固体摄像装置及其制造方法以及照相机

    公开(公告)号:CN1910754A

    公开(公告)日:2007-02-07

    申请号:CN200580002346.4

    申请日:2005-02-03

    Inventor: 稻叶雄一

    Abstract: 为了实现具有受制造偏差影响小、且聚光效率高的聚光元件的高灵敏度固体摄像装置,本发明的固体摄像装置的单位像素分别包括:光电二极管(8),其对入射光(13)进行光电转换;凸状透射层(15),其形成于光电二极管(8)的上方,并使光透射;以及凹凸形状的透镜层(11),其形成于透射层(15)的上部及其周边,对入射光(13)进行聚光并将其射出至透射层(15)。透射层(15)的折射率大于透镜层(11)的折射率。透射层(15)的厚度以及宽度被设定成相对于规定波长的光而成为规定的焦距。透镜层(11)由BPSG膜、TEOS膜、苯并环丁烯以及聚酰亚胺类树脂中的任一种构成。

    固态成像装置和照相机
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1881604A

    公开(公告)日:2006-12-20

    申请号:CN200610093688.8

    申请日:2006-06-15

    CPC classification number: H04N5/335 H01L27/14621 H01L27/14625 H04N9/045

    Abstract: 一种固态成像装置,由已依次层叠在N型半导体层上的P型半导体层、层间绝缘膜、多层干涉滤光器和聚光透镜构成。在层间绝缘膜一侧上的P型半导体层中,对于每个像素都形成其中已离子注入N型杂质的光电二极管。多层干涉滤光器具有包括λ/4多层膜和夹在其间的多个间隔物层的组成。λ/4多层膜由具有相同光学厚度的交替层叠的二氧化钛层和二氧化硅层构成。间隔物层具有对应于它们将要透射的光的颜色的光学厚度。在绿色区域中不包括间隔物层。代替地,每个都构成λ/4多层膜的两个二氧化钛层相邻接,以制备具有λ/2光学厚度的二氧化钛层。

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