公开(公告)号：CN109426036A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201810939344.7

申请日：2018-08-17

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 石井一正

IPC: G02F1/1337

Abstract: 本发明提供一种偏振光照射装置及偏振光照射方法，能够在避免装置大型化的情况下对工件倾斜地照射偏振光。偏振光照射装置(100)具备：光源(11)；导光光纤(20)，具有供来自光源(11)的光入射的入射端(23)和沿着一方向配置并供从入射端(23)入射的光出射的出射端(22)；透镜单元(30)，具有偏振元件(34)，并使利用偏振元件(34)而使从导光光纤(20)的出射端(22)出射的光发生偏振后的偏振光出射，以形成沿着上述一方向的线状的光照射区域(34)；及倾斜照射机构(40)，以任意的角度固定透镜单元(30)，以对被处理物(工件W)的光照射面倾斜地照射偏振光。

公开(公告)号：CN102004358A

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：CN201010271704.4

申请日：2010-08-31

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 盐谷纱由 ,  石井一正 ,  铃木信二

IPC: G02F1/1337

Abstract: 本发明提供一种不会导致可靠性的降低，在短时间可进行液晶面板的取向处理的液晶面板的制造方法及装置。将含有紫外线反应材料的液晶封入于两枚光透射性基板(玻璃基板)之间的液晶面板(8)载置于第1工件平台(3a)，在第1工序中，在从探针(4)施加电压的同时，从第1光照射部(1)照射比液晶的吸收端波长长的波长的光(波长范围320nm～360nm)。然后，利用工件搬运机构(5)，将液晶面板(8)搬运至第2工件平台(3b)上，从第2光照射部(2)照射比液晶的吸收端波长短的波长的光(波长范围300nm～320nm)，进行液晶的取向处理。作为第1工序的灯，可使用例如碘准分子灯；作为第2工序的灯，可使用例如XeCl准分子灯。

公开(公告)号：CN112987412B

公开(公告)日：2024-02-13

申请号：CN202011326173.4

申请日：2020-11-24

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 石井一正

IPC: G02F1/1337

Abstract: 本发明提供一种光照射装置及光照射方法，其为对工件进行加热而照射光的光照射装置及光照射方法，不需要作为准备阶段的长时间的实验，且能够适当地抑制稼动率的降低、生产节拍时间的长时间化。光照射装置具备：具备：第一工作台，能够将从第一待机位置朝向照射区域的移动作为去路移动而进行往返移动；第二工作台，能够将从第二待机位置朝向照射区域的移动作为去路移动而进行往返移动；控制部，分别控制第一工作台和第二工作台的移动，以使第一工件和第二工件交替通过照射区域；以及加热部，分别设置于第一工作台以及第二工作台，能够对所载置的工件进行加热。在一方的工作台进行往返移动的期间，载置于另一个工作台的工件被加热部加热。

公开(公告)号：CN105068322A

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201510486339.1

申请日：2015-08-10

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 石井一正

IPC: G02F1/1337

CPC classification number: G02F1/133788

Abstract: 一种光取向装置以及光取向方法，在光取向处理中，进一步提高生产率，进一步提高质量。在两个工作台(21、22)上载置基板(S)，以使得通过由照射单元(1)照射偏振光的照射区域(R)的方式利用工作台移动机构(3)使两个工作台(21、22)交替地往复移动。控制工作台移动机构(3)的控制单元(4)在各工作台(21、22)通过照射区域(R)时维持慢的速度即恒定的设定通过速度，对于第一工作台(21)在第一基板搭载回收位置与照射区域(R)之间的移动以及第二工作台(22)在第二基板搭载回收位置与照射区域(R)之间的移动，使其以快的速度即设定搬运速度进行移动。

公开(公告)号：CN105068321A

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201510486239.9

申请日：2015-08-10

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 木村淳治 ,  石井一正

IPC: G02F1/1337 ,  G02F1/13

CPC classification number: G02F1/133788 ,  G02F1/1303

Abstract: 提供一种光照射装置以及光照射方法，在双工作台方式中使工作台彼此不会干涉而能够高效地进行光照射处理。光照射装置具备：载置第一工件，且能够在第一待机位置与照射区域之间进行往复移动的第一工作台；载置第二工件，且能够在第二待机位置与照射区域之间进行往复移动的第二工作台；以及对第一工作台以及第二工作台的移动独立地进行控制以便第一工件和第二工件交替地通过照射区域的控制部。此处，控制部以下述方式进行控制：各工作台在照射区域内以比最大移动速度慢的移动速度移动，在照射区域外的归路以最大移动速度移动，在照射区域外的去路以使得工作台间距离不会低于预先设定的最接近距离的移动速度移动。

