公开(公告)号：CN101138911A

公开(公告)日：2008-03-12

申请号：CN200710149744.X

申请日：2007-09-05

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 稻冈靖雄 ,  奥村资纪 ,  太田睦彦 ,  后藤和敏 ,  柳泽功 ,  冈室琢磨

IPC: B41J25/24 ,  G02B21/36 ,  G02B21/00

CPC classification number: G01B11/272 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2002/14362

Abstract: 一种液体喷头的对准装置及其对准方法，即使在基准标记和对准标记的距离远离的情况下也能进行高精度的定位。该对准装置具有：作为透明部件的膜片(410)，其设有对准标记(22)进行对位的基准标记(401)；衬垫夹具(430)，其在固定板(250)和膜片(410)之间，一个面与固定板(250)相接，并且另一个面与膜片(410)相接，从而使基准标记(401)和对准标记(22)隔着空间相对置；双焦点显微镜(500)，其如下构成，光轴(L)从膜片(410)的与衬垫夹具侧相反侧经由基准标记(401)及空间朝向对准标记(22)的方向，共有光轴(L)的一个光学系统(501)能将焦点与对准标记(22)对合，并且另一个光学系统(502)能将焦点与基准标记(401)对合。