一种基于数字掩模光刻技术制作微透镜阵列的方法

    公开(公告)号:CN102141639A

    公开(公告)日:2011-08-03

    申请号:CN201110096730.2

    申请日:2011-04-18

    Abstract: 一种基于数字掩模光刻技术制作微透镜阵列的方法,制作方法为:通过计算机设计并控制微透镜阵列掩模图形的排列方式,自动控制微透镜阵列中各微透镜数字掩模图形在曝光平面上绕各自对称轴同时旋转;最后采用实时动态的曝光方式,在光刻基板上一次性曝光形成微透镜阵列浮雕面型,从而得到微透镜阵列。本发明的技术效果是:1、适合于大规模阵列化制作;2、能合理地设计单个透镜之间的距离,达到较高的占空比;3、可实时改变数字掩模图形的旋转速度和曝光时间;4、曝光过程由计算机控制,操作简单;5、可在基片上一次性曝光出完整面形的微透镜阵列。

    一种利用数字掩模制作线宽可调制亚微米光栅的方法

    公开(公告)号:CN116540339A

    公开(公告)日:2023-08-04

    申请号:CN202310400345.5

    申请日:2023-04-14

    Abstract: 本发明公开了一种利用数字掩模制作线宽可调制亚微米光栅的方法,该方法通过匹配数字光刻系统中两个SLM的错位和光栅光刻掩模子图的设计,依次将预先设计好的光栅光刻掩模子图同时分配给错位配置的SLM1和SLM2显示,通过计算机控制SLM1和SLM2分别按预先设定好的曝光时间依次同时投影光栅光刻掩模子图在涂覆光刻胶的基底上同一位置进行多次叠加曝光,形成不同的错位叠加曝光量,以此实现线宽可调制亚微米光栅的制作;本发明充分利用数字掩模光刻快速、准确投影图形的显著优势,避免了压电平台的多次重复扫描引入的重复定位误差和导致的加工效率下降。

    一种监测航空发动机尾气粒子流场的系统装置及方法

    公开(公告)号:CN115077856A

    公开(公告)日:2022-09-20

    申请号:CN202210609030.7

    申请日:2022-05-31

    Abstract: 本发明公开了一种监测航空发动机尾气粒子流场的系统装置及方法,包括信号发生系统、信号传输系统和信号接收系统,信号发生系统由激光器和型号为DG535的信号发生器组成,信号传输系统由航空发动机尾喷口、圆形光阑、双凹球面透镜、平凸柱面透镜组成,信号接收系统由ICCD相机和计算机组成,信号发生系统与信号传输系统连接,信号传输系统与信号接收系统连接;本发明利用ICCD相机的高速门控功能拍摄航空发动机尾焰颗粒经过激光束照射发出的散射光,经图像处理后得出颗粒大小和运动轨迹,辅助判断航空发动机燃烧效率以及是否存在故障风险,从而对航空发动机进行有效的可靠性监测和健康管理,有利于提升航空发动机的可靠性和降低维修成本。

    一种基于液体驱动的逻辑电路教学演示装置

    公开(公告)号:CN114927042A

    公开(公告)日:2022-08-19

    申请号:CN202210633688.1

    申请日:2022-06-06

    Abstract: 本发明公开了一种基于液体驱动的逻辑电路教学演示装置,包括逻辑处理模块、读取模块、导流管和基于液体驱动的输入模块,输入模块与逻辑处理模块连接,逻辑处理模块通过导流管与读取模块连接,逻辑处理模块由第一运算逻辑门单元和第二运算逻辑门单元组成,第一运算逻辑门单元上设置有第一与门输出口和第一异或门输出口,第二运算逻辑门单元上设置有第二与门输出口和第二异或门输出口,读取模块由第一读取用逻辑门单元、第二读取用逻辑门单元、第三读取用逻辑门单元组成,本发明通过液体传导信息,模拟与门、异或门、二进制加法器逻辑运算,直观地展现逻辑门的功能及运算流程,加深学生对逻辑运算的理解。

    一种探测受激布里渊散射瞬态超声光栅光谱的系统装置

    公开(公告)号:CN108593106B

    公开(公告)日:2020-03-31

    申请号:CN201810356576.X

    申请日:2018-04-19

    Abstract: 本发明提供一种探测受激布里渊散射瞬态超声光栅光谱的系统装置。包括种子注入脉冲Nd;YAG激光器、偏振分光镜、波片等等。上述系统装置的具体过程是种子注入脉冲Nd;YAG激光器发射出波长为532nm的激光束,经过偏振分光镜,偏振分光镜对水平光高透,对垂直偏振光高反,激光束再经过1/4波片、凸透镜,聚焦到控温玻璃水槽中,产生后向受激布里渊散射光谱,受激布里渊散射光依次通过1/4波片、偏振分光镜、反射镜、凹透镜、凸透镜、F‑P标准具后,进入ICCD信号采集系统,ICCD的时序控制装置是脉冲延迟发生器,信号处理分析后显示在计算机上。本发明的优点是:更准确的探测受激布里渊散射瞬态光栅结构来分析受激布里渊散射产生机制。

