粉体供给器、成膜装置、及成膜方法

    公开(公告)号:CN106687621B

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201580048026.6

    申请日:2015-09-17

    Abstract: 本发明提供一种粉体粉体供给器。粉体供给器(1)具备:搅拌部(3),其搅拌原料物质(6);气溶胶化部(4),其引入径搅拌的原料物质(6)和载气,使原料物质(6)气溶胶化而生成气溶胶(62),在气溶胶化部(4)的下游侧设置有喷出气溶胶(62)的喷出口(53),在搅拌部(3)和气溶胶化部(4)之间设置有隔板(8),在隔板(8)上形成有从搅拌部(3)侧向气溶胶化(4)部侧扩大,将经搅拌的原料物质(6)导出至气溶胶化部(4)的导出孔(8H)。

    电气模块
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107256802A

    公开(公告)日:2017-10-17

    申请号:CN201710249352.4

    申请日:2013-03-21

    CPC classification number: H01G9/2068 H01G9/2031 H01G9/2059 Y02E10/542

    Abstract: 电气模块具有配置于同一面的多个单元,包括第一电极、第二电极、夹设于第一电极与第二电极之间的电解质、与第一电极连接的第一电极端子和与第二电极连接的第二电极端子,通过沿厚度方向贯穿第一电极的开口部将连接于第二电极的第二电极端子向第一电极的外部表面侧取出,在第一电极形成有形成第一及第二舌片的切口,第一及第二舌片在形成有第一及第二舌片的第一电极的外部表面折回,在折回的第一舌片的外部表面设有第二电极端子,不将第一电极端子从通过折回第一舌片而形成的第一开口部取出,在折回的第二舌片的外部表面不设置第二电极端子,从通过折回第二舌片而形成的第二开口部取出连接于与第二开口部相对的第二电极的第一电极端子。

    电气模块的制造方法以及电气模块

    公开(公告)号:CN104541350A

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201380042342.3

    申请日:2013-08-23

    Abstract: 本发明提供一种电气模块的制造方法,该电气模块包括:第一电极,其在第一基板的板面形成透明导电膜,并在所述透明导电膜的表面形成半导体层;第二电极,其在第二基板的板面以与所述透明导电膜相对的方式形成相对导电膜;在形成于该第一电极与第二电极之间的空间内密封有电解质,所述电气模块的制造方法的特征在于,该电气模块的制造方法具有:粘贴工序,使所述透明导电膜与所述相对导电膜相对而使所述第一电极与所述第二电极粘贴;分割工序,自形成有所述透明导电膜的所述第一基板的背面或者形成有所述相对导电膜的所述第二基板的背面中的任一者施加超声波振动,使所述第一基板以及所述第二基板的位于被施加该超声波振动的位置的彼此相对的板面抵接而绝缘,并且将该第一基板与第二基板熔接,从而分割所述第一电极与所述第二电极。

    等离子体处理方法和设备

    公开(公告)号:CN102149460B

    公开(公告)日:2014-07-16

    申请号:CN200980135309.9

    申请日:2009-09-07

    Abstract: 在大气压等离子体处理中,抑制氟原料的回收率或回收浓度的波动,以保证处理的稳定性。通过分离部(4)的分离膜(41)将离开大气压等离子体处理部(2)到达废气管线(30)的废气分离成用于回收管线(50)的回收气体和用于释放管线(60)的释放气体。将回收气体用作处理气体的至少一部分。在分离时,根据处理气体的流率调整回收气体、释放气体和废气中的至少两种气体的与分离相关的物理量(优选压力),使得氟原料的回收率或回收浓度中的一项或两项达到期望值。

    用于处理基板的外周部的方法及设备

    公开(公告)号:CN101124663B

    公开(公告)日:2010-12-01

    申请号:CN200580023196.5

    申请日:2005-07-08

    Abstract: 一种用于处理基板的外周的方法和装置,在用于从基板的外周部去除不需要的膜时能够避免对基板中心部分的损坏。作为吸热装置的冷却介质室(4)形成在台(10)内,且诸如水的冷却介质填充到其中。晶片(90)被支撑在台(10)的支撑表面(10a)上。晶片(90)的外周部通过加热器(20)被加热,且用于去除不需要的膜的反应性气体从反应性气体出口(30b)供到晶片的被加热部分。另一方面,晶片(90)的在所述外周部的内侧的部分内的热量通过吸热装置吸收。

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