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公开(公告)号：CN108028215B
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN201680055698.4
申请日：2016-09-28
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 保罗·Z·沃思
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 机械手组件允许载具支撑的机械手的远程致动。所述机械手组件包含轨道；载具，所述载具可沿着所述轨道移动；和机械手，所述机械手安装至所述载具。所述机械手包含至少第一臂和第一从动构件，所述第一从动构件耦接至所述第一臂。所述机械手组件进一步包含驱动组件，所述驱动组件具有第一驱动构件，第一传输构件，所述第一传输构件耦接至所述第一驱动构件和所述第一从动构件，和第一驱动电动机，所述第一驱动电动机耦接至所述第一驱动构件。所述第一驱动电动机经配置以移动所述第一驱动构件，造成所述第一从动构件的远程旋转和所述第一臂的旋转。还提供基板处理装置和在基板处理装置内传送基板的方法，如其他众多方面。
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公开(公告)号：CN109891618A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201780038510.X
申请日：2017-09-21
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 帕特丽夏·安·舒尔茨 , 保罗·Z·沃思
Abstract: 本公开内容提供了一种用于在真空腔室中成像的设备。所述设备包括真空腔室，所述真空腔室具有光入口端口和一个或多个光学元件，所述一个或多个光学元件位于所述真空腔室中并且被配置用于将光从所述光入口端口引导到待成像的至少一个对象。
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公开(公告)号：CN112243484B
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN201980038104.2
申请日：2019-06-04
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 奥兹坎·塞利克 , 帕特丽夏·A·舒尔茨 , 格雷戈里·J·弗里曼 , 保罗·Z·沃思 , 托马索·维尔切斯
Abstract: 深度测量设备包括：(1)相机和镜头组件，该相机和镜头组件捕捉包括多个深度级别的目标的图像序列的图像数据；(2)运动台，相机和镜头组件或目标定位在该运动台上；(3)马达，该马达连接到运动台，该马达在定义的增量值处引起相机和镜头组件与目标之间的相对移动；(4)位置传感器，该位置传感器在定义的增量值中的每一个处捕捉相机和镜头组件或目标上的位置数据；及(5)控制器，该控制器使用图像梯度方法和最佳焦距，来处理捕捉的图像数据和捕捉的位置数据，以确定多个深度级别的深度。还提供了许多其他方面。
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公开(公告)号：CN112243484A
公开(公告)日：2021-01-19
申请号：CN201980038104.2
申请日：2019-06-04
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 奥兹坎·塞利克 , 帕特丽夏·A·舒尔茨 , 格雷戈里·J·弗里曼 , 保罗·Z·沃思 , 托马索·维尔切斯
Abstract: 深度测量设备包括：(1)相机和镜头组件，该相机和镜头组件捕捉包括多个深度级别的目标的图像序列的图像数据；(2)运动台，相机和镜头组件或目标定位在该运动台上；(3)马达，该马达连接到运动台，该马达在定义的增量值处引起相机和镜头组件与目标之间的相对移动；(4)位置传感器，该位置传感器在定义的增量值中的每一个处捕捉相机和镜头组件或目标上的位置数据；及(5)控制器，该控制器使用图像梯度方法和最佳焦距，来处理捕捉的图像数据和捕捉的位置数据，以确定多个深度级别的深度。还提供了许多其他方面。
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公开(公告)号：CN111133563A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201880060190.2
申请日：2018-09-10
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 保罗·Z·沃思
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , B25J9/04 , B25J9/10 , B25J11/00
Abstract: 公开了一种具有重叠的蛙腿连杆的双叶片机器人。机器人包括蛙腿构造的第一臂和第二臂，第一臂和第二臂彼此共面且每个可旋转地耦接到第一叶片；和蛙腿构造的第三臂和第四臂，第三臂和第四臂彼此共面且每个可旋转地连接到第二叶片，其中第三臂和第四臂从第一臂和第二臂垂直偏移。第三臂和第四臂被构造成在当第一叶片和第二叶片处于缩回位置时与第一臂和第二臂的至少一部分重叠。提供了操作机器人的方法和包括机器人的电子装置处理系统，和许多其他方面。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108028215A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680055698.4