    一种二维仿生矢量水听器
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110261894A

    公开(公告)日:2019-09-20

    申请号:CN201910687817.3

    申请日:2019-07-29

    Abstract: 本发明提供了一种二维仿生矢量水听器,包括一个纤毛-悬臂梁微结构,所述纤毛-悬臂梁微结构包括一个正方形衬底、四根悬臂梁和一根纤毛;所述衬底的中心位置设有质量块,四个所述悬臂梁一端与所述质量块连接,另一端与所述衬底内壁垂直连接,相邻两个所述悬臂梁之间呈垂直结构;所述纤毛一端与所述质量块连接,所述纤毛与所述悬臂梁之间呈垂直结构;四根所述悬臂梁上分别刻有非均匀周期反射光栅。本发明提供的水听器可以实现全光检测,有效地降低成本并提高检测精度;本发明所采用的非均匀周期反射光栅使用PMMA或PLA等耐腐蚀材料,避免透声膜、硅油的封装保护,从而可以进一步的提高检测的精度。

    一种普遍适用的DMD集群控制系统及控制方法

    公开(公告)号:CN110062184A

    公开(公告)日:2019-07-26

    申请号:CN201910281050.4

    申请日:2019-04-09

    Abstract: 一种普遍适用的DMD集群控制系统及控制方法,包括主控服务端、DMD伺服端、组网系统、电源管理模块,主控服务端由计算机硬件、联网硬件和人机交互面板构成,DMD伺服端由智能硬件、联网硬件和视频输出卡构成,组网系统由联网硬件构成;电源管理模块由变压器、继电器、联网硬件构成。本发明能将DMD集群控制简单化、高效化,支持远程、实时、高速地为DMD晶片提供视频图像信息,DMD伺服端主动从网络上主控服务端获取视频图像信息并通过HDMI/VGA/DVI等常见视频图像信息传输接口输入DMD主控板,由DMD伺服端构成的集群具备普遍适用和集群的规模不影响传输速率,对DMD集群应用领域的科研进程有极大的前瞻推动能力。

    一种测量高斯光束在水中传输发散角的系统装置

    公开(公告)号:CN108387366A

    公开(公告)日:2018-08-10

    申请号:CN201810356580.6

    申请日:2018-04-19

    Abstract: 本发明公开了一种测量高斯光束在水中传输发散角的系统装置。该装置包括种子注入式固体脉冲激光器、PVC管、3.5%盐度海水、高透光学玻璃、反射镜(12、13、14)、光束质量分析仪。种子注入式固体脉冲激光器,发射出波长为532nm的激光,用光束质量分析仪测量入射光光束质量,然后光束经过高透光学玻璃进入PVC管,移动反射镜,可以测量光束在水下传播5米到45米距离后的光束质量因子M2和光束发散角。本发明的优点是:模拟真实水下环境,更准确更高效的测量高斯光束在水下传播的光束特性。

    一种基于亚像素调制提高数字光刻分辨力的方法

    公开(公告)号:CN104820345A

    公开(公告)日:2015-08-05

    申请号:CN201510265423.0

    申请日:2015-05-23

    Abstract: 一种基于亚像素调制提高数字光刻分辨力的方法,其特征是在一个多SLM数字光刻系统中,通过五自由度精密调节系统来调整相应SLM投影的相对位置,控制其中任意两个SLM,使其投影到基底的两幅图形在平行于基底平面的两个方向上产生错位,并且错位距离不大于SLM一个像素对应的尺寸,使基于SLM的数字光刻系统制作出小于单像素尺寸的线条,从而基于亚像素调制实现提高SLM数字光刻横向制作分辨力。本发明所述的方法采用多个SLM的投影同时错位叠加曝光的方式,突破由单个SLM像素尺寸限制的最小曝光分辨力,可有效解决数字光刻系统分辨力低的问题,实现高精度数字化光刻制作,大大降低高精度光刻制作成本。

    数字光刻微雕的制作装置及其雕刻制作方法

    公开(公告)号:CN103472683A

    公开(公告)日:2013-12-25

    申请号:CN201310395073.0

    申请日:2013-09-03

    Abstract: 本发明公开数字光刻微雕的制作装置及其雕刻制作方法,它采用DMD取代传统光刻技术中的固定的掩模版。由于DMD具有空间调制特性,能生成与原版字画等艺术品一致的图案或文字,再根据光刻镜头(缩微物镜)的光学成像原理,即可将整版图像微缩到涂覆有光刻胶的玻璃上。结合湿法光刻工艺,将所得图像最终转印到能够长久保存的真空镀铬金属膜的玻璃基材上,使得该微雕工艺的制作周期较之于传统的手工微雕工艺制作周期要缩短很多。该微雕制作装置与制作方法克服了传统手工微雕工艺品图样失真、成品率低、甚至功亏一篑等诸多缺点,是一种在微雕技术中具有创新的制作装置与制作方法。

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