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公开(公告)号：CN1658369A
公开(公告)日：2005-08-24
申请号：CN200510009547.9
申请日：2005-02-21
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67069 , B01J23/38 , B01J35/004 , H01L21/67115
Abstract: 本发明提供一种不会污染被处理物，并可通过产生高效率的活性种来改善处理速度的处理装置。为达到上述目的，本发明的处理装置，是采用催化剂来分解含有H原子或O原子的分子气体，并利用该催化剂所分解产生的气体对被处理物进行处理的处理装置，其特征为：具备对该催化剂照射光的机构，而该光的波数超过以该催化剂所具有的波数来表示的功函数。
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公开(公告)号：CN1269597A
公开(公告)日：2000-10-11
申请号：CN00104921.6
申请日：2000-03-30
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J65/04
CPC classification number: H01J61/52 , H01J65/046
Abstract: 提供一种能可靠地防止冷却流体泄漏,并能可靠地冷却介质阻挡层放电灯的介质阻挡层放电灯装置。在具有通过同轴地配置外侧管(3)和内侧管(2)形成的中空圆筒状的放电空间(P)的介质阻挡层放电灯(1),和在由内侧管(2)形成的空间中流动着冷却流体的介质阻挡层放电灯装置中,其特征在于上述内侧管(2)有向放电空间(4)外伸出的圆筒状延长管部(2A),该延长管部2A的端部(2A1)的外周面紧密接触地保持在与流动着冷却流体的导管(11)连接的连接机构(8)上。
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公开(公告)号：CN104487154B
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201380039113.6
申请日：2013-07-16
Applicant: 优志旺电机株式会社
CPC classification number: F01N3/2066 , B01D53/56 , B01D53/92 , B01D2251/2062 , B01D2251/2067 , B01D2257/404 , B01D2258/0291 , B01D2259/804 , F01N3/2086 , F01N2610/02 , F01N2610/06 , F01N2610/08 , Y02T10/24 , Y02T10/26
Abstract: 本发明提供一种能够以较高的脱硝率对温度远低于900℃的被处理气体中的一氧化氮进行还原处理的气体处理方法和气体处理装置。本发明的气体处理方法是对含有氮氧化物的被处理气体进行处理的气体处理方法，其特征在于，该气体处理方法具有向在所述被处理气体中混合氨而成的混合气体照射紫外线的工序，所述混合气体中的氨相对于一氧化氮的比率按摩尔比计为1.5以上。
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公开(公告)号：CN104205288B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201380016419.X
申请日：2013-02-28
Applicant: 优志旺电机株式会社
CPC classification number: H01J61/35 , H01J61/025 , H01J61/44 , H01J65/046
Abstract: 本发明是一种紫外线放射荧光灯(1)，具有石英玻璃制成的发光管(2)及将UVC变换成UVA的荧光体，其特征在于，紫外线放射荧光灯是可以同时放射由灯的发光管(2)内的准分子发光生成的UVC与该UVC通过荧光体(11)变换的UVA的结构，在所述发光管内(2)面上形成所述荧光体(12)混合的混合层(10)，在该混合层(10)形成开口(15)。(11)与对于UVC区域的光具有反射特性的反射体
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公开(公告)号：CN104487154A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201380039113.6
申请日：2013-07-16
Applicant: 优志旺电机株式会社 , 阿克特里股份有限公司
CPC classification number: F01N3/2066 , B01D53/56 , B01D53/92 , B01D2251/2062 , B01D2251/2067 , B01D2257/404 , B01D2258/0291 , B01D2259/804 , F01N3/2086 , F01N2610/02 , F01N2610/06 , F01N2610/08 , Y02T10/24 , Y02T10/26
Abstract: 本发明提供一种能够以较高的脱硝率对温度远低于900℃的被处理气体中的一氧化氮进行还原处理的气体处理方法和气体处理装置。本发明的气体处理方法是对含有氮氧化物的被处理气体进行处理的气体处理方法，其特征在于，该气体处理方法具有向在所述被处理气体中混合氨而成的混合气体照射紫外线的工序，所述混合气体中的氨相对于一氧化氮的比率按摩尔比计为1.5以上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101187459A
