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发明公开
耐腐蚀性优异的铝构件或铝合金构件无效

公开(公告)号：CN101287861A

公开(公告)日：2008-10-15

申请号：CN200680037811.2

申请日：2006-11-13

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 久本淳 , 和田浩司 , 坪田隆之 , 伊藤弘高

IPC: C25D11/04 , H01L21/205 , C25D11/08

Abstract: 本发明的目的在于，提供一种形成有耐气体腐蚀性及耐等离子体性优异的，并且紧贴性优异的阳极氧化皮膜的铝构件或铝合金构件，以及由这种耐腐蚀性优异的铝构件或铝合金构件构成的真空装置用构件。另外，本发明在利用等离子体的过程中，为了使等离子体状态保持稳定，以提供具有充分的耐电压性的构件为目的。该目的通过以下的方法达成。(1)阳极氧化皮膜的阻抗在10－2Hz的频率下为107Ω以上，且皮膜硬度以维氏硬度(Hv)计为400以上，或者(2)阳极氧化皮膜的阻抗在10－2Hz的频率下为108Ω以上，且皮膜硬度以维氏硬度(Hv)计为350以上。

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