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公开(公告)号：CN107817026B
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN201711245097.2
申请日：2017-11-29
Applicant: 吉林大学
IPC: G01F1/34
Abstract: 本发明提供一种基于同步共振的高分辨率差压式流量传感器及检测方法，属于差压式流量传感器。底座内流道一端与引压流道密封相连，另一端与支撑部压缩腔密封连接，分隔膜处于底座与支撑部中间，支撑部与两对同步共振悬臂梁连接，支撑部内流道一端与压缩腔相连，另一端与检测梁内流道连接，且检测梁内流道与敏感腔相连，检测梁基底上表面设置有压电激振片，拾振梁基底上表面设置有压电拾振片，两对同步共振悬臂梁组成差动式结构。本发明结构新颖，与节流装置配合使用，将水压的变化转化成密闭气体密度的变化，利用同步共振悬臂梁结构实现对流体压差的高分辨率测量，从而求得被测流体的流量。
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公开(公告)号：CN107976274B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN201810051934.6
申请日：2018-01-18
Applicant: 吉林大学
IPC: G01L11/04
Abstract: 本发明涉及一种基于同步共振的压力检测装置及检测方法，属于压力检测装置。包括2N个谐振单元、上基底和下基底，各谐振单元安装在边缘基座与中心基座之间，本发明利用布置于固支梁上的压电片的逆压电效应驱动梁振荡，当振动频率趋近于固支梁的固有频率时，通过耦合部分的作用，固支梁与悬臂梁发生同步共振，实现频率倍增。将N组数据进行误差对照，从而提高检测灵敏度和精度。在闭环反馈控制系统下对悬臂梁谐振频率进行检测，谐振频率的变化量表征待测压力的大小，具有高灵敏度、高精度、高分辨率的优点。
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公开(公告)号：CN107817026A
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201711245097.2
申请日：2017-11-29
Applicant: 吉林大学
IPC: G01F1/34
CPC classification number: G01F1/34
Abstract: 本发明提供一种基于同步共振的高分辨率差压式流量传感器及检测方法，属于差压式流量传感器。底座内流道一端与引压流道密封相连，另一端与支撑部压缩腔密封连接，分隔膜处于底座与支撑部中间，支撑部与两对同步共振悬臂梁连接，支撑部内流道一端与压缩腔相连，另一端与检测梁内流道连接，且检测梁内流道与敏感腔相连，检测梁基底上表面设置有压电激振片，拾振梁基底上表面设置有压电拾振片，两对同步共振悬臂梁组成差动式结构。本发明结构新颖，与节流装置配合使用，将水压的变化转化成密闭气体密度的变化，利用同步共振悬臂梁结构实现对流体压差的高分辨率测量，从而求得被测流体的流量。
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公开(公告)号：CN108872063B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN201811047674.1
申请日：2018-09-07
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种基于参数激励及同步共振的微量物质检测装置及方法，属于微量物质检测装置及方法。包括至少一根参激梁、参考梁、拾振梁，两个基底，两根同步耦合梁，压电激励电极，压电感应电极，压电激励感应电极和敏感层。拾振梁为悬臂梁，参激梁与参考梁为固定梁，参激梁用于接受外部刺激，使自身固有频率发生变化通过电极的激励和扫频实现触发及感应功能，参考梁用于触发功能时与参激梁产生同步共振，抑制能量损耗。优点是结构新颖，节约材料，功能完善，通过参激梁与参考梁产生同步共振，参激梁与拾振梁产生同步共振并运用参数激励原理分别实现触发与传感功能，实现频率倍增，提高装置的灵敏度，抑制能量耗散。
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公开(公告)号：CN108872063A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201811047674.1
申请日：2018-09-07
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种基于参数激励及同步共振的微量物质检测装置及方法，属于微量物质检测装置及方法。包括至少一根参激梁、参考梁、拾振梁，两个基底，两根同步耦合梁，压电激励电极，压电感应电极，压电激励感应电极和敏感层。拾振梁为悬臂梁，参激梁与参考梁为固定梁，参激梁用于接受外部刺激，使自身固有频率发生变化通过电极的激励和扫频实现触发及感应功能，参考梁用于触发功能时与参激梁产生同步共振，抑制能量损耗。优点是结构新颖，节约材料，功能完善，通过参激梁与参考梁产生同步共振，参激梁与拾振梁产生同步共振并运用参数激励原理分别实现触发与传感功能，实现频率倍增，提高装置的灵敏度，抑制能量耗散。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107976274A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201810051934.6