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN200710193210.7
申请日：2007-11-20
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种准分子光照射器，检测出准分子光照射器上配置的准分子灯中寿命到期的该准分子灯，补充不足的光输出，从而实质上不必停止基板处理装置。该准分子光照射器搭载在具有传送基板的传送机构，并照射准分子光，对基板进行处理的基板处理装置上，其特征在于：该准分子光照射器，相对基板传送方向成大致直角地并排配置多根大致棒状的准分子灯，具有可独立调整各准分子灯的输出的供给电源，具有检测各该准分子灯的光输出的检测功能，具有光输出补充功能，在来自至少一根该准分子灯的光输出未达到规定的输出时，补充与不足的光输出相当的光输出。
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公开(公告)号：CN101136307A
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN200710148159.8
申请日：2007-08-28
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种准分子灯的结构，即使液晶面板基板、半导体晶片、磁盘基板、以及光盘基板等逐渐大型化，也适于应对照射紫外光而进行清洁、刻蚀等的基板处理，并且可以实现灯的长寿命化。上述准分子灯在由电介质构成的放电容器中封入准分子生成气体，具有一对电极，两个电介质部件介于该一对电极之间，在该一对电极上施加高电压，进行放电，其特征在于：在一个电介质部件上具有向另一电介质部件延伸的支撑部件，在该支撑部件或该另一电介质部件的、该支撑部件与该另一电介质部件接触的部位上具有缓冲材料。
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公开(公告)号：CN113307229A
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN202110651292.5
申请日：2016-08-08
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: C01B13/10
Abstract: 本发明涉及能够以高效率生成臭氧的臭氧发生方法。本发明的臭氧发生方法的特征在于，其具备：原料气体供给单元，其供给含有氧的原料气体；气体流路形成部件，其形成供来自该原料气体供给单元的原料气体流通的气体流路；和紫外线光源，其配置在该气体流路内并放射紫外线，并且该臭氧发生方法通过对在该气体流路中流通的原料气体照射来自该紫外线光源的紫外线，从而使原料气体中的氧吸收紫外线而生成臭氧，其中，所述紫外线光源由放射波长为200nm以下的紫外线的准分子灯构成，在所述气体流路中，在配置有紫外线光源的区域中的原料气体的流速为1m/s以上。
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公开(公告)号：CN108261555A
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201710001244.5
申请日：2017-01-03
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: A61L9/015 , A61L2/20 , C02F1/78 , A61L101/10
Abstract: 本发明提供一种能够与臭氧原料气体即空气的湿度无关地利用由空气生成的臭氧，进而以较高的杀菌效率进行杀菌处理的杀菌方法。本发明的杀菌方法对由空气构成的臭氧原料气体照射臭氧生成用光，由此获得含臭氧空气，使杀菌对象物曝露于所获得的含臭氧空气，由此对该杀菌对象物进行杀菌，该臭氧生成用光不包含分解臭氧的波长区域的光，而是波长为200nm以下的光，其特征在于，该臭氧原料气体的相对湿度为60％RH以下。
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公开(公告)号：CN107922189A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680048410.0
申请日：2016-08-08
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明的目的在于，提供能够以高效率生成臭氧的臭氧发生器。本发明的臭氧发生器的特征在于，其具备：原料气体供给单元，其供给含有氧的原料气体；气体流路形成部件，其形成供来自该原料气体供给单元的原料气体流通的气体流路；和紫外线光源，其配置在该气体流路内并放射紫外线，并且该臭氧发生器通过对在该气体流路中流通的原料气体照射来自该紫外线光源的紫外线，从而使原料气体中的氧吸收紫外线而生成臭氧，其中，所述紫外线光源由放射波长为200nm以下的紫外线的准分子灯构成，在所述气体流路中，在配置有紫外线光源的区域中的原料气体的流速为0.1m/s以上。
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