公开(公告)号：CN101352108A

公开(公告)日：2009-01-21

申请号：CN200680049571.8

申请日：2006-12-22

Applicant: 夏普株式会社 ,  积水化学工业株式会社

Inventor： 若崎环树 ,  佐藤崇 ,  田中惠一 ,  中嶋节男 ,  真弓聪 ,  中野良宪

IPC: H05H1/24 ,  B65G49/06 ,  C23C16/458 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/316 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/68742 ,  B65G49/064 ,  B65G49/065 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/04 ,  B65G2249/045 ,  H01J37/32431 ,  H01J2237/20 ,  H01L21/68778

Abstract: 本发明涉及台装置和等离子体处理装置。提供在台的载置面上载置有被处理基板的状态下，在升降销的上端和载置面之间不产生高低平面差的台装置，此外，还提供利用该台装置作为电极台，能够抑制处理不均的发生的等离子体处理装置。在电极台(2)的中央部，配置有沿销移动方向具有弹性的弹簧式升降销(20)。弹簧式升降销(20)在收容位置上，销上端(20a)从电极台(2)的载置面(11)向上方突出，通过在载置面(11)上载置并吸附被处理基板(4)，由于从被处理基板(4)受到的负荷而被压下至与载置面(11)相同的高度。

公开(公告)号：CN101352108B

公开(公告)日：2011-12-07

申请号：CN200680049571.8

申请日：2006-12-22

Applicant: 夏普株式会社 ,  积水化学工业株式会社

Inventor： 若崎环树 ,  佐藤崇 ,  田中惠一 ,  中嶋节男 ,  真弓聪 ,  中野良宪

IPC: H05H1/24 ,  B65G49/06 ,  C23C16/458 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/316 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/68742 ,  B65G49/064 ,  B65G49/065 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/04 ,  B65G2249/045 ,  H01J37/32431 ,  H01J2237/20 ,  H01L21/68778

Abstract: 本发明涉及台装置和等离子体处理装置。提供在台的载置面上载置有被处理基板的状态下，在升降销的上端和载置面之间不产生高低平面差的台装置，此外，还提供利用该台装置作为电极台，能够抑制处理不均的发生的等离子体处理装置。在电极台(2)的中央部，配置有沿销移动方向具有弹性的弹簧式升降销(20)。弹簧式升降销(20)在收容位置上，销上端(20a)从电极台(2)的载置面(11)向上方突出，通过在载置面(11)上载置并吸附被处理基板(4)，由于从被处理基板(4)受到的负荷而被压下至与载置面(11)相同的高度。

公开(公告)号：CN102472937B

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：CN201080036497.2

申请日：2010-08-05

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 田中惠一 ,  岸本觉

IPC: G02F1/1345 ,  G02F1/1335 ,  G09F9/30 ,  H01L51/50 ,  H05B33/12 ,  H05B33/26

CPC classification number: H01L51/5281 ,  G02F1/133512 ,  G02F1/136286 ,  H01L27/3276 ,  H05B33/12

Abstract: 本发明提供如下显示装置：即使是使用铜配线的显示装置，也不妨碍像素的高开口率化，能防止由在显示装置的内面产生的外界光的反射光引起的显示画面的偏色，显示特性优良。本发明的显示装置具有多个像素区域，各像素区域具有含有铜或者其合金的铜配线(220、230)、红色的着色层(310R)以及其它颜色的着色层(320B、330G)，反射从上述显示装置的显示面侧入射的入射光的上述铜配线的配线面积在具有红色的着色层的像素区域中比在具有其它颜色的着色层的像素区域中小。

公开(公告)号：CN102834547A

公开(公告)日：2012-12-19

申请号：CN201180007492.1

申请日：2011-01-28

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社 ,  夏普株式会社

Inventor： 安谷屋智幸 ,  冈部哲 ,  后藤敏之 ,  丸山岳人 ,  小林和树 ,  田中惠一 ,  中村涉 ,  纪藤贤一 ,  田中哲宪

IPC: C23F1/18 ,  C23F1/26 ,  H01L21/308 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/3213 ,  H01L23/52

CPC classification number: H01L21/32134 ,  C23F1/18 ,  C23F1/26 ,  C23F1/44 ,  H01L23/53238 ,  H01L2924/0002 ,  H05K3/067 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供用于包括铜层和钛层的多层薄膜的蚀刻液和使用其的包括铜层和钛层的多层薄膜的蚀刻方法。一种用于包括铜层和钛层的多层薄膜的蚀刻液和使用其的蚀刻方法，该蚀刻液含有：(A)过氧化氢、(B)硝酸、(C)氟离子供给源、(D)唑类、(E)季铵氢氧化物和(F)过氧化氢稳定剂，且pH为1.5~2.5。

公开(公告)号：CN103348397B

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201280006997.0

申请日：2012-02-09

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 田中惠一 ,  井上圭太 ,  小林和树

IPC: G09F9/00 ,  C03C15/00 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333 ,  G09F9/30

CPC classification number: C03C15/00 ,  G02F1/1333

Abstract: 本发明的修正方法包含：对构成图像显示面板的玻璃基板（12）的缺陷部位（D3）及其周缘部（E3）局部地供给蚀刻剂（20）；使该供给的蚀刻剂保持在上述基板的缺陷部位及其周缘，由此在该缺陷部位及其周缘局部地进行蚀刻，实现上述漫反射的消失或缓和；以及将该蚀刻剂从该供给的部分除去。

