公开(公告)号：CN1424742A

公开(公告)日：2003-06-18

申请号：CN01143833.9

申请日：2001-12-14

Applicant: 株式会社小金井

Inventor： 矢岛丈夫

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/00 ,  G03F7/16 ,  B05B9/00

Abstract: 本发明提供构造简单、可靠性高的药液供给装置。在径方向可弹性膨胀收缩的可挠性管13上，连接着设有供给侧开闭阀21和供给侧流路17和设有排出侧开闭阀22的排出侧流路19。在可挠性管13的外侧，配置着可在轴方向弹性变形的波纹管14。该波纹管14具有小型波纹管部24和大型波纹管部25。在可挠性管13与波纹管14之间的泵室42内，封入着非压缩性介质43。使小型波纹管部24与大型波纹管部25之间的作动盘部在轴方向变位，使波纹管14的容积变化，这样，可挠性管13在径方向膨胀收缩，进行泵动作。提供构造简单、可靠性高的药液供给装置。

公开(公告)号：CN117651807A

公开(公告)日：2024-03-05

申请号：CN202280048246.9

申请日：2022-07-11

Applicant: 株式会社小金井

Inventor： 矢岛丈夫 ,  村冈裕之

IPC: F04B43/107 ,  F04B43/08 ,  F04B43/02 ,  F04B13/00

Abstract: 一种液体供给装置，使作为第一挠性构件的管式膜(15)膨胀而将液体注入泵室(16)，使管式膜(15)收缩而将泵室(16)内的液体向外部喷出，具有：介质收容壳体(28)，具备作为第二挠性构件的波纹管(31)，所述第二挠性构件分隔出与泵收容室(17)连通的介质收容室(32)和空气室(33)；驱动机构(27)，设置有杆(44a)；作为驱动构件的电动马达(46)，使杆(44a)沿轴向往复移动；以及压力调整机构(60)，在使波纹管(31)收缩而经由液体介质M使管式膜(15)膨胀时，使空气室(33)的压力降低。

公开(公告)号：CN100578016C

公开(公告)日：2010-01-06

申请号：CN200710147595.3

申请日：2007-08-28

Applicant: 株式会社小金井

Inventor： 矢岛丈夫

IPC: F04B43/10

CPC classification number: F04B43/107

Abstract: 本发明提供能够以高精度喷出药液，并且能够监测活塞和汽缸之间是否有非压缩性介质漏出的药液供给装置。泵(11)具有隔开泵室(17)和驱动室(18)的可弯曲性管道(16)，通过在汽缸(12)的汽缸孔(33)内往返运动的活塞(34)向驱动室(18)供给非压缩性介质(38)。在大直径活塞部(34a)和汽缸(12)之间设置有形成第1密封室(63a)的第1风箱式伸缩护盖(64a)，在小直径活塞部(34b)和汽缸(12)之间设置有形成第2密封室(63b)的第2风箱式伸缩护盖(64b)。为了检测密封室(63a、63b)内密封的非压缩性介质(38a)的压力，在汽缸(12)上安装有密封室压力传感器(81)，通过检测该压力，判断密封材料(79a、79b)的劣化程度。

公开(公告)号：CN100459038C

公开(公告)日：2009-02-04

申请号：CN200510066338.8

申请日：2005-04-22

Applicant: 株式会社小金井

Inventor： 矢岛丈夫

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/16 ,  F04B43/00 ,  F04B23/00

CPC classification number: F04B43/10 ,  F04B43/0081 ,  F04B43/084

Abstract: 一种具有变容腔的弹性罐，被一个弹性管分隔，该弹性管根据盛装的化学液体的量膨胀和收缩，并在上述弹性管上附有适配部。通向上述变容腔的主侧开孔通向其中的一个适配部，通向上述副侧开孔的变容腔通向另一个适配部。在上述变容腔中的化学液体和空气之间的接触压缩到最小程度，这样盛装上述的化学液体而不会使该化学液体的清洁度变差，并改善了上述化学液体的排放精确度。

公开(公告)号：CN101191482A

公开(公告)日：2008-06-04

申请号：CN200710147595.3

申请日：2007-08-28

Applicant: 株式会社小金井

Inventor： 矢岛丈夫

IPC: F04B43/10

CPC classification number: F04B43/107

Abstract: 本发明提供能够以高精度喷出药液，并且能够监测活塞和汽缸之间是否有非压缩性介质漏出的药液供给装置。泵(11)具有隔开泵室(17)和驱动室(18)的可弯曲性管道(16)，通过在汽缸(12)的汽缸孔(33)内往返运动的活塞(34)向驱动室(18)供给非压缩性介质(38)。在大直径活塞部(34a)和汽缸(12)之间设置有形成第1密封室(63a)的第1风箱式伸缩护盖(64a)，在小直径活塞部(34b)和汽缸(12)之间设置有形成第2密封室(63b)的第2风箱式伸缩护盖(64b)。为了检测密封室(63a、63b)内密封的非压缩性介质(38a)的压力，在汽缸(12)上安装有密封室压力传感器(81)，通过检测该压力，判断密封材料(79a、79b)的劣化程度。

公开(公告)号：CN101165348A

公开(公告)日：2008-04-23

申请号：CN200710146330.1

申请日：2007-09-05

Applicant: 株式会社小金井

Inventor： 矢岛丈夫

IPC: F04B43/10

CPC classification number: F04B43/107

Abstract: 本发明提供一种能够高精度地喷出药液的药液供给装置。药液供给装置用于将药液罐(25)内的药液从涂覆喷嘴(27)内喷出。药液供给装置具有将泵壳(11)和汽缸(12)结合为一体的合体部件(13)。泵部件即柔性管(15)设置在泵壳(11)上，其内部形成为泵室(16)，外部形成为泵侧驱动室(17)。活塞(31)组装在汽缸(12)内。当活塞(31)通过电机(49)进行往复运动时，泵室(16)膨胀收缩。活塞(31)和汽缸(12)之间的空间由隔膜(61)覆盖。隔膜(61)的内部形成为密封空间(62)。从而，从活塞(31)和汽缸(12)之间泄漏的非压缩性介质将进入到密封空间(62)内，而不会泄漏到外部。

公开(公告)号：CN1691282A

公开(公告)日：2005-11-02

申请号：CN200510066338.8

申请日：2005-04-22

Applicant: 株式会社小金井

Inventor： 矢岛丈夫

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/16 ,  F04B43/00 ,  F04B23/00

CPC classification number: F04B43/10 ,  F04B43/0081 ,  F04B43/084

Abstract: 一种具有变容腔的弹性罐，被一个弹性管分隔，该弹性管根据盛装的化学液体的量膨胀和收缩，并在上述弹性管上附有适配部。通向上述变容腔的主侧端口通向其中的一个适配部，通向上述副侧开孔的变容腔通向另一个适配部。在上述变容腔中的化学液体和空气之间的接触压缩到最小程度，这样盛装上述的化学液体而不会使该化学液体的清洁度变差，并改善了上述化学液体的排放精确度。

公开(公告)号：CN300871016D

公开(公告)日：2009-01-07

申请号：CN200730322476.8

申请日：2007-10-10

Applicant: 株式会社小金井

Designer： 矢岛丈夫