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公开(公告)号：CN102414537B
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201080018184.4
申请日：2010-12-22
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01B11/02
CPC classification number: G01B11/0625 , G01B9/02025 , G01B9/02088 , G01B9/0209 , G01B11/0675
Abstract: 本发明的膜厚计测装置将表面形成有透明膜(16)的基板(103)载置于载置部(100)，利用半透半反镜(102)对来自光源(101)的光进行分支而使光向基板表面及参照面照射，并使来自基板表面及参照面的反射光重合而形成干涉光，利用摄像装置(105)拍摄干涉光，基于其拍摄结果利用运算装置(106)算出透明膜的膜厚。运算装置具有：预先对向透明膜的入射光与反射光之间的第一相位光谱的变化量进行数据库化而作成的光谱变化量数据库(106s)；对摄像装置拍摄到的透明膜的干涉信号进行傅立叶变换而算出透明膜的第二相位光谱的第二相位光谱算出部(106b)；从数据库中选择与第二相位光谱一致度最高的第一相位光谱，使用所选择出的第一相位光谱来计测透明膜的膜厚的膜厚算出部(106d)。
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公开(公告)号：CN102773607B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201210126667.7
申请日：2012-04-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: B23K26/26 , B23K26/032 , B23K26/083 , B23K31/125 , B23K2101/18 , G01B9/02004 , G01B9/02069 , G01B9/02091 , G01B11/22
Abstract: 本发明提供能高精度地评价焊接部质量的激光焊接装置和激光焊接方法。本发明的激光焊接装置包括：激光光源，该激光光源射出激光；第一光学构件，该第一光学构件使具有与所述激光不同波长的物体光和所述激光成为同轴并对焊接部进行照射；第二光学构件，该第二光学构件使所述焊接部中的所述物体光的光点直径比所述激光的光点直径要大；光干涉仪，该光干涉仪向所述第一光学构件射出所述物体光，经由所述第一光学构件检测出被所述焊接部反射的所述物体光，基于该检测出的所述物体光生成电信号；测定部，该测定部基于所述电信号，测定所述焊接部的熔化深度；以及评价部，该评价部基于所述测定部所测定的所述焊接部的熔化深度，对所述焊接部的焊接是否良好进行评价。
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公开(公告)号：CN102773607A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201210126667.7
申请日：2012-04-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: B23K26/26 , B23K26/032 , B23K26/083 , B23K31/125 , B23K2101/18 , G01B9/02004 , G01B9/02069 , G01B9/02091 , G01B11/22
Abstract: 本发明提供能高精度地评价焊接部质量的激光焊接装置和激光焊接方法。本发明的激光焊接装置包括：激光光源，该激光光源射出激光；第一光学构件，该第一光学构件使具有与所述激光不同波长的物体光和所述激光成为同轴并对焊接部进行照射；第二光学构件，该第二光学构件使所述焊接部中的所述物体光的光点直径比所述激光的光点直径要大；光干涉仪，该光干涉仪向所述第一光学构件射出所述物体光，经由所述第一光学构件检测出被所述焊接部反射的所述物体光，基于该检测出的所述物体光生成电信号；测定部，该测定部基于所述电信号，测定所述焊接部的熔化深度；以及评价部，该评价部基于所述测定部所测定的所述焊接部的熔化深度，对所述焊接部的焊接是否良好进行评价。
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公开(公告)号：CN101889189A
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN200980101293.X
申请日：2009-09-29
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B9/02007 , G01B9/02069 , G01B9/02083 , G01B9/0209 , G01J2009/0234
Abstract: 本发明提供一种表面形状测量装置，其使利用双波长移相干涉术的物体的表面形状测量装置的测量精度提高。其具备：低相干光源的光源(101)、透射波长不同的多个波长滤波器(103)、角度控制部(104c)、解析部(114)，并且，通过在实施双波长移相干涉术时由解析部(114)检测出双波长的波长差且对在一个波长运算下的波长值和相位值进行修正，来防止条纹次数的运算错误。接着，通过控制波长滤波器(103)的角度，使实际的波长差与设计值一致。由此，始终可使双波长的波长差控制为恒定，从而即使存在由温度变化或时间推移所引起的波长变动也能够高精度地测量表面形状。
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公开(公告)号：CN101889189B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200980101293.X
申请日：2009-09-29
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B9/02007 , G01B9/02069 , G01B9/02083 , G01B9/0209 , G01J2009/0234
