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公开(公告)号：CN104897318B
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201510079397.2
申请日：2015-02-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 神谷俊幸
Abstract: 本发明涉及力检测装置、机器臂以及电子部件输送装置。上述力检测装置具备：第一基板；第二基板；第一元件，其根据外力输出信号；固定部件，其对设置于第一基板与第二基板之间的第一元件进行夹持，并对第一元件施加压力；以及第二元件，其设置于第一基板与固定部件之间，并根据与通过固定部件施加于第一元件的压力的方向相同的方向的外力成分来输出信号，在从第一基板的厚度方向观察时，针对第一元件配置有至少一对固定部件。
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公开(公告)号：CN109773830A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201811343639.4
申请日：2018-11-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供一种便利性良好、高精度、高灵敏度的力检测系统，此外还提供一种具备该力检测系统的机器人。该力检测系统的特征在于，具备：力检测部，输出与外力对应的信号；第一输出部，输出基于从所述力检测部输出的信号的第一数据；以及第二输出部，利用与所述第一输出部不同的系统，输出基于从所述力检测部输出的信号的第二数据。所述第一数据与所述第二数据相互不同。
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公开(公告)号：CN104596676B
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201410583846.2
申请日：2014-10-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及力检测装置、以及使用了该力检测装置的机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置及部件加工装置。所述力检测装置具备第一基部、将根据外力而输出的电荷转换为电压并根据电压来检测外力的第一元件以及第二元件、以及与第一基部之间至少设置第一元件以及第二元件的第二基部。第一元件以及第二元件以相对于第一基部和第二基部倾斜或者垂直的方式配置，具有根据外力而输出的电荷的极化轴，并被配置成第一元件输出的电荷的极化轴与第二元件输出的电荷的极化轴彼此朝向相反方向。
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公开(公告)号：CN103308221B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201310072538.9
申请日：2013-03-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L1/16 , B25J13/085 , G01L5/167 , G01L5/226
Abstract: 本发明提供传感器模块、力检测装置以及机器人。传感器模块具备：第一部件，其具有：供具备电极的压电体元件配置的第一凹部；与第一部件接合的第二部件；与第二部件接触的第一板；与第一部件接触的第二板；以及紧固第一板以及第二板的紧固部，第一板形成有朝向第二部件突出的第一凸部，第一部件的第一凹部的内部高度比压电体元件高，压电体元件与第二部件接触。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104880265A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201510060917.5
申请日：2015-02-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供力检测装置以及机械臂。力检测装置的特征在于，具备：第一基部；第二基部；以及压力检测部，其被设置在第一基部与第二基部之间，并包含根据外力输出信号的压电元件，压力检测部具有：第一部件，其具有与第一基部接触的部分；第二部件，其具有与第二基部接触的部分；以及第三部件，其连结第一部件和第二部件，第一部件的至少一部分的第一纵向弹性系数比第三部件的第三纵向弹性系数低，第二部件的至少一部分的第二纵向弹性系数比第三部件的第三纵向弹性系数低。
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公开(公告)号：CN104596680A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201410594158.6
申请日：2014-10-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置。传感器元件具有：第1以及第2压电体层；第3以及第4压电体层，其以第1以及第2压电体层的晶轴z与该第3以及第4压电体层的晶轴x正交的方式配置；第5以及第6压电体层，其以第3以及第4压电体层的晶轴x与该第5以及第6压电体层的晶轴x正交的方式配置；层叠体，其具备包括设置在压电体层彼此之间的内部电极层的多个电极层；以及多个侧面端子，它们被设置在层叠体的侧面，并包括与各电极层连接的侧面端子，将多个侧面端子设置在以第1以及第2压电体层的晶轴z为法线的侧面。
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公开(公告)号：CN104596676A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201410583846.2
申请日：2014-10-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及力检测装置、以及使用了该力检测装置的机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置及部件加工装置。所述力检测装置具备第一基部、将根据外力而输出的电荷转换为电压并根据电压来检测外力的第一元件以及第二元件、以及与第一基部之间至少设置第一元件以及第二元件的第二基部。第一元件以及第二元件以相对于第一基部和第二基部倾斜或者垂直的方式配置，具有根据外力而输出的电荷的极化轴，并被配置成第一元件输出的电荷的极化轴与第二元件输出的电荷的极化轴彼此朝向相反方向。
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公开(公告)号：CN101312198A
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200810127806.1
申请日：2005-06-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L27/115
CPC classification number: H01L27/11502 , H01L21/76895 , H01L27/11507 , H01L28/57 , H01L28/60
Abstract: 本发明公开了一种半导体装置，虽然是叠式的但甚至在达到必要的尺寸实现精细化时仍具有允许的漏泄电流。该半导体装置包括电容器部(102)，该电容器部(102)包括设置在位于衬底(100)上的杂质层(117)上的SiO2层(119)上的下部电极(111)、设置在下部电极(111)上的铁电层(109)；以及设置在铁电层(109)上的上部电极(107)。该半导体装置还包括：SiO2层(118)，使上部电极(107)和布线(105)电气绝缘；接触孔(103a)，形成W塞(113)，用于在杂质层(117)和下部电极(111)之间电连接；以及接触孔(103b)，用于在上部电极(107)和布线(105)之间电连接。在电容器部(102)的平面图中，接触孔(103a)和接触孔(103b)位于相互偏离的位置上。
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公开(公告)号：CN110744539B
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN201910661582.0
申请日：2019-07-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种机器人、控制装置以及控制方法，提供优异的碰撞检测精度。机器人具有：机器人主体，具有基台、相对于所述基台位移的机械臂；振动传感器，配置于所述机器人主体，检测所述机器人主体的振动；以及碰撞检测部，根据来自所述振动传感器的输出，检测所述机器人主体与物体间的碰撞，所述碰撞检测部具备：第一检测部，根据从所述振动传感器输出的振动信号，检测所述碰撞；以及第二检测部，根据从所述振动信号提取第一预定值以上的频率的振动分量而得的提取振动信号，检测所述碰撞。
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