公开(公告)号：CN111133563B

公开(公告)日：2021-04-02

申请号：CN201880060190.2

申请日：2018-09-10

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 保罗·Z·沃思

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  B25J9/04 ,  B25J9/10 ,  B25J11/00

Abstract: 公开了一种具有重叠的蛙腿连杆的双叶片机器人。机器人包括蛙腿构造的第一臂和第二臂，第一臂和第二臂彼此共面且每个可旋转地耦接到第一叶片；和蛙腿构造的第三臂和第四臂，第三臂和第四臂彼此共面且每个可旋转地连接到第二叶片，其中第三臂和第四臂从第一臂和第二臂垂直偏移。第三臂和第四臂被构造成在当第一叶片和第二叶片处于缩回位置时与第一臂和第二臂的至少一部分重叠。提供了操作机器人的方法和包括机器人的电子装置处理系统，和许多其他方面。

公开(公告)号：CN109891618B

公开(公告)日：2021-02-26

申请号：CN201780038510.X

申请日：2017-09-21

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 帕特丽夏·安·舒尔茨 ,  保罗·Z·沃思

IPC: H01L51/56 ,  H01L51/00

Abstract: 本公开内容提供了一种用于在真空腔室中成像的设备。所述设备包括真空腔室，所述真空腔室具有光入口端口和一个或多个光学元件，所述一个或多个光学元件位于所述真空腔室中并且被配置用于将光从所述光入口端口引导到待成像的至少一个对象。