Abstract: 本发明提供一种表面形状测量装置，其使利用双波长移相干涉术的物体的表面形状测量装置的测量精度提高。其具备：低相干光源的光源(101)、透射波长不同的多个波长滤波器(103)、角度控制部(104c)、解析部(114)，并且，通过在实施双波长移相干涉术时由解析部(114)检测出双波长的波长差且对在一个波长运算下的波长值和相位值进行修正，来防止条纹次数的运算错误。接着，通过控制波长滤波器(103)的角度，使实际的波长差与设计值一致。由此，始终可使双波长的波长差控制为恒定，从而即使存在由温度变化或时间推移所引起的波长变动也能够高精度地测量表面形状。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101189488A
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN200680019255.6
申请日：2006-09-20
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01B11/26
CPC classification number: G01B11/26
Abstract: 本发明提供一种角度测定装置及测定方法，其以透过型衍射光栅将从准直透镜射出的光衍射为不同次数的光，并将衍射后的光向被测定物的平坦面照射，在由被测定物的平坦面反射后，使再次透过透过型衍射光栅的光在偏离出射光的光轴的位置处成像，基于该成像位置与成像的光的次数，测定被测定物相对于准直透镜的光轴的角度，由此能够具有高分辨率地测定大范围的角度。
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公开(公告)号：CN102129563B
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：CN201010592037.X
申请日：2010-12-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G06K9/62
Abstract: 本发明的感观检查装置及感观检查方法，由于是使用从特征量空间的原点起分布在马氏距离的初始样品，对成为合格与否的判定基准的合格与否判定的边界线进行学习，从而能仅使用边界附近的初始样品进行学习，因此能以较少的学习用的样品来决定最合适的合格与否的判定基准。另外，由于在使用疑似样品进行学习时，向进行了误判定的疑似样品附加加权，从而不新追加疑似样品，就能在机械性的判定工序中再次对误判定的疑似样品进行判定，因此，能以较少的学习用样品来决定最适合的合格与否判定基准。
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公开(公告)号：CN102129563A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201010592037.X
申请日：2010-12-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G06K9/62
Abstract: 本发明的感观检查装置及感观检查方法，由于是使用从特征量空间的原点起分布在马氏距离的初始样品，对成为合格与否的判定基准的合格与否判定的边界线进行学习，从而能仅使用边界附近的初始样品进行学习，因此能以较少的学习用的样品来决定最合适的合格与否的判定基准。另外，由于在使用疑似样品进行学习时，向进行了误判定的疑似样品附加加权，从而不新追加疑似样品，就能在机械性的判定工序中再次对误判定的疑似样品进行判定，因此，能以较少的学习用样品来决定最适合的合格与否判定基准。
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公开(公告)号：CN1800803B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200610005790.8
申请日：2006-01-06
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01M11/0271
Abstract: 提供一种能够高精度地评价光学部件的性能的检查方法。检查方法中，根据透射光学部件(18)的光(16)，形成具有不同相位的第1和第2光(24)、(26)，使第1和第2光产生干涉形成干涉区域(30)。在干涉区域(30)，设定直线(66)、直线(70)、直线(72)，求出各直线(72)上的光强度的分布。而且，求出与最大的光强度对应的频率。进而，根据针对直线(72)各自所求出的多个频率，求出近似直线或者近似曲线。并且，基于近似的直线或者曲线的系数评价光学部件的像差。
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公开(公告)号：CN102414537A
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201080018184.4
申请日：2010-12-22
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01B11/02
CPC classification number: G01B11/0625 , G01B9/02025 , G01B9/02088 , G01B9/0209 , G01B11/0675
Abstract: 本发明的膜厚计测装置将表面形成有透明膜(16)的基板(103)载置于载置部(100)，利用半透半反镜(102)对来自光源(101)的光进行分支而使光向基板表面及参照面照射，并使来自基板表面及参照面的反射光重合而形成干涉光，利用摄像装置(105)拍摄干涉光，基于其拍摄结果利用运算装置(106)算出透明膜的膜厚。运算装置具有：预先对向透明膜的入射光与反射光之间的第一相位光谱的变化量进行数据库化而作成的光谱变化量数据库(106s)；对摄像装置拍摄到的透明膜的干涉信号进行傅立叶变换而算出透明膜的第二相位光谱的第二相位光谱算出部(106b)；从数据库中选择与第二相位光谱一致度最高的第一相位光谱，使用所选择出的第一相位光谱来计测透明膜的膜厚的膜厚算出部(106d)。
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