公开(公告)号：CN112023736A

公开(公告)日：2020-12-04

申请号：CN202010493049.0

申请日：2020-06-03

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 小泽卓 ,  荒木裕二 ,  渡边敏史 ,  中川洋一

IPC: B01F3/04

Abstract: 本发明提供一种气体溶解液供给装置及气体溶解液供给方法，其中，气体溶解液供给装置在气体溶解部使从气体供给部供给的气体溶解于从液体供给部供给的液体，从而生成气体溶解液，将在气体溶解部生成的气体溶解液储存于气体溶解液箱，从气体溶解液箱向使用点供给气体溶解液，对向使用点供给的气体溶解液中的返回气体溶解部的气体溶解液的流量进行测定，根据测定的结果，对从液体供给部向气体溶解部供给的液体的流量进行调整。

公开(公告)号：CN109954414A

公开(公告)日：2019-07-02

申请号：CN201811585934.0

申请日：2018-12-24

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 中川洋一 ,  小泽卓 ,  渡边敏史 ,  徐涛

IPC: B01F3/04 ,  B01F15/00

Abstract: 本发明提供气体溶解液制造装置及气体溶解液的制造方法。气体溶解液制造装置(1)具备气体供给部(2)、第一液体供给部(3)、气体溶解液生成部(4)、第二液体生成部(20)、第二液体供给部(21)、流量测定部(14)、以及控制部(23)。控制部(23)根据在流量测定部(14)测定的循环的气体溶解液的流量，对供给到气体溶解液生成部(4)的第一液体的供给量进行控制。气体溶解液生成部(4)使从气体供给部(2)供给的气体溶解于从第一液体供给部(3)供给的第一液体和从第二液体供给部(21)供给的第二液体，从而生成气体溶解液。