公开(公告)号：CN105867029A

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201510958689.3

申请日：2015-12-18

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 木村淳治 ,  石井一正

IPC: G02F1/1337 ,  G02F1/13

CPC classification number: G02F1/133788 ,  G02F1/1303

Abstract: 提供一种光照射装置以及光照射方法，在双工作台方式中使工作台彼此不会干涉而能够高效地进行光照射处理。光照射装置具备：载置第一工件，且能够在第一待机位置与照射区域之间进行往复移动的第一工作台；载置第二工件，且能够在第二待机位置与照射区域之间进行往复移动的第二工作台；以及对第一工作台以及第二工作台的移动独立地进行控制以便第一工件和第二工件交替地通过照射区域的控制部。此处，控制部以下述方式进行控制：各工作台在照射区域内以比最大移动速度慢的移动速度移动，在照射区域外的归路以最大移动速度移动，在照射区域外的去路以使得工作台间距离不会低于预先设定的最接近距离的移动速度移动。

公开(公告)号：CN117369187A

公开(公告)日：2024-01-09

申请号：CN202310731594.2

申请日：2023-06-20

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 石井一正

IPC: G02F1/1337 ,  G02B27/09

Abstract: 课题是提供一种光照射装置、光照射方法及器件的制造方法，能够对大型的对象物提高照射光的累积光量的均匀性。技术手段为，本光照射装置分多个照射区域以各自的照度相等的方式对沿第一方向搬运的对象物的照射对象区域进行照射。多个照射区域被设定为，在照射对象区域的沿着与第一方向正交的第二方向的各位置，通过多个照射区域的距离的合计值相等。另外，多个照射区域各自被设定为，在与至少一个其它照射区域产生在第一方向上的不同位置在第二方向上相互重叠的重叠区域。而且，多个照射区域被设定为，在沿第二方向向相同的方向前进的情况下，重叠区域彼此在第一方向上的尺寸的增减为相反的关系。

公开(公告)号：CN105867029B

公开(公告)日：2019-03-19

申请号：CN201510958689.3

申请日：2015-12-18

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 木村淳治 ,  石井一正

IPC: G02F1/1337 ,  G02F1/13

Abstract: 提供一种光照射装置以及光照射方法，在双工作台方式中使工作台彼此不会干涉而能够高效地进行光照射处理。光照射装置具备：载置第一工件，且能够在第一待机位置与照射区域之间进行往复移动的第一工作台；载置第二工件，且能够在第二待机位置与照射区域之间进行往复移动的第二工作台；以及对第一工作台以及第二工作台的移动独立地进行控制以便第一工件和第二工件交替地通过照射区域的控制部。此处，控制部以下述方式进行控制：各工作台在照射区域内以比最大移动速度慢的移动速度移动，在照射区域外的归路以最大移动速度移动，在照射区域外的去路以使得工作台间距离不会低于预先设定的最接近距离的移动速度移动。

公开(公告)号：CN107664877A

公开(公告)日：2018-02-06

申请号：CN201710580030.8

申请日：2017-07-17

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 石井一正

IPC: G02F1/1337

CPC classification number: G02F1/133788

Abstract: 本发明提供一种能够通过一次光取向处理在一片工件上形成取向方向不同的多个区域的光照射装置以及光照射方法。光照射装置(偏振光照射装置)(300)具备：第一光照射部组，设置在工件W的传输路径上，通过第一偏振镜对来自光源的光进行偏振，具备从光出射口照射第一偏振光的多个光照射部；第二光照射部组，在传输路径上与第一光照射部组排列设置，通过第二偏振镜对来自光源的光进行偏振，具备从光出射口照射第二偏振光的多个光照射部，上述第二偏振镜具有与第一偏振镜不同的方向的透射轴；以及照射阻止部，通过分别阻止从多个光照射部的光出射口分别出射的偏振光向工件的照射，规定出应通过第一偏振光进行光取向的工件上的第一区域、以及应通过第二偏振光进行光取向的工件上的第二区域。

公开(公告)号：CN105676538A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201510886104.1

申请日：2015-12-04

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 石井一正

IPC: G02F1/1337

CPC classification number: G02F1/133788

Abstract: 一种光取向装置以及光取向方法，在光取向处理中，进一步提高生产率，进一步提高质量。在两个工作台(21、22)上载置基板(S)，以使得通过由照射单元(1)照射偏振光的照射区域(R)的方式利用工作台移动机构(3)使两个工作台(21、22)交替地往复移动。控制工作台移动机构(3)的控制单元(4)在各工作台(21、22)通过照射区域(R)时维持慢的速度即恒定的设定通过速度，对于第一工作台(21)在第一基板搭载回收位置与照射区域(R)之间的移动以及第二工作台(22)在第二基板搭载回收位置与照射区域(R)之间的移动，使其以快的速度即设定搬运速度进行移动。

公开(公告)号：CN205620651U

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201620396471.3

申请日：2016-05-04

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 石井一正

IPC: G02F1/1337 ,  G02F1/13

Abstract: 提供一种光照射装置，能够通过一次光取向处理在1个工件上形成取向方向不同的多个区域。光照射装置具备：光照射部(10A)，设置于工件的传输路径，通过第一偏振镜对来自光源的光进行偏振，照射来自光射出口的第一偏振光；光照射部(10C)，在传输路径上与第一光照射部并排设置，通过具有与第一偏振镜不同的方向的透射轴的第二偏振镜对来自光源的光进行偏振，从光射出口照射第二偏振光。光照射装置具备：配置在光照射部的光射出口的光射出侧、规定应通过第一偏振光进行光取向的工件上的区域的遮光板；和配置在光照射部的光射出口的光射出侧，规定应通过第二偏振光进行光取向的工件上的区域的遮光板。