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公开(公告)号：CN115790951A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211425927.0
申请日：2022-11-15
Applicant: 南京林业大学
Abstract: 本发明提供一种气压传感器，包括基板、薄膜、下电极、上电极、第一V形梁、第二V形梁、驱动单元、第三V形梁和支撑杆：所述基板的第一表面设置有凹槽，所述凹槽的开口端覆盖所述薄膜，所述基板和所述薄膜共同形成真空空腔；所述下电极固定于所述薄膜的远离所述真空空腔的一侧，所述下电极具有相对的第一侧边和第二侧边；所述上电极包括第一上电极和第二上电极，所述第一上电极和所述第二上电极对称设置于所述下电极的上方，并与所述下电极形成预设距离。本发明的一个技术效果在于，设计合理，其具有较高的检测精度，且检测范围可调节，使用非常方便。
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公开(公告)号：CN112097938B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202010985002.6
申请日：2020-09-17
Applicant: 南京林业大学
Abstract: 本发明提供一种基于机械超材料结构的无源无线温度传感器，该温度传感器包括：基板、以及设置在基板上的至少一个温度感应单元与应变感应单元，应变感应单元包括机械超材料结构、LC谐振回路以及多个绝缘支撑件；其中，机械超材料结构与至少一个温度感应单元连接，以接收温度感应单元因温度变化所产生的单一方向的应变，并将单一方向的应变转换为多方向的应变，LC谐振回路通过多个绝缘支撑件与机械超材料结构连接，以在多方向的应变下产生谐振频率的变化，以通过互感耦合的方式非接触测量谐振频率，实现对温度的测量。本发明采用了无源无线的测量方式，使得该温度传感器功耗低、易于测量，同时还具有结构简单、测量误差小、工艺兼容等优势。
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公开(公告)号：CN109052308B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201810812300.8
申请日：2018-07-23
Applicant: 南京林业大学
Abstract: 本发明提供一种二维曲率传感器，包括柔性衬底、三个终端式微波功率传感器结构，三个终端式微波功率传感器结构分别通过共面波导中心信号线、与三个电感相连接，还包括与微波信号线相连的第四电感，且第一电感、第二电感、第三电感、第四电感的另一端共同连接质量块；与共面波导中心信号线对应设置有热电堆，用于感应温度变化并输出热电势。随着二维曲率的变化，该曲率传感器中的电感大小发生变化，导致传输到三个终端式微波功率传感器的微波功率大小发生变化，进而使得热电堆输出的热电势发生改变，从而实现二维曲率的测量。
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公开(公告)号：CN108760070A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810813507.7
申请日：2018-07-23
Applicant: 南京林业大学
IPC: G01K7/00
Abstract: 本发明提供了一种V形梁结构LC谐振的温度传感器，该温度传感器包括衬底、形成在衬底上的V形梁热驱动结构和LC谐振电路，其中，V形梁热驱动结构用于驱动LC谐振电路，V形梁热驱动结构包括V形梁、第一推杆、介质层、第二推杆，所述第一推杆设置在所述V形梁的顶端连接处，所述介质层上下两侧分别连接所述第一推杆和所述第二推杆，所述LC谐振电路包括位于所述第二推杆左右两侧的第一电感和第二电感，所述第一电感的左侧连接第一微波信号端口；所述第二电感的右侧连接电容、所述电容的右侧连接第二微波信号端口。与现有技术相比，本发明的温度传感器结构简单，实现了传感器的小型化；选用V形梁热驱动结构来反馈温度的变化，测量灵敏度可以达到较高水平，测量误差小。
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