粉体供给器、成膜装置、及成膜方法

    公开(公告)号:CN106687621A

    公开(公告)日:2017-05-17

    申请号:CN201580048026.6

    申请日:2015-09-17

    CPC classification number: C23C24/04

    Abstract: 本发明提供一种粉体粉体供给器。粉体供给器(1)具备:搅拌部(3),其搅拌原料物质(6);气溶胶化部(4),其引入径搅拌的原料物质(6)和载气,使原料物质(6)气溶胶化而生成气溶胶(62),在气溶胶化部(4)的下游侧设置有喷出气溶胶(62)的喷出口(53),在搅拌部(3)和气溶胶化部(4)之间设置有隔板(8),在隔板(8)上形成有从搅拌部(3)侧向气溶胶化(4)部侧扩大,将经搅拌的原料物质(6)导出至气溶胶化部(4)的导出孔(8H)。

    硅的蚀刻方法
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101816064A

    公开(公告)日:2010-08-25

    申请号:CN200880109735.0

    申请日:2008-09-26

    CPC classification number: H01L21/3065

    Abstract: 本发明提供一种硅的蚀刻方法,其课题在于,使硅的蚀刻速度提高。其中,在氟系原料的CF4和Ar的混合气体中添加露点成为10℃~40℃的量的水,在大气压下进行等离子体化。将等离子体化后的气体和来自臭氧发生器13的含有臭氧的气体混合,得到反应气体。反应气体包含1vol%以上的臭氧、COF2等非自由基氟系中间物质和0.4vol%以上的HF等氟系反应物质,氟原子数(F)和氢原子数(H)的比为(F)/(H)>1.8。将该反应气体喷射到温度10℃~50℃的硅膜91(被处理物)上。

    活性物质再活化方法、电池再生方法、催化剂层、对电极

    公开(公告)号:CN105283936B

    公开(公告)日:2018-09-11

    申请号:CN201480030101.1

    申请日:2014-08-29

    Abstract: 本发明的课题在于,提供一种染料敏化太阳能电池的对电极活性物质的再活化方法、以及应用了该方法的染料敏化太阳能电池的再生方法、染料敏化太阳能电池的催化剂层、对电极、电解液及染料敏化太阳能电池,其中所述染料敏化太阳能电池的再生方法包括通过将被染料敏化太阳能电池的电解液中的氧化还原对还原的导电性高分子再生,能够使暂时降低的染料敏化太阳能电池的发电性能恢复至初始性能,可以防止染料敏化太阳能电池的发电性能的降低。本发明是一种染料敏化太阳能电池的对电极活性物质的再活化方法,其是对染料敏化太阳能电池的对电极活性物质进行再活化的方法,所述染料敏化太阳能电池具有由含有至少一种以上的导电性高分子作为对电极活性物质的催化剂层构成的对电极,该方法包括:通过化学氧化或电化学氧化对所述导电性高分子进行再氧化。

    光电转换元件及光电转换元件的制造方法

    公开(公告)号:CN107004511A

    公开(公告)日:2017-08-01

    申请号:CN201680004061.2

    申请日:2016-01-20

    Abstract: 一种光电转换元件及光电转换元件的制造方法。该光电转换元件具有第一电极和第二电极,该第一电极具有第一基板、在该第一基板上成膜的导电膜、在所述导电膜的表面与所述导电膜可导通地配置且表面被保护膜覆盖的导通材料、在所述导电膜上成膜的半导体多孔质膜,第二电极具有第二基板、和在该第二基板上成膜的相对导电膜,所述第一电极和所述第二电极以所述导电膜与所述相对导电膜相对的方式配置。

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