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公开(公告)号：CN114615695B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202210273498.3
申请日：2022-03-18
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
IPC: H04W24/06
Abstract: 本发明涉及一种5G工业终端模拟装置及测试方法，装置包括：物理信息单元，用于接收用户所设置的物理信息；业务交互单元，用于接收用户触发预先设置的自动模式按钮的指令，并且在接收到用户触发自动模式按钮的指令后，生成模拟数据流量；业务关系单元，用于接收用户所设置的该5G工业终端模拟装置与用户所指定的5G工业终端模拟装置之间的业务关系信息；测试单元，用于接收用户在预先设定的测试案例中所选择的测试案例的指令，并基于用户所设置的物理信息、该5G工业终端模拟装置与用户所指定的5G工业终端模拟装置之间的业务关系信息、模拟数据流量，针对用户所选择的测试案例进行测试，并生成相应的测试结果。
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公开(公告)号：CN116161611A
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202310192611.X
申请日：2023-02-24
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种无引线玻璃基底的微热板及其制备方法，该微热板包括：一玻璃基底，在该玻璃基底的正面具有一玻璃薄膜结构，在该玻璃薄膜结构两侧分别设有二通孔结构，在每一通孔结构内设有一导电硅柱；在与该玻璃薄膜结构相对的该玻璃基底的背面具有一隔热槽，在该玻璃基底背面的该导电硅柱的底端设有欧姆接触金属电极；一加热电极和一检测电极，形成于该玻璃薄膜结构之上；以及一绝缘结构，形成于该玻璃薄膜结构之上的该加热电极和该检测电极之间。本公开利用玻璃基底的导热系数比硅基底低和玻璃基底是采用热回流工艺将玻璃晶圆经高温软化和熔融回流而一体成形，采用玻璃基底来制备微热板，能够有效减少微热板的热损失，提高微热板结构稳定性。
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公开(公告)号：CN113405946B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202110682858.0
申请日：2021-06-18
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
IPC: G01N11/16
Abstract: 本公开提供了一种微机电谐振式粘度传感器，包括依次键合连接的第一液体接触膜、SOI组合体和第二液体接触膜，第一液体接触膜与第二液体接触膜关于SOI组合体镜像对称，SOI组合体包括谐振器，第一液体接触膜具有第一薄膜，第二液体接触膜具有第二薄膜，第一薄膜与第二薄膜的中心通过刚性体连接于谐振器的中心；第一薄膜与第二薄膜之间形成有真空腔体，谐振器位于真空腔体内，谐振器在驱动力作用下带动第一薄膜与第二薄膜沿着垂直于薄膜平面的方向谐振工作。利用本公开，粘度变化与谐振能量损耗的转换过程简单，有利于提高粘度的检测灵敏度，降低后端算法处理难度，提高传感器的输出精度，并且使得传感器的量程有大幅提升。
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公开(公告)号：CN114715839A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202210218116.7
申请日：2022-03-08
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所 , 北京智芯微电子科技有限公司 , 国网信息通信产业集团有限公司
Abstract: 本公开提供了一种基于玻璃微结构阵列的光学调制器的制备方法，包括：在硅晶圆上制作硅凹槽阵列；在硅凹槽阵列中致密填充玻璃粉末；高温烧结玻璃粉末，使玻璃粉末软化、回流，冷却后形成玻璃微结构阵列；平坦化玻璃微结构阵列的底面；对硅晶圆背面进行刻蚀或腐蚀，完全释放出玻璃微结构阵列，并在玻璃微结构阵列的外围形成硅支撑结构；在玻璃微结构阵列表面沉积透明电极层；另取一块玻璃圆片，在玻璃圆片上加工出填充液出入口，并在玻璃圆片的一侧面沉积透明电极层；将玻璃圆片沉积有透明电极层的一面与玻璃微结构阵列外围的硅支撑结构进行键合，形成封闭腔体。利用本公开，能够得到高深宽比的玻璃微结构阵列，从而制备出光学调制器。
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公开(公告)号：CN113998663A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202111279740.X
申请日：2021-10-29
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种具有真空隔热层的MEMS微热板及其制备方法，该MEMS微热板包括：硅基底；在硅基底表面通过SON工艺形成的真空隔热层；形成于硅基底及真空隔热层上的绝缘层；形成于绝缘层上且位于真空隔热层正上方的加热电极和测试电极；沿真空隔热层外围依次刻蚀绝缘层和硅基底形成的具有悬空梁支撑结构的加热平台；以及刻蚀或腐蚀绝缘层于加热平台正下方区域形成的隔热槽。利用本公开，通过采用SON工艺能够使隔热层处于真空状态，形成真空隔热层，该真空隔热层相较于空气隔热在抑制加热平台热量散失方面更具优势，能够有效降低微热板工作时向外界的热传导，从而降低热量损失，进而提升微热板的温度均匀性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109928359A
