正型抗蚀剂组合物
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103620499B

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201280030770.X

    申请日:2012-06-18

    CPC classification number: G03F7/0392 G03F7/0045 G03F7/0046 G03F7/0048 G03F7/16

    Abstract: 本发明的正型抗蚀剂组合物的特征在于,其含有含氟脂肪族醇、聚合物、乙烯基化合物和光产酸剂,含氟脂肪族醇为一元醇、所含有的碳原子数为2~8且氢原子的个数少于等于氟原子数的个数。关于该正型抗蚀剂组合物,溶解或溶胀等的对于有机材料的影响小,可以通过有机聚合物基板的湿式涂布形成抗蚀膜,且基板上形成的抗蚀膜、抗蚀图案显示优异的耐溶剂性。

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