公开(公告)号：CN101352108B

公开(公告)日：2011-12-07

申请号：CN200680049571.8

申请日：2006-12-22

Applicant: 夏普株式会社 ,  积水化学工业株式会社

Inventor： 若崎环树 ,  佐藤崇 ,  田中惠一 ,  中嶋节男 ,  真弓聪 ,  中野良宪

IPC: H05H1/24 ,  B65G49/06 ,  C23C16/458 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/316 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/68742 ,  B65G49/064 ,  B65G49/065 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/04 ,  B65G2249/045 ,  H01J37/32431 ,  H01J2237/20 ,  H01L21/68778

Abstract: 本发明涉及台装置和等离子体处理装置。提供在台的载置面上载置有被处理基板的状态下，在升降销的上端和载置面之间不产生高低平面差的台装置，此外，还提供利用该台装置作为电极台，能够抑制处理不均的发生的等离子体处理装置。在电极台(2)的中央部，配置有沿销移动方向具有弹性的弹簧式升降销(20)。弹簧式升降销(20)在收容位置上，销上端(20a)从电极台(2)的载置面(11)向上方突出，通过在载置面(11)上载置并吸附被处理基板(4)，由于从被处理基板(4)受到的负荷而被压下至与载置面(11)相同的高度。

公开(公告)号：CN1523380A

公开(公告)日：2004-08-25

申请号：CN200410005589.0

申请日：2004-02-18

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 田中惠一 ,  岸本觉

IPC: G02B5/20 ,  G02F1/1335

CPC classification number: G02B5/223 ,  B41J2202/09 ,  G02B5/201

Abstract: 一种滤色镜包括黑矩阵和颜色段。黑矩阵具有许多沿着彼此之间设置间隙区域的边延展的隔离段。颜色段位于黑矩阵的间隙区域中。颜色段是通过借助喷墨方法将膜材料施加到黑矩阵的间隙区中而形成的，然后对所获得的薄膜材料进行固化。黑矩阵具有突起段，通过其间隙区域部分变窄。在施加薄膜材料中，突起段用作在间隙区域中阻止薄膜材料流动的阻隔物。这可防止颜色混合和颜色密度的不均匀，同时保持较高的生产率。