一种偏振同步移相干涉测量装置和方法

    公开(公告)号:CN112344878A

    公开(公告)日:2021-02-09

    申请号:CN202011254418.7

    申请日:2020-11-11

    Abstract: 偏振同步移相干涉测量装置及方法,解决了非球面在位测量中灵活性和准确性之间的平衡性问题,在保证面形测量精度的同时提高测量的灵活性。装置包括:激光器(1)、扩束镜(2)、准直镜(3)、第一分光棱镜(4)、第一偏振分光棱镜(5)、第一四分之一波片(6)、线偏振器(7)、空间光调制器(8)、参考镜(9)、第二偏振分光棱镜(10)、第二四分之一波片(11)、第一成像透镜(12)、第一偏振CCD相机(13)、被测镜(14)、第三四分之一波片(15)、第二分光棱镜(16)、第四四分之一波片(17)、第二成像透镜(18)、第二偏振CCD相机(19)。

    变焦稳像一体化成像系统中变形镜变焦面形设计方法

    公开(公告)号:CN109946829A

    公开(公告)日:2019-06-28

    申请号:CN201910343204.8

    申请日:2019-04-26

    Abstract: 本发明涉一种变焦稳像一体化成像系统中变形镜变焦面形设计方法,属于光电技术领域。首先建立变形镜变焦面形模型。然后建立变形镜变焦面形与光学系统焦距之间的求解关系。最后根据成像系统变焦需求,计算变形镜变焦面形,根据计算结果调整实现所需的变形镜面形。本发明方法能够在变形镜动态范围内生成适合的面形,以满足光学成像系统变焦的需要。

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