Patent search ap:("松下电工株式会社") AND inv:"滨田长生" Page 2

11.

发明公开
红外辐射元件和使用其的气敏传感器失效

公开(公告)号：CN1886820A

公开(公告)日：2006-12-27

申请号：CN200480034906.X

申请日：2004-10-27

Applicant: 松下电工株式会社

Inventor： 栎原勉 , 滨田长生 , 明渡甲志 , 北村启明 , 福岛博司 , 菰田卓哉 , 幡井崇

IPC: H01K1/04 , H05B3/10 , G01N21/01

Abstract: 在红外辐射元件(A)中，绝热层(2)沿厚度方向形成于半导体衬底(1)的表面上，其比半导体衬底(1)具有充分小的热导率，加热层(3)形成于绝热层(2)上，其为薄层(平面)形式且比绝热层(2)具有更大的热导率和更大的电导率，用于通电的成对的焊盘(4)形成于发热层(3)上。半导体衬底(1)由硅衬底制成。绝热层(2)和加热层(3)由孔隙率彼此不同的多孔硅层形成，且加热层(3)具有小于绝热层(2)的孔隙率。通过将该红外辐射元件(A)作为气敏传感器的红外辐射源，有可能延长红外辐射源的寿命。

Patent Agency Ranking