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201910231599.2
申请日：2019-03-25
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种微结构封装方法，包括：在单晶硅圆片上表面刻蚀出导电硅柱和硅凹槽，硅凹槽底部与单晶硅圆片背面之间剩余的单晶硅材料为微结构功能层；将玻璃粉末填充至硅凹槽内；以玻璃粉末软化点以上的温度，高温烧结玻璃粉末，形成玻璃体；在单晶硅圆片背面刻蚀出包含功能结构和电学连接结构的微结构和边框；盖帽与边框通过键合工艺粘接，将微结构密闭封装；以及在导电硅柱上沉积金属电极，实现与外部电路的欧姆接触。
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公开(公告)号：CN109144007A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201811072926.6
申请日：2018-09-12
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
IPC: G05B19/418
CPC classification number: G05B19/41885 , G05B2219/32339
Abstract: 本发明公开了一种面向数字化车间制造装备集成与互联互通的自动构造系统，主要包括信息模型建模方法模块、信息模型结构组织方法模块、信息模型编辑器以及信息模型加载器。信息模型建模方法模块包括设备、组件、组件集、属性、属性集、引用、方法、方法集的定义；信息模型结构组织方法模块中定义了模型元素的结构和标准描述；信息模型编辑器对信息模型建模方法和组织方法模块进行软件实现，通过信息模型编辑器可以生成制造装备信息模型XML描述文件；信息模型加载器对XML描述文件进行解析，自动构造制造装备信息模型OPC UA地址空间和服务器。利用该发明可以快速实现数字化车间内制造装备与云平台等系统的集成与互联互通。
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公开(公告)号：CN119484258A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411637387.1
申请日：2024-11-15
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
IPC: H04L41/0677 , H04L41/14 , H04W24/06
Abstract: 本发明涉及一种5G工业应用故障定位方法、装置、设备、介质，该方法故障出现后，在5G工业应用场景中的sim卡内植入5G工业应用模拟器；在5G工业应用模拟器中的5G模块生效后，确认5G端口是否成功获取IP；根据5G端口是否成功获取IP的确认结果，定位故障设备和故障类型；基于故障设备和故障类型，根据5G工业应用故障诊断决策树定位故障原因。本发明的方法以5G工业应用故障诊断决策树为基础，结合5G工业应用模拟器对5G工业应用故障进行定位，可以实现5G工业应用故障的自动、准确定位。
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公开(公告)号：CN117854173A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202311838976.1
申请日：2023-12-28
Applicant: 陕煤集团榆林化学有限责任公司 , 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于5G网络的智能巡检方法以及系统，该方法应用于通过5G网络与多个巡检终端进行交互的巡检调度平台，方法包括：依据巡检点的位置信息和巡检终端的位置信息，生成巡检终端的初始巡检路线；在巡检终端从起始点出发之后，基于现场设备的状态信息结合巡检点选取算法求取下一个巡检点；依据下一个巡检点的位置信息对初始巡检路线进行实时调整，得到普通巡检路线或紧急巡检路线；通过调整后的巡检路线和预先设置的每一巡检点的巡检任务，控制巡检终端对每一巡检点进行巡检，并对巡检内容进行管理。本发明提高了巡检效率，同时还解决了在巡检过程中现场巡检数据上传不及时和无法及时分析现场安全风险的技术问题。
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公开(公告)号：CN114615695A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202210273498.3
申请日：2022-03-18
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
IPC: H04W24/06
Abstract: 本发明涉及一种5G工业终端模拟装置及测试方法，装置包括：物理信息单元，用于接收用户所设置的物理信息；业务交互单元，用于接收用户触发预先设置的自动模式按钮的指令，并且在接收到用户触发自动模式按钮的指令后，生成模拟数据流量；业务关系单元，用于接收用户所设置的该5G工业终端模拟装置与用户所指定的5G工业终端模拟装置之间的业务关系信息；测试单元，用于接收用户在预先设定的测试案例中所选择的测试案例的指令，并基于用户所设置的物理信息、该5G工业终端模拟装置与用户所指定的5G工业终端模拟装置之间的业务关系信息、模拟数据流量，针对用户所选择的测试案例进行测试，并生成相应的测试结果。
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