申请日：2016-09-28
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 保罗·Z·沃思
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67706 , B25J5/02 , B25J9/042 , B25J9/1045 , B25J11/0095 , H01L21/67161 , H01L21/67173 , H01L21/67196 , H01L21/67724 , H01L21/67742
Abstract: 机械手组件允许载具支撑的机械手的远程致动。所述机械手组件包含轨道；载具，所述载具可沿着所述轨道移动；和机械手，所述机械手安装至所述载具。所述机械手包含至少第一臂和第一从动构件，所述第一从动构件耦接至所述第一臂。所述机械手组件进一步包含驱动组件，所述驱动组件具有第一驱动构件，第一传输构件，所述第一传输构件耦接至所述第一驱动构件和所述第一从动构件，和第一驱动电动机，所述第一驱动电动机耦接至所述第一驱动构件。所述第一驱动电动机经配置以移动所述第一驱动构件，造成所述第一从动构件的远程旋转和所述第一臂的旋转。还提供基板处理装置和在基板处理装置内传送基板的方法，如其他众多方面。
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公开(公告)号：CN117769687A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202280053484.9
申请日：2022-12-16
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 阿蒂拉·基利卡斯兰 , 瑞秋·祝慧·陈 , 布鲁克·伊莉斯·蒙哥马利 , 保罗·Z·沃思
IPC: G05B19/404
Abstract: 一种方法，包括以下步骤：接收与基板处理配方的第一配方操作的第一迭代相关联的第一传感器数据。所述方法进一步包括以下步骤：确定扰动数据，所述扰动数据是所述第一传感器数据与所述第一配方操作的第一设定点数据之间的差异。所述方法进一步包括以下步骤：至少部分地基于所述扰动数据，确定与处理腔室的一个或多个部件相关联的第一致动值。根据所述第一致动值对所述一个或多个部件进行致动以补偿所述扰动数据。所述方法进一步包括以下步骤：导致在所述基板处理配方的所述第一配方操作的后续迭代期间基于所述第一致动值对所述一个或多个部件进行致动，以补偿所述扰动数据。
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公开(公告)号：CN119768254A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202380062144.7
申请日：2023-08-25
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 保罗·Z·沃思 , 达蒙·K·考克斯 , 拉尹库曼·塔努 , 卡鲁帕萨米·穆图马克 , 杰弗里·C·赫金斯
IPC: B25J9/04 , B25J15/00 , H01L21/687 , H01L21/677
Abstract: 提供一种具有可变终端受动器跨距的机器人设备，所述机器人设备适于适应变化跨距，例如，在两个相邻的处理腔室之间或在两个相邻的装载锁定腔室之间的变化跨距。机器人设备可在双基板搬运模式、单基板搬运模式或上述项目的组合下操作。机器人设备也可以是离轴机器人。描述根据各种实施方式的各种机器人设备、包括这样的机器人设备的电子装置处理系统及其使用方法。
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公开(公告)号：CN115398614B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202180026841.8
申请日：2021-03-30
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 公开了一种狭缝阀设备及一种用于控制狭缝阀的方法。狭缝阀设备包括狭缝阀组件及与狭缝阀组件通信的伺服控制系统。狭缝阀组件包括能够在打开位置与关闭位置之间转换的至少一个闸门、至少一个气动致动器、包括有多个控制器的至少一个比例气动阀、及连续位置传感器。伺服控制系统包括集中控制器，该集中控制器基于用于闸门的位置轨迹、来自连续位置传感器的闸门的线性位置测量、及来自多个控制器的流体压力/流量测量，来产生控制信号并且调节至少一个闸门的移动。
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公开(公告)号：CN115398614A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202180026841.8
申请日：2021-03-30
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 公开了一种狭缝阀设备及一种用于控制狭缝阀的方法。狭缝阀设备包括狭缝阀组件及与狭缝阀组件通信的伺服控制系统。狭缝阀组件包括能够在打开位置与关闭位置之间转换的至少一个闸门、至少一个气动致动器、包括有多个控制器的至少一个比例气动阀、及连续位置传感器。伺服控制系统包括集中控制器，该集中控制器基于用于闸门的位置轨迹、来自连续位置传感器的闸门的线性位置测量、及来自多个控制器的流体压力/流量测量，来产生控制信号并且调节至少一个闸门的移动。
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