子的个数少于等于氟原子数的个数。关于该正型抗蚀剂组合物，溶解或溶胀等的对于有机材料的影响小，可以通过有机聚合物基板的湿式涂布形成抗蚀膜，且基板上形成的抗蚀膜、抗蚀图案显示优异的耐溶剂性。

公开(公告)号：CN1976913B

公开(公告)日：2010-10-06

申请号：CN200580021369.X

申请日：2005-08-24

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 角田真一 ,  小森谷治彦 ,  铃木克俊 ,  前田一彦

IPC: C07D311/94 ,  C08F20/28 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0397 ,  C07D311/00 ,  G03F7/0046 ,  Y10S430/111

Abstract: 本发明涉及新的第1-第4内酯化合物。第1内酯化合物用式(1)表示，[化18]式中，X表示CH2、CH2CH2、O、S或NR1，R1表示氢原子，碳数1-10的直链状，分枝状或环状烷基，该烷基的氢的一部分或全部可以用氟原子取代，此外，烷基的一部分也可以含有具有氧原子、硫原子、氮原子、碳-碳双键、羰基、羟基或羧基的原子团。