公开(公告)号：CN106918930B

公开(公告)日：2021-01-08

申请号：CN201611078054.5

申请日：2016-11-30

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 石井一正

IPC: G02F1/13 ,  G02F1/1337

Abstract: 提供一种能够在一张工件上形成取向方向不同的多个区域的光照射装置以及光照射方法。光照射装置(偏振光照射装置)(100)具备从光出射口照射第一偏振光的光照射部(10A)、以及从光出射口照射第二偏振光的光照射部(10C)。另外，偏振光照射装置(100)具备：板部件(遮光板(31))，配置于载物台(21)，在第一使用位置(去路遮光位置(302))规定应利用第一偏振光进行光取向的工件(W)上的第一区域，在第二使用位置(回路遮光位置(303))规定应利用第二偏振光进行光取向的工件(W)上的第二区域；以及驱动部(遮光掩模驱动部(34))，使板部件在第一使用位置与第二使用位置之间移动。

公开(公告)号：CN106444101A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201610289141.9

申请日：2016-05-04

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 石井一正

IPC: G02F1/13 ,  G02F1/1337

CPC classification number: G02F1/1303 ,  G02F1/133788

Abstract: 提供一种光照射装置以及光照射方法，能够通过一次光取向处理在1个工件上形成取向方向不同的多个区域。光照射装置具备：光照射部(10A)，设置于工件的传输路径，通过第一偏振镜对来自光源的光进行偏振，照射来自光射出口的第一偏振光；光照射部(10C)，在传输路径上与第一光照射部并排设置，通过具有与第一偏振镜不同的方向的透射轴的第二偏振镜对来自光源的光进行偏振，从光射出口照射第二偏振光。光照射装置具备：配置在光照射部的光射出口的光射出侧、规定应通过第一偏振光进行光取向的工件上的区域的遮光板；和配置在光照射部的光射出口的光射出侧，规定应通过第二偏振光进行光取向的工件上的区域的遮光板。

公开(公告)号：CN105867029A

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201510958689.3

申请日：2015-12-18

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 木村淳治 ,  石井一正

IPC: G02F1/1337 ,  G02F1/13

CPC classification number: G02F1/133788 ,  G02F1/1303

Abstract: 提供一种光照射装置以及光照射方法，在双工作台方式中使工作台彼此不会干涉而能够高效地进行光照射处理。光照射装置具备：载置第一工件，且能够在第一待机位置与照射区域之间进行往复移动的第一工作台；载置第二工件，且能够在第二待机位置与照射区域之间进行往复移动的第二工作台；以及对第一工作台以及第二工作台的移动独立地进行控制以便第一工件和第二工件交替地通过照射区域的控制部。此处，控制部以下述方式进行控制：各工作台在照射区域内以比最大移动速度慢的移动速度移动，在照射区域外的归路以最大移动速度移动，在照射区域外的去路以使得工作台间距离不会低于预先设定的最接近距离的移动速度移动。

公开(公告)号：CN112987412A

公开(公告)日：2021-06-18

申请号：CN202011326173.4

申请日：2020-11-24

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 石井一正

IPC: G02F1/1337

Abstract: 本发明提供一种光照射装置及光照射方法，其为对工件进行加热而照射光的光照射装置及光照射方法，不需要作为准备阶段的长时间的实验，且能够适当地抑制稼动率的降低、生产节拍时间的长时间化。光照射装置具备：具备：第一工作台，能够将从第一待机位置朝向照射区域的移动作为去路移动而进行往返移动；第二工作台，能够将从第二待机位置朝向照射区域的移动作为去路移动而进行往返移动；控制部，分别控制第一工作台和第二工作台的移动，以使第一工件和第二工件交替通过照射区域；以及加热部，分别设置于第一工作台以及第二工作台，能够对所载置的工件进行加热。在一方的工作台进行往返移动的期间，载置于另一个工作台的工件被加热部加热。

公开(公告)号：CN105676538B

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：CN201510886104.1

申请日：2015-12-04

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 石井一正

IPC: G02F1/1337

Abstract: 一种光取向装置以及光取向方法，在光取向处理中，进一步提高生产率，进一步提高质量。在两个工作台(21、22)上载置基板(S)，以使得通过由照射单元(1)照射偏振光的照射区域(R)的方式利用工作台移动机构(3)使两个工作台(21、22)交替地往复移动。控制工作台移动机构(3)的控制单元(4)在各工作台(21、22)通过照射区域(R)时维持慢的速度即恒定的设定通过速度，对于第一工作台(21)在第一基板搭载回收位置与照射区域(R)之间的移动以及第二工作台(22)在第二基板搭载回收位置与照射区域(R)之间的移动，使其以快的速度即设定搬运速度进行移动。