公开(公告)号：CN100485897C

公开(公告)日：2009-05-06

申请号：CN200410008550.4

申请日：2004-03-24

Applicant: 奥林巴斯株式会社

Inventor： 安田守 ,  藤崎畅夫

IPC: H01L21/68 ,  G01N21/00 ,  G01N35/10

Abstract: 本发明提供一种大型基板载物台，其结构是：对设置了驱动部(7)的主轴侧移动工作台(10)、从动侧移动工作台(12)和主动-从动工作台结合件(14)进行结合，其中对主轴侧移动工作台(10)，通过旋转轴(15)来对检测基板固定支架(16)进行轴支承，而且，在该检测基板固定支架(16)和从动侧移动工作台(12)之间插入传动件(21)。

公开(公告)号：CN1578907A

公开(公告)日：2005-02-09

申请号：CN03800734.7

申请日：2003-05-27

Applicant: 奥林巴斯株式会社

Inventor： 安田守 ,  藤崎畅夫

IPC: G01N21/84 ,  G01M11/00 ,  G09F9/00

CPC classification number: G01N21/958 ,  G01N2021/9513 ,  G01N2201/021

Abstract: 在台架(1)上利用起重器(19)的伸缩动作能够使基板支架(5)在升起方向上进行摇动，若通过摇动使基板支架(5)升起，则基板支架(5)在直线导向器(15)的铰链(10)上所设置的移动块(14)上进行滑动，从基座(3)的边缘部分(11)向前方推出，同时使基板支架(5)的作为下端侧的边缘从台架(1)的基座(3)的边缘部分(11)向下降低。

公开(公告)号：CN101407284A

公开(公告)日：2009-04-15

申请号：CN200810177914.X

申请日：2003-04-16

Applicant: 奥林巴斯株式会社

Inventor： 安田守 ,  藤崎畅夫

IPC: B65G51/03 ,  B65G49/06 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G49/065 ,  B65G51/03 ,  B65G2249/04 ,  H01L21/67784

Abstract: 本发明提供一种衬底输送装置，其是从各衬底装载台(1、16)和浮起块(11)上形成的多个空气孔(4、18、12)上吹空气而使玻璃衬底(3)浮起，吸附保持该浮起的玻璃衬底(3)在输送方向C上的前端部两端而进行牵引，同时进行输送。

公开(公告)号：CN101407283A

公开(公告)日：2009-04-15

申请号：CN200810176658.2

申请日：2003-04-16

Applicant: 奥林巴斯株式会社

Inventor： 安田守 ,  藤崎畅夫

IPC: B65G51/03 ,  B65G49/06 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G49/065 ,  B65G51/03 ,  B65G2249/04 ,  H01L21/67784

Abstract: 本发明提供一种衬底输送装置，其是从各衬底装载台(1、16)和浮起块(11)上形成的多个空气孔(4、18、12)上吹空气而使玻璃衬底(3)浮起，吸附保持该浮起的玻璃衬底(3)在输送方向C上的前端部两端而进行牵引，同时进行输送。