层间连接用导电体的制造方法

    公开(公告)号:CN101594749B

    公开(公告)日:2012-06-20

    申请号:CN200910138964.1

    申请日:2009-05-21

    Abstract: 本发明提供一种被配置于绝缘层(1)内的通孔(4)中的层间连接用导电体(5)的制造方法。在由模部件(21)和移动部件(22)构成的封闭空间中填充银粒子与锡粒子的混合粉体,该模部件具有与要形成的导电体形状对应的槽部;使所述移动部件进行相对移动以接近所述模部件,对填充到所述封闭空间中的混合粉体加压并压入所述模部件的槽部;使在所述模部件和所述移动部件之间构成所述封闭空间的侧面部件(20)与残留在所述模部件表面上的混合粉体一起在所述模部件上滑动,从而将未能进入所述模部件的槽部而残留在所述模部件表面上的混合粉体从被压入所述模部件的槽部的混合粉体上切离;从所述模部件的槽部取出层间连接用导电体。

    层间连接用导电体的制造方法

    公开(公告)号:CN101594749A

    公开(公告)日:2009-12-02

    申请号:CN200910138964.1

    申请日:2009-05-21

    Abstract: 本发明提供一种被配置于绝缘层(1)内的通孔(4)中的层间连接用导电体(5)的制造方法。在由模部件(21)和移动部件(22)构成的封闭空间中填充银粒子与锡粒子的混合粉体,该模部件具有与要形成的导电体形状对应的槽部;使所述移动部件进行相对移动以接近所述模部件,对填充到所述封闭空间中的混合粉体加压并压入所述模部件的槽部;使在所述模部件和所述移动部件之间构成所述封闭空间的侧面部件(20)与残留在所述模部件表面上的混合粉体一起在所述模部件上滑动,从而将未能进入所述模部件的槽部而残留在所述模部件表面上的混合粉体从被压入所述模部件的槽部的混合粉体上切离;从所述模部件的槽部取出层间连接用导电体。

    载荷测定方法和用于该方法的载荷传感器及载荷测定装置

    公开(公告)号:CN101451879A

    公开(公告)日:2009-06-10

    申请号:CN200810179771.6

    申请日:2008-12-03

    Abstract: 本发明提供一种载荷测定方法和用于该方法的载荷传感器及载荷测定装置。在根据本发明的载荷测定方法中,使用接收载荷时弹性变形的挠曲梁(14)和平面间隙构造体(13),平面间隙构造体的间隙量随挠曲梁的变形而变化。气体馈送至由平面间隙构造体形成的间隙(g)且流经该间隙的气体的流量被转换成载荷以测定载荷。载荷传感器(1)包括平板状上表面构件(11)、平板状下表面构件(12)、夹持于上表面构件与下表面构件之间的挠曲梁、和平面间隙构造体,平面间隙构造体与上表面构件形成间隙且具有喷射口(13b),喷射口向间隙馈送气体。由设置于气体流路中的气体流量计(2)测定馈送到间隙的气体流量,由处理单元(4)将其转换成载荷。

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