公开(公告)号：CN101189488B

公开(公告)日：2010-05-19

申请号：CN200680019255.6

申请日：2006-09-20

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 浦岛毅吏 ,  高田和政 ,  古田宽和 ,  宇津吕英俊

IPC: G01B11/26

CPC classification number: G01B11/26

Abstract: 本发明提供一种角度测定装置及测定方法，其以透过型衍射光栅将从准直透镜射出的光衍射为不同次数的光，并将衍射后的光向被测定物的平坦面照射，在由被测定物的平坦面反射后，使再次透过透过型衍射光栅的光在偏离出射光的光轴的位置处成像，基于该成像位置与成像的光的次数，测定被测定物相对于准直透镜的光轴的角度，由此能够具有高分辨率地测定大范围的角度。

公开(公告)号：CN1800803A

公开(公告)日：2006-07-12

申请号：CN200610005790.8

申请日：2006-01-06

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 高田和政 ,  宇津吕英俊 ,  古田宽和 ,  浦岛毅吏

IPC: G01M11/02

CPC classification number: G01M11/0271

Abstract: 提供一种能够高精度地评价光学部件的性能的检查方法。检查方法中，根据透射光学部件(18)的光(16)，形成具有不同相位的第1和第2光(24)、(26)，使第1和第2光产生干涉形成干涉区域(30)。在干涉区域(30)，设定直线(66)、直线(70)、直线(72)，求出各直线(72)上的光强度的分布。而且，求出与最大的光强度对应的频率。进而，根据针对直线(72)各自所求出的多个频率，求出近似直线或者近似曲线。并且，基于近似的直线或者曲线的系数评价光学部件的像差。