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公开(公告)号：CN111954796B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN201980025027.7
申请日：2019-04-02
Applicant: 京瓷株式会社
Abstract: 电磁波检测装置(10)具有分离部(16)、第一检测部(17)、行进部(18)、第二检测部(20)、以及遮断部(21)。分离部(16)使沿第一方向(d1)行进的电磁波以沿第二方向(d2)和第三方向(d3)行进的方式分离。第一检测部(17)检测沿第二方向(d2)行进的电磁波。行进部(18)具有沿着基准面(ss)设置的多个像素(px)。行进部(18)针对每个像素(px)使向第三方向(d3)行进而入射至基准面(ss)的电磁波的行进方向切换为第四方向(d4)和第五方向(d5)。第二检测部(20)检测沿第四方向(d4)行进的电磁波。遮断部(21)遮断向第五方向(d5)行进的电磁波中的至少一部分。
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公开(公告)号：CN111527740B
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN201980006851.8
申请日：2019-01-16
Applicant: 京瓷株式会社
Inventor： 竹内绘梨
IPC: H04N5/225 , G01J1/04 , G02B26/08 , H01L31/0232
Abstract: 电磁波检测装置(10)具有第一成像部(15)、行进部(18)、第二成像部(19)、以及第一检测部(20)。在行进部(18)沿着基准面(ss)配置有多个像素(px)。行进部(18)使从第一成像部(15)入射至基准面(ss)的电磁波沿第一方向(d1)行进。第一检测部(20)对从第二成像部(19)入射的电磁波进行检测。电磁波检测装置(10)至少满足如下配置中的至少一方：基准面(ss)以及第一检测部(20)的检测面各自的延长面交叉，第二成像部(19)的主轴与基准面(ss)以及第一检测部(20)的检测面交叉的配置；以及与行进部(18)的间隔被确定且以基准面(ss)为成像面的所述第一成像部(15)的物体面(vp)和基准面(ss)各自的延长面交叉，第一成像部(15)的主轴与基准面(ss)交叉的配置。
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公开(公告)号：CN112805583A
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN201980064346.9
申请日：2019-09-13
Applicant: 京瓷株式会社
IPC: G01S7/481 , G01S17/87 , G02B26/08 , G02B26/10 , H01L31/0232 , H01L31/10 , H01L33/60 , H01S5/0239
Abstract: 本发明能够实现利用电磁波扫描测定对象的机构的简单化。电磁波检测装置具有：放射部，包括能够放射电磁波的多个放射区域；切换部；以及第一检测部。切换部包括能够切换为第一状态的多个切换元件，所述第一状态是使从放射部放射的电磁波中的被对象反射而入射的电磁波沿第一方向行进的状态。第一检测部检测沿第一方向行进的电磁波。
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公开(公告)号：CN111954842A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201980025227.2
申请日：2019-04-17
Applicant: 京瓷株式会社
Abstract: 电磁波检测装置具有：第一行进部，具有基准面和多个像素，使入射至基准面的电磁波针对每个像素向特定的方向行进；检测部，检测入射至检测面的电磁波；以及第二行进部，具有与基准面对置的第一面、与检测面对置的第二面、以及与第一面和第二面交叉的第三面。第三面使向第一方向行进的电磁波向第二方向行进。第一面使向第二方向行进的电磁波入射至基准面，使从基准面再入射的电磁波向第三方向行进。第三面使向第三方向行进的电磁波向第四方向行进。第二面将向第四方向行进的电磁波向检测面射出。
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公开(公告)号：CN112384769A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201980046352.1
申请日：2019-07-17
Applicant: 京瓷株式会社
Inventor： 竹内绘梨
Abstract: 电磁波检测装置(10)具有：第一成像部(15)，对入射的电磁波进行成像；棱镜(17)，包括将从第一成像部(15)入射的电磁波射出的第一射出面即第四面(s4)；行进部(16)，沿着基准面(ss)配置有多个像素(px)，使从第四面(s4)入射至基准面(ss)的电磁波按每个像素(px)向特定的方向行进；以及第一检测部(19)，检测向特定的方向行进的电磁波。棱镜(17)在从第一成像部(15)入射且第一检测部(19)应该检测的电磁波的行进路径以外的位置设置有反射抑制部(90)，该反射抑制部(90)抑制由棱镜(17)的端面反射而引起的不需要的光向第一检测部(19)入射。
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公开(公告)号：CN112074712A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN201980029354.X
申请日：2019-05-08
Applicant: 京瓷株式会社
Inventor： 竹内绘梨
Abstract: 电磁波检测装置(10)具有第一行进部(16)、第二行进部(17)、第一检测部(19)、以及第二检测部(20)。第一行进部(16)使入射至基准面(ss)的电磁波按每个像素(px)向特定的方向行进。第二行进部(17)具有第一面(s1)、第二面(s2)、第三面(s3)、第四面(s4)、第五面(s5)、以及第六面(s6)。第二面(s2)分离向第二方向(d2)行进的电磁波而使其向第三方向(d3)以及第四方向(d4)行进。第四面(s4)将向第四方向(d4)行进的电磁波向基准面(ss)射出且使从基准面(ss)再次入射的电磁波向第五方向(d5)行进。第一检测部(19)检测从第三面(s3)射出的电磁波。第二检测部(20)检测从第六面(s6)射出的电磁波。
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公开(公告)号：CN112041726A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN201980028591.4
申请日：2019-04-17
Applicant: 京瓷株式会社
Abstract: 电磁波检测装置具有：第一行进部，具有基准面和多个像素，使入射至基准面的电磁波针对每个像素向特定的方向行进；第一检测部，检测入射至第一检测面的电磁波；第二检测部，检测入射至第二检测面的电磁波；以及第二行进部，具有第一面、第二面以及第三面。第三面将向第一方向行进的电磁波分离为向第二检测部入射的电磁波以及向第二方向行进的电磁波。第一面使向第二方向行进的电磁波入射至基准面，使从基准面再入射的电磁波向第三方向行进。第三面使向第三方向行进的电磁波向第四方向行进。第二面将向第四方向行进的电磁波向第一检测面射出。
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公开(公告)号：CN111954796A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201980025027.7
申请日：2019-04-02
Applicant: 京瓷株式会社
Abstract: 电磁波检测装置(10)具有分离部(16)、第一检测部(17)、行进部(18)、第二检测部(20)、以及遮断部(21)。分离部(16)使沿第一方向(d1)行进的电磁波以沿第二方向(d2)和第三方向(d3)行进的方式分离。第一检测部(17)检测沿第二方向(d2)行进的电磁波。行进部(18)具有沿着基准面(ss)设置的多个像素(px)。行进部(18)针对每个像素(px)使向第三方向(d3)行进而入射至基准面(ss)的电磁波的行进方向切换为第四方向(d4)和第五方向(d5)。第二检测部(20)检测沿第四方向(d4)行进的电磁波。遮断部(21)遮断向第五方向(d5)行进的电磁波中的至少一部分。
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