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公开(公告)号：CN1532534A
公开(公告)日：2004-09-29
申请号：CN200410008550.4
申请日：2004-03-24
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Abstract: 本发明提供一种大型基板载物台，其结构是：对设置了驱动部(7)的主轴侧移动工作台(10)、从动侧移动工作台(12)和主动－从动工作台结合件(14)进行结合，其中对主轴侧移动工作台(10)，通过旋转轴(15)来对检测基板固定支架(16)进行轴支承，而且，在该检测基板固定支架(16)和从动侧移动工作台(12)之间插入传动件(21)。
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公开(公告)号：CN101407283B
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN200810176658.2
申请日：2003-04-16
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: B65G51/03 , B65G49/06 , H01L21/677
CPC classification number: B65G49/065 , B65G51/03 , B65G2249/04 , H01L21/67784
Abstract: 本发明提供一种衬底输送装置，其是从各衬底装载台(1、16)和浮起块(11)上形成的多个空气孔(4、18、12)上吹空气而使玻璃衬底(3)浮起，吸附保持该浮起的玻璃衬底(3)在输送方向C上的前端部两端而进行牵引，同时进行输送。
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公开(公告)号：CN100483115C
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN03800734.7
申请日：2003-05-27
Applicant: 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: G01N21/958 , G01N2021/9513 , G01N2201/021
Abstract: 在台架(1)上利用起重器(19)的伸缩动作能够使基板支架(5)在升起方向上进行摇动，若通过摇动使基板支架(5)升起，则基板支架(5)在直线导向器(15)的铰链(10)上所设置的移动块(14)上进行滑动，从基座(3)的边缘部分(11)向前方推出，同时使基板支架(5)的作为下端侧的边缘从台架(1)的基座(3)的边缘部分(11)向下降低。
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公开(公告)号：CN101412472A
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200810178322.X
申请日：2003-04-16
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: B65G49/06 , B65G47/74 , B65G47/24 , H01L21/677 , H01L21/68
CPC classification number: B65G49/065 , B65G51/03 , B65G2249/04 , H01L21/67784
Abstract: 本发明提供一种衬底输送装置，其是从各衬底装载台(1、16)和浮起块(11)上形成的多个空气孔(4、18、12)上吹空气而使玻璃衬底(3)浮起，吸附保持该浮起的玻璃衬底(3)在输送方向C上的前端部两端而进行牵引，同时进行输送。
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公开(公告)号：CN101412472B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN200810178322.X
申请日：2003-04-16
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/68 , B65G49/06 , B65G47/74 , B65G47/24
CPC classification number: B65G49/065 , B65G51/03 , B65G2249/04 , H01L21/67784
Abstract: 本发明提供一种衬底输送装置，其是从各衬底装载台(1、16)和浮起块(11)上形成的多个空气孔(4、18、12)上吹空气而使玻璃衬底(3)浮起，吸附保持该浮起的玻璃衬底(3)在输送方向C上的前端部两端而进行牵引，同时进行输送。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101407284B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200810177914.X
申请日：2003-04-16
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: B65G51/03 , B65G49/06 , H01L21/677
CPC classification number: B65G49/065 , B65G51/03 , B65G2249/04 , H01L21/67784
Abstract: 本发明提供一种衬底输送装置，其是从各衬底装载台(1、16)和浮起块(11)上形成的多个空气孔(4、18、12)上吹空气而使玻璃衬底(3)浮起，吸附保持该浮起的玻璃衬底(3)在输送方向C上的前端部两端而进行牵引，同时进行输送。
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公开(公告)号：CN1646400B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN03808707.3
申请日：2003-04-16
Applicant: 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: B65G49/065 , B65G51/03 , B65G2249/04 , H01L21/67784
Abstract: 本发明提供一种衬底输送装置，其用于输送平板显示器制造工艺中所制造的衬底，其特征在于，具有：衬底浮起块，其形成为相对于上述衬底的输送方向的垂直方向上的宽度比上述衬底的宽度稍短，并用于浮起上述衬底；衬底输送机构，其夹着上述衬底浮起块、沿上述衬底的输送方向可移动地设置，并吸附保持从上述衬底浮起块向外侧突出的上述衬底背面的两端部，在浮起上述衬底的状态下沿上述输送方向进行输送。
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公开(公告)号：CN1646400A
公开(公告)日：2005-07-27
申请号：CN03808707.3
申请日：2003-04-16
Applicant: 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: B65G49/065 , B65G51/03 , B65G2249/04 , H01L21/67784
Abstract: 本发明提供一种衬底输送装置，其是从各衬底装载台(1、16)和浮起块(11)上形成的多个空气孔(4、18、12)上吹空气而使玻璃衬底(3)浮起，吸附保持该浮起的玻璃衬底(3)在输送方向C上的前端部两端而进行牵引，同时进行输送。
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公开(公告)号：CN102859331B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201180020776.4
申请日：2011-03-16
Applicant: 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: A61B1/0057 , A61B1/00004 , A61B1/0016 , A61B1/0052 , A61B5/065 , G01D5/268 , G01D5/34746
Abstract: 机械手的插入部（1）在前端具有动作部（12）。动作部（12）根据驱动部（21）驱动的线（13）的移位进行动作。在线（13）设置有位移传感器部（33）。在线（13）的贯通位移传感器部的部分固定有光反射率在线（13）的长度方向上连续地不同的反射面（42）。光源（351）辐射的光被一端固定于位移传感器部（33）的光纤（31）引导并照射到反射面（42）。通过反射面（42）反射的反射光强度根据线（13）的移位而不同。所述反射光由光纤（31）引导至光学部（35），由受光元件（352）接收并由信号处理部（36）进行信号处理，从而求出线（13）的移位。
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公开(公告)号：CN102859331A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201180020776.4
申请日：2011-03-16
Applicant: 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: A61B1/0057 , A61B1/00004 , A61B1/0016 , A61B1/0052 , A61B5/065 , G01D5/268 , G01D5/34746
Abstract: 机械手的插入部（1）在前端具有动作部（12）。动作部（12）根据驱动部（21）驱动的线（13）的移位进行动作。在线（13）设置有位移传感器部（33）。在线（13）的贯通位移传感器部的部分固定有光反射率在线（13）的长度方向上连续地不同的反射面（42）。光源（351）辐射的光被一端固定于位移传感器部（33）的光纤（31）引导并照射到反射面（42）。通过反射面（42）反射的反射光强度根据线（13）的移位而不同。所述反射光由光纤（31）引导至光学部（35），由受光元件（352）接收并由信号处理部（36）进行信号处理，从而求出线（13）的移位。
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