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公开(公告)号:CN104596680B
公开(公告)日:2018-12-21
申请号:CN201410594158.6
申请日:2014-10-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置。传感器元件具有:第1以及第2压电体层;第3以及第4压电体层,其以第1以及第2压电体层的晶轴z与该第3以及第4压电体层的晶轴x正交的方式配置;第5以及第6压电体层,其以第3以及第4压电体层的晶轴x与该第5以及第6压电体层的晶轴x正交的方式配置;层叠体,其具备包括设置在压电体层彼此之间的内部电极层的多个电极层;以及多个侧面端子,它们被设置在层叠体的侧面,并包括与各电极层连接的侧面端子,将多个侧面端子设置在以第1以及第2压电体层的晶轴z为法线的侧面。
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公开(公告)号:CN108709670A
公开(公告)日:2018-10-26
申请号:CN201810521203.3
申请日:2014-03-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L1/16 , B25J13/085 , B25J19/028 , G01L5/009 , Y10S901/46 , Y10T74/20335
Abstract: 本发明提供能够使装置小型化且使力检测的精度提高的力检测装置、机械手、电子部件搬运装置、电子部件检查装置、部件加工装置以及移动体。本发明的力检测装置具备第一基板、第二基板、设置于上述第一基板与上述第二基板之间的电路基板、以及搭载于上述电路基板且根据外力输出信号的元件,在上述电路基板的配置有上述元件的部位形成有孔,在上述第一基板设置有第一凸部,其插入上述孔且朝向上述元件突出。另外,从相对于上述第一基板而垂直的方向观察,上述元件配置于上述第一凸部内。
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公开(公告)号:CN108709669A
公开(公告)日:2018-10-26
申请号:CN201810258121.4
申请日:2018-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L5/0061 , B25J13/085 , G01L1/16 , H01L41/0477 , H01L41/053 , H01L41/083 , H01L41/1132 , H01L41/277 , H01L41/313 , Y10S901/27 , Y10S901/46 , B25J19/028 , G01L5/226
Abstract: 一种传感器器件、力检测装置以及机器人,能够降低外力的检测精度下降。传感器器件的特征在于,具备层叠体,所述层叠体包含:第一压电元件;第二压电元件;以及高分子聚合物膜,位于所述第一压电元件与所述第二压电元件之间。此外,优选的是,所述第一压电元件和所述第二压电元件分别具有通过压电效应产生电荷的压电体层和设置于所述压电体层并输出与所述电荷对应的信号的电极,所述高分子聚合物膜设置于所述第一压电元件所具有的所述电极与所述第二压电元件所具有的所述电极之间。
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公开(公告)号:CN104236757A
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201410090038.2
申请日:2014-03-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L1/16 , B25J13/085 , B25J19/028 , G01L5/009 , Y10S901/46 , Y10T74/20335
Abstract: 本发明提供能够使装置小型化且使力检测的精度提高的力检测装置、机械手和电子部件搬运装置、电子部件检查装置、部件加工装置以及移动体。本发明的力检测装置具备第一基板、第二基板、设置于上述第一基板与上述第二基板之间的电路基板、以及搭载于上述电路基板且根据外力输出信号的元件,在上述电路基板的配置有上述元件的部位形成有孔,在上述第一基板设置有第一凸部,其插入上述孔且朝向上述元件突出。另外,从相对于上述第一基板而垂直的方向观察,上述元件配置于上述第一凸部内。
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公开(公告)号:CN104218844A
公开(公告)日:2014-12-17
申请号:CN201410083286.4
申请日:2014-03-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H02N2/0075 , H02N2/004 , H02N2/0095 , H02N2/103 , Y10S901/23 , Y10S901/27 , Y10S901/38 , Y10T74/20317
Abstract: 本发明提供利用共用的驱动电路来切换驱动多个压电马达,能够实现小型化、轻型化、低成本化的驱动装置、电子部件输送装置以及电子部件检查装置。驱动装置(100)具备多个移动部、使上述移动部移动的压电马达(11)、(12)、(13)、(14)、驱动上述压电马达(11)、(12)、(13)、(14)的驱动电路(30)、以及使上述压电马达(11)、(12)、(13)、(14)与上述驱动电路(30)断续的断续部,上述驱动电路(30)的数量比上述压电马达(11)、(12)、(13)、(14)的数量少。
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