一种基于同步共振的流体中微量物质检测装置及方法

    公开(公告)号:CN107796868B

    公开(公告)日:2023-12-15

    申请号:CN201711231656.4

    申请日:2017-11-28

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于同步共振的流体中微量物质检测装置及方法,属于传感器技术领域。固支梁阵列结构由多根尺寸相同的固支梁组成,包括一根参考梁和至少一根检测梁。不同固支梁的两端通过耦合单元相连,固支梁阵列结构和耦合单元都固定在支撑结构上。每根固支梁和支撑结构的内部都加工有相通的微流道,待测流体经过支撑结构上的流道入口依次流过各根固支梁。参考梁的微流道上沉积惰性材料层,检测梁的微流道上沉积不同的敏感层。在支撑结构下部有压电圆盘,激励阵列结构振动。每根固支梁的上表面沉积有压电层,用于策动阵列结构同步共振和检测信号输出。本发明具有结构新颖、能同时检测多种物质、分辨率高的优点。

    基于同步共振的高分辨率差压式流量传感器及检测方法

    公开(公告)号:CN107817026B

    公开(公告)日:2023-10-10

    申请号:CN201711245097.2

    申请日:2017-11-29

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明提供一种基于同步共振的高分辨率差压式流量传感器及检测方法,属于差压式流量传感器。底座内流道一端与引压流道密封相连,另一端与支撑部压缩腔密封连接,分隔膜处于底座与支撑部中间,支撑部与两对同步共振悬臂梁连接,支撑部内流道一端与压缩腔相连,另一端与检测梁内流道连接,且检测梁内流道与敏感腔相连,检测梁基底上表面设置有压电激振片,拾振梁基底上表面设置有压电拾振片,两对同步共振悬臂梁组成差动式结构。本发明结构新颖,与节流装置配合使用,将水压的变化转化成密闭气体密度的变化,利用同步共振悬臂梁结构实现对流体压差的高分辨率测量,从而求得被测流体的流量。

    一种基于碳纳米管模板制造纳米尺度通道流控器件的方法

    公开(公告)号:CN114084869A

    公开(公告)日:2022-02-25

    申请号:CN202111463200.7

    申请日:2021-12-02

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于碳纳米管模板制造纳米尺度通道流控器件的方法,包括PDMS微米沟道基底制造、碳纳米管模具制造和PDMS纳米通道流控器件制造三大步骤,利用碳纳米管在交流电场和超声振动作用下,可形成均匀分布、方向一致的碳纳米管,为纳米通道的制造提供模具,与现有纳米通道制作方法相比,本发明优势在于制造工艺简单,操作方便,成本更低,无需依赖于超净间设备,给10纳米尺度通道的制备提供参考,有利于纳米尺度通道的应用和推广。

    一种纳流控芯片的制备方法

    公开(公告)号:CN108097339B

    公开(公告)日:2020-07-14

    申请号:CN201810020244.4

    申请日:2018-01-09

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明涉及一种纳流控芯片的制备方法,属于纳米制造领域。将由聚甲基丙烯酸甲酯制成的盖板,完全浸没在丙酮乙醇溶液中,浸泡1min~1.5min,将由聚甲基丙烯酸甲酯制成的基板,浸泡丙酮乙醇溶液中,浸泡5s~10s,取出后,用纯净的氮气吹干,将处理的盖板与基板置于工作台上进行热压键合。优点是与未经丙酮乙醇溶液处理、直接用热压键合制成纳米通道的方法相比,其优势在于降低了基板部分由于热压健合造成的通道形状改变及通道尺寸变小,有效地提升了基板与盖板之间的键合程度,改善了键合效果,使二者更紧密。

    一种宽频域自调谐双稳态振动能量采集器及采集方法

    公开(公告)号:CN109104123A

    公开(公告)日:2018-12-28

    申请号:CN201811227202.4

    申请日:2018-10-21

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明涉及一种宽频域自调谐双稳态振动能量采集器及采集方法,属于微能源采集领域。Y方向位移调节装置与支撑基座上方中部固定连接,磁铁Z方向位移调节装置一和磁铁Z方向位移调节装置二分别与支撑基座上方固定连接、且位于Y方向位移调节装置两侧,Z方向位移调节装置与Y方向位移调节装置上部固定连接,双稳态能量采集核心结构与Z方向位移调节装置上部固定连接。本发明能够根据外界振动频率的变化自行、被动频率匹配、无须主动调节,即实现频率自调谐,极大程度的拓宽了频域,提高了能量转换效率,使能量采集器在不同的工况内都能够实现双稳态。进一步拓宽频域,提高能量转换效率。

    一种制备电射流纳米喷针的方法

    公开(公告)号:CN108466486A

    公开(公告)日:2018-08-31

    申请号:CN201810242736.8

    申请日:2018-03-22

    Applicant: 吉林大学

    CPC classification number: B41J2/1626 B41J2/1631 B41J2/1637 B41J2/164

    Abstract: 本发明涉及一种制备电射流纳米喷针的方法,属于电射流打印喷针制备方法。包括制作标记点,蒸镀铝薄膜,纳米喷针SU-8基底层制作,纳米喷针应力集中结构制作,纳米喷针SU-8结构层制作,丙酮处理,SU-8胶纳米喷针剥离。本发明利用光刻技术和应力集中原理,来制备纳米纳米喷针,与现有喷针制作方法相比,其优势在于制备难度降低,成本较低,成品率高,能够有效更好的保护纳米喷针的结构完整,形成的喷针通道的口径更符合人们的需求,并且制备方法便于操作,原材料购置方便。

    一种基于参数激励及同步共振的微量物质检测装置及方法

    公开(公告)号:CN108872063B

    公开(公告)日:2023-11-07

    申请号:CN201811047674.1

    申请日:2018-09-07

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于参数激励及同步共振的微量物质检测装置及方法,属于微量物质检测装置及方法。包括至少一根参激梁、参考梁、拾振梁,两个基底,两根同步耦合梁,压电激励电极,压电感应电极,压电激励感应电极和敏感层。拾振梁为悬臂梁,参激梁与参考梁为固定梁,参激梁用于接受外部刺激,使自身固有频率发生变化通过电极的激励和扫频实现触发及感应功能,参考梁用于触发功能时与参激梁产生同步共振,抑制能量损耗。优点是结构新颖,节约材料,功能完善,通过参激梁与参考梁产生同步共振,参激梁与拾振梁产生同步共振并运用参数激励原理分别实现触发与传感功能,实现频率倍增,提高装置的灵敏度,抑制能量耗散。

    一种针对微系统三维立体结构的增材制造装置及方法

    公开(公告)号:CN109049674B

    公开(公告)日:2023-08-01

    申请号:CN201811219025.5

    申请日:2018-10-18

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明涉及一种针对微系统三维立体结构的增材制造装置及方法,属于增材制造领域。高粘度微滴挤出喷头通过支撑架固定在导向立柱上,X轴移动装置固定在基座上,Y轴移动装置固定在X轴移动装置上,偏转电场电极通过Z轴移动装置安装在导向立柱上,介电层粘接在电极阵列上,电极阵列固定在Y轴移动装置上,极化模块固定在基座上、且位于介电层的上方。本发明利用分层制造技术,根据在脉冲电场条件下液态材料液滴固化成形的技术特点,采用脉冲电场分离技术实现增材制造的精确控量,通过调节电压参数实现微米级液滴的精确喷射,以实现高粘度液体高频喷射。

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