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公开(公告)号:CN1808189A
公开(公告)日:2006-07-26
申请号:CN200610004002.3
申请日:2006-01-17
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G02B5/201 , G01J3/513 , G02B5/285 , H01L27/14621 , H01L27/14623 , H01L27/14625 , H01L27/14685 , H01L31/02162 , H01L31/02164 , H01L31/02165
Abstract: 将光电转换器二维设置在半导体衬底中。在该半导体衬底和光电转换器上依次形成平坦化层、遮光膜、另一平坦化层和聚光透镜。该遮光膜在对应于光电转换器的位置具有孔。在这些孔中设置能透射光的红色、绿色或蓝色波长成分的多层干涉滤光片。
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公开(公告)号:CN102575983A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201080036628.7
申请日:2010-06-22
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01N21/359 , G01J5/0014 , G01J5/02 , G01J5/024 , G01J5/04 , G01J5/045 , G01J5/08 , G01J5/0803 , G01J5/0862 , G01J5/12 , G01J5/20 , G01N21/3504
Abstract: 红外线式气体检测器具备红外线受光部、收纳上述红外线受光部的封装体以及光学滤波器。上述红外线受光部具有利用热来检测红外线的多个热型红外线检测元件。上述多个热型红外线检测元件并列地配置。上述封装体具有将红外线射入上述红外线受光部的窗孔。上述光学滤波器以封闭上述窗孔的方式与上述封装体接合,且具有分别与上述多个热型红外线检测元件对应的多个滤波器要素部。上述各滤波器要素部具备由使红外线透过的材料形成的滤波基板、以选择性地使规定的选择波长的红外线透过的方式构成的透过滤波器、以及以吸收波长比上述透过滤波器的上述选择波长更长的红外线的方式构成的遮断滤波器。上述透过滤波器以及上述遮断滤波器分别形成在上述滤波基板上。上述滤波基板与上述封装体热结合。上述各滤波器要素部的上述透过滤波器的上述选择波长相互不同。
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公开(公告)号:CN101369556B
公开(公告)日:2010-11-03
申请号:CN200810145904.8
申请日:2006-01-17
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/822 , H01L27/146 , G02B5/20 , G02B5/28
CPC classification number: G02B5/201 , G01J3/513 , G02B5/285 , H01L27/14621 , H01L27/14623 , H01L27/14625 , H01L27/14685 , H01L31/02162 , H01L31/02164 , H01L31/02165
Abstract: 本发明揭示了一种固态成像装置及其制造方法。将光电转换器二维设置在半导体衬底中。在该半导体衬底和光电转换器上依次形成平坦化层、遮光膜、另一平坦化层和聚光透镜。该遮光膜在对应于光电转换器的位置具有孔。在这些孔中设置能透射光的红色、绿色或蓝色波长成分的多层干涉滤光片。
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公开(公告)号:CN100504454C
公开(公告)日:2009-06-24
申请号:CN200610004002.3
申请日:2006-01-17
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G02B5/201 , G01J3/513 , G02B5/285 , H01L27/14621 , H01L27/14623 , H01L27/14625 , H01L27/14685 , H01L31/02162 , H01L31/02164 , H01L31/02165
Abstract: 将光电转换器二维设置在半导体衬底中。在该半导体衬底和光电转换器上依次形成平坦化层、遮光膜、另一平坦化层和聚光透镜。该遮光膜在对应于光电转换器的位置具有孔。在这些孔中设置能透射光的红色、绿色或蓝色波长成分的多层干涉滤光片。
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公开(公告)号:CN101371360A
公开(公告)日:2009-02-18
申请号:CN200680052733.3
申请日:2006-06-27
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G02B5/28 , G02B3/0043 , G02B5/201 , G02B5/282 , H01L27/14621 , H01L27/14627
Abstract: 本发明公开了一种固态成像装置及照相机。波长分离滤光器206由在多层干涉滤光器301上顺次层叠的λ/4多层膜302至304构成。多层干涉滤光器301由两个λ/4多层膜和夹在其间的介电层构成。而且,多层干涉滤光器301由分别透射蓝光、绿光和红光的部分301B、301G、301R构成。多层干涉滤光器301波长分离可见光。λ/4多层膜302至304反射具有在分别具有800nm、900nm和1000nm的设定波长的波长范围内的波长的光。换句话说,λ/4多层膜302至304反射近红外光。
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公开(公告)号:CN1910754A
公开(公告)日:2007-02-07
申请号:CN200580002346.4
申请日:2005-02-03
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor: 稻叶雄一
IPC: H01L27/146 , H04N5/335 , G02B3/00 , G02B5/18
Abstract: 为了实现具有受制造偏差影响小、且聚光效率高的聚光元件的高灵敏度固体摄像装置,本发明的固体摄像装置的单位像素分别包括:光电二极管(8),其对入射光(13)进行光电转换;凸状透射层(15),其形成于光电二极管(8)的上方,并使光透射;以及凹凸形状的透镜层(11),其形成于透射层(15)的上部及其周边,对入射光(13)进行聚光并将其射出至透射层(15)。透射层(15)的折射率大于透镜层(11)的折射率。透射层(15)的厚度以及宽度被设定成相对于规定波长的光而成为规定的焦距。透镜层(11)由BPSG膜、TEOS膜、苯并环丁烯以及聚酰亚胺类树脂中的任一种构成。
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公开(公告)号:CN1881604A
公开(公告)日:2006-12-20
申请号:CN200610093688.8
申请日:2006-06-15
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/146 , G02B5/20
CPC classification number: H04N5/335 , H01L27/14621 , H01L27/14625 , H04N9/045
Abstract: 一种固态成像装置,由已依次层叠在N型半导体层上的P型半导体层、层间绝缘膜、多层干涉滤光器和聚光透镜构成。在层间绝缘膜一侧上的P型半导体层中,对于每个像素都形成其中已离子注入N型杂质的光电二极管。多层干涉滤光器具有包括λ/4多层膜和夹在其间的多个间隔物层的组成。λ/4多层膜由具有相同光学厚度的交替层叠的二氧化钛层和二氧化硅层构成。间隔物层具有对应于它们将要透射的光的颜色的光学厚度。在绿色区域中不包括间隔物层。代替地,每个都构成λ/4多层膜的两个二氧化钛层相邻接,以制备具有λ/2光学厚度的二氧化钛层。
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