申请日：2018-01-18
Applicant: 吉林大学
IPC: G01L11/04
Abstract: 本发明涉及一种基于同步共振的压力检测装置及检测方法，属于压力检测装置。包括2N个谐振单元、上基底和下基底，各谐振单元安装在边缘基座与中心基座之间，本发明利用布置于固支梁上的压电片的逆压电效应驱动梁振荡，当振动频率趋近于固支梁的固有频率时，通过耦合部分的作用，固支梁与悬臂梁发生同步共振，实现频率倍增。将N组数据进行误差对照，从而提高检测灵敏度和精度。在闭环反馈控制系统下对悬臂梁谐振频率进行检测，谐振频率的变化量表征待测压力的大小，具有高灵敏度、高精度、高分辨率的优点。
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公开(公告)号：CN208818603U
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201821630891.9
申请日：2018-10-02
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N5/02
Abstract: 本实用新型涉及一种基于BET重量法的多孔颗粒比表面积表征传感器，属于传感器领域。包括一级谐振梁、一级谐振梁支撑结构、底座、回收槽，一级谐振梁的一端沉积有一级压电激振结构，另一端沉积有一级压电拾振结构，二级谐振梁阵列通过二级谐振梁阵列支撑结构固定于二级压电激振结构上方，有参考梁和检测梁；二级压电拾振结构沉积于二级谐振梁阵列的固定端。优点是结构新颖，通过建立多孔颗粒的气体吸附量与微悬臂梁谐振频率偏移量和气体压强间的关系，利用BET重量法，实现了比表面积的精确表征。降低了多孔颗粒比表面积表征的样品质量下限，极大的提高了传感器的精度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207439475U
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201721644010.4
申请日：2017-11-29
Applicant: 吉林大学
IPC: G01F1/34
Abstract: 本实用新型提供一种基于同步共振的高分辨率差压式流量传感器，属于差压式流量传感器。底座内流道一端与引压流道密封相连，另一端与支撑部压缩腔密封连接，分隔膜处于底座与支撑部中间，支撑部与两对同步共振悬臂梁连接，支撑部内流道一端与压缩腔相连，另一端与检测梁内流道连接，且检测梁内流道与敏感腔相连，检测梁基底上表面设置有压电激振片，拾振梁基底上表面设置有压电拾振片，两对同步共振悬臂梁组成差动式结构。本实用新型结构新颖，与节流装置配合使用，将水压的变化转化成密闭气体密度的变化，利用同步共振悬臂梁结构实现对流体压差的高分辨率测量，从而求得被测流体的流量。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208872648U
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201821467951.X
申请日：2018-09-07
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本实用新型涉及一种基于参数激励及同步共振的微量物质检测装置，属于微量物质检测装置及方法。包括至少一根参激梁、参考梁、拾振梁，两个基底，两根同步耦合梁，压电激励电极，压电感应电极，压电激励感应电极和敏感层。拾振梁为悬臂梁，参激梁与参考梁为固定梁，参激梁用于接受外部刺激，使自身固有频率发生变化通过电极的激励和扫频实现触发及感应功能，参考梁用于触发功能时与参激梁产生同步共振，抑制能量损耗。优点是结构新颖，节约材料，功能完善，通过参激梁与参考梁产生同步共振，参激梁与拾振梁产生同步共振并运用参数激励原理分别实现触发与传感功能，实现频率倍增，提高装置的灵敏度，抑制能量耗散。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207675357U
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201820088763.X
申请日：2018-01-18
Applicant: 吉林大学
IPC: G01L11/04
Abstract: 本实用新型涉及一种基于同步共振的压力检测装置，属于压力检测装置。包括2N个谐振单元、上基底和下基底，各谐振单元安装在边缘基座与中心基座之间，本实用新型利用布置于固支梁上的压电片的逆压电效应驱动梁振荡，当振动频率趋近于固支梁的固有频率时，通过耦合部分的作用，固支梁与悬臂梁发生同步共振，实现频率倍增。将N组数据进行误差对照，从而提高检测灵敏度和精度。在闭环反馈控制系统下对悬臂梁谐振频率进行检测，谐振频率的变化量表征待测压力的大小，具有高灵敏度、高精度、高分辨率的优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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