公开(公告)号：CN102713695B

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：CN201180006343.3

申请日：2011-01-11

Applicant: 凸版印刷株式会社 ,  夏普株式会社

Inventor： 松井浩平 ,  安井亮辅 ,  田中惠一 ,  吉泽武德

IPC: G02B5/20 ,  B32B3/14 ,  B32B7/02 ,  G02B5/22 ,  G02F1/1335 ,  G02F1/1339 ,  G03F7/20

CPC classification number: G02B5/201 ,  G02F1/133516 ,  G02F1/13394

Abstract: 本发明提供一种彩色滤光片基板的曝光方法，使用小型掩膜连续曝光方式，能够在位于彩色滤光片基板的显示区域四边的外侧的非显示区域形成伪PS。如图8(a)所示，一边在Y方向上搬运基板20，一边对基板20上的第一非显示区域51(右上斜影线所示的区域)的第一层81进行曝光，一边对显示区域的层91进行曝光。接着，使基板20旋转90度，如图8(b)所示，一边在X方向上搬运基板20，一边对第二非显示区域52(右上斜影线所示的区域)的第二层82进行曝光。并且，如图8(c)所示，通过对基板20进行一次近接(proximity)曝光，来对第一非显示区域51内的第一层81上的第三层83进行曝光，并对第二非显示区域52内的第二层82上的第四层84进行曝光，同时对显示区域40的层92进行曝光。

公开(公告)号：CN103348397A

公开(公告)日：2013-10-09

申请号：CN201280006997.0

申请日：2012-02-09

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 田中惠一 ,  井上圭太 ,  小林和树

IPC: G09F9/00 ,  C03C15/00 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333 ,  G09F9/30

CPC classification number: C03C15/00 ,  G02F1/1333

Abstract: 本发明的修正方法包含：对构成图像显示面板的玻璃基板（12）的缺陷部位（D3）及其周缘部（E3）局部地供给蚀刻剂（20）；使该供给的蚀刻剂保持在上述基板的缺陷部位及其周缘，由此在该缺陷部位及其周缘局部地进行蚀刻，实现上述漫反射的消失或缓和；以及将该蚀刻剂从该供给的部分除去。

公开(公告)号：CN102472937A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201080036497.2

申请日：2010-08-05

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 田中惠一 ,  岸本觉

IPC: G02F1/1345 ,  G02F1/1335 ,  G09F9/30 ,  H01L51/50 ,  H05B33/12 ,  H05B33/26

CPC classification number: H01L51/5281 ,  G02F1/133512 ,  G02F1/136286 ,  H01L27/3276 ,  H05B33/12

Abstract: 本发明提供如下显示装置：即使是使用铜配线的显示装置，也不妨碍像素的高开口率化，能防止由在显示装置的内面产生的外界光的反射光引起的显示画面的偏色，显示特性优良。本发明的显示装置具有多个像素区域，各像素区域具有含有铜或者其合金的铜配线(220、230)、红色的着色层(310R)以及其它颜色的着色层(320B、330G)，反射从上述显示装置的显示面侧入射的入射光的上述铜配线的配线面积在具有红色的着色层的像素区域中比在具有其它颜色的着色层的像素区域中小。

公开(公告)号：CN102834547B

公开(公告)日：2014-08-20

申请号：CN201180007492.1

申请日：2011-01-28

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社 ,  夏普株式会社

Inventor： 安谷屋智幸 ,  冈部哲 ,  后藤敏之 ,  丸山岳人 ,  小林和树 ,  田中惠一 ,  中村涉 ,  纪藤贤一 ,  田中哲宪

IPC: C23F1/18 ,  C23F1/26 ,  H01L21/308 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/3213 ,  H01L23/52

CPC classification number: H01L21/32134 ,  C23F1/18 ,  C23F1/26 ,  C23F1/44 ,  H01L23/53238 ,  H01L2924/0002 ,  H05K3/067 ,  H01L2924/00

Abstract: 提供用于包括铜层和钛层的多层薄膜的蚀刻液和使用其的包括铜层和钛层的多层薄膜的蚀刻方法。一种用于包括铜层和钛层的多层薄膜的蚀刻液和使用其的蚀刻方法，该蚀刻液含有：(A)过氧化氢、(B)硝酸、(C)氟离子供给源、(D)唑类、(E)季铵氢氧化物和(F)过氧化氢稳定剂，且pH为1.5~2.5。

公开(公告)号：CN1278143C

公开(公告)日：2006-10-04

申请号：CN200410005589.0

申请日：2004-02-18

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 田中惠一 ,  岸本觉

IPC: G02B5/20 ,  G02F1/1335

CPC classification number: G02B5/223 ,  B41J2202/09 ,  G02B5/201

Abstract: 一种滤色镜包括黑矩阵和颜色段。黑矩阵具有许多沿着彼此之间设置间隙区域的边延展的隔离段。颜色段位于黑矩阵的间隙区域中。颜色段是通过借助喷墨方法将膜材料施加到黑矩阵的间隙区中而形成的，然后对所获得的薄膜材料进行固化。黑矩阵具有突起段，通过其间隙区域部分变窄。在施加薄膜材料中，突起段用作在间隙区域中阻止薄膜材料流动的阻隔物。这可防止颜色混合和颜色密度的不均匀，同时保持较高的生产率。