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公开(公告)号：CN101037044A
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN200710086380.5
申请日：2007-03-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14072
Abstract: 本发明的液滴喷出头具备：第一驱动部(32)；和与所述第一驱动部连接的基体(33、34)，所述基体具有：第一收纳室(30)、第一喷出口(40)、连通所述第一收纳室与所述第一喷出口的第一贯通部(4)，在所述第一喷出口的边缘，互相保持间隔地形成有第一电极(41)与第二电极(42)。从而本发明涉及的液滴喷出头及液滴喷出装置可以提供一种可以检测异物是否附着在喷出口等的结构，通过防止所喷出的液滴的飞行弯曲，从而可以提高液滴的喷出精度。
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公开(公告)号：CN1764351A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200510108593.4
申请日：2005-10-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L27/12 , H01L27/1292 , H01L27/3211 , H01L27/3244 , H01L27/3295 , H01L2224/18 , H05K3/1241
Abstract: 提供一种能以高精度稳定形成细线状微细图案的贮格围堰结构体、图案形成方法、电光学装置及电子仪器。一种隔壁结构体，是设置了与用功能液形成的图案对应的凹部的隔壁结构体，其特征在于：其中具备与第一图案(40)对应设置的第一凹部(56)；与在第一凹部(56)的一部分上设置的比第一凹部(56)宽，而且至少外周的一部分上具有圆弧形状的第二图案对应的第二凹部(57)。
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公开(公告)号：CN1749008A
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：CN200510099254.4
申请日：2005-09-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H05K3/125 , B41J29/393 , H05K2201/09909 , H05K2203/013
Abstract: 设置一种与薄膜图案对应的贮格围堰图案或疏液图案，使其能够在相对于液滴喷出装置的扫描方向倾斜延伸的部分形成良好的薄膜图案。本发明的图案的形成方法包括：形成包围所述图案形成区域的贮格围堰图案的步骤，使(m、n)的可弹落位置与第一液滴的第一投影图像的中心大体一致情况下的所述的第一投影图像的范围，和(m+i、n+j)的可弹落位置与所述的第二液滴的第二投影图像的中心大体一致情况下的所述的第二投影图像的范围，位于所述的物体表面上的图案形成区域内。而且所述的第一液滴和所述的第二液滴，由所述的(m、n)的可弹落位置与所述的(m+i、n+j)的可弹落位置之间的距离所决定，使其在所述图案形成区域上扩展后互相合流。
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公开(公告)号：CN1747625A
公开(公告)日：2006-03-15
申请号：CN200510092168.0
申请日：2005-08-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L29/458 , H01L21/288 , H01L21/76879 , H01L27/1292 , H05K3/125 , H05K2201/09909 , H05K2203/013
Abstract: 提供一种配线图案的形成方法，其中包括：向被围堰图案镶边的图案形成区域中所定的部分喷出液体状导电性材料的液滴，形成将图案形成区域覆盖的导电性材料层的步骤(A)。若将沿着部分的X轴方向的长度定为L，将沿着Y轴方向长度定为M，则被喷出液滴的直径Ф，处于L以下和M以下。而且步骤(A)包括喷出液滴，使液滴的中心与围堰图案间距离至少为直径Ф的1/2倍位置上的步骤(a1)。通过用液滴喷出装置喷出液滴，设置TFT用源电极或漏电极。
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公开(公告)号：CN1740886A
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：CN200510095970.5
申请日：2005-08-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/1368 , H01L29/786
CPC classification number: H01L27/12 , G02F1/136286 , G02F1/1368 , H01L27/124 , H01L27/1292
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够减少干式法和光刻法蚀刻组合的工序次数的有源矩阵基板的制造方法等。有源矩阵基板(20)的制造方法，包括：第1工序，在基板(P)上形成使第1方向或第2方向中某一方的布线(42)在交差部(56)中被截断的栅格图案的布线(40)、(42)、(46)；第2工序，在交差部(56)以及布线(40、42、46)的一部分上形成由绝缘膜和半导体膜(30)构成的层叠部；和第3工序，形成在层叠部上与被截断的布线(42)电联接的导电层(49)以及通过半导体膜(30)与布线(42)电连接的像素电极(45)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101428496B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200810172615.7
申请日：2008-11-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 酒井真理
IPC: B41J2/01 , B41J2/04 , B41J2/07 , B41J29/393 , H05B33/10
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/04541 , B41J2/0456 , B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2202/09 , H01L51/0005
Abstract: 本发明提供液状体的涂敷方法和有机EL元件的制造方法。液状体的涂敷方法从多个喷嘴对涂敷区域喷出至少由1个以上液滴构成的多个液滴群(Gr1、Gr2)，对于各液滴群，提供以修正间隔Δq1作为基准而规格化的多个修正水准，把修正间隔Δq2设定为修正间隔Δq1的3倍的值。向涂敷区域涂敷的液状体的涂敷量，能实现对根据成为基准的驱动信号喷出液滴，构成各液滴群(Gr1、Gr2)时的水准“0”施加以Δq1、2Δq1、3Δq1、4Δq1、5Δq1、6Δq1、7Δq1、8Δq1的等间隔划分的8个水准修正的9个水准的涂敷量。因此，多个驱动信号把修正间隔Δq1作为基准，最多生成5种对基准的驱动信号加以修正的修正驱动信号。
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公开(公告)号：CN101037043A
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN200710085590.2
申请日：2007-03-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供即使液滴更微细化，也能够进行高精度描绘的液滴喷头的制造方法、液滴喷头以及液滴喷出装置的制造方法、液滴喷出装置。而且，即使喷嘴的指向有微小偏差，也能够实现高精度的描绘。液滴喷头具备与作为压力室的材料室连接、形成有作为喷出液滴的贯通部的喷嘴(21)的基板即喷嘴板(59)，具有在作为喷嘴板(59)的贯通部的喷嘴(21)上形成的用于引导液滴的多个液滴引导部(22)，各液滴引导部(22)朝喷出液滴的方向具有一定的曲率而延伸。
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公开(公告)号：CN1790664A
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：CN200510118663.4
申请日：2005-11-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L21/768 , H01L23/522
CPC classification number: H05K3/125 , H01L27/3244 , H01L51/0004 , H01L2924/0002 , H05K2201/09727 , H05K2201/09909 , H05K2203/013 , H01L2924/00
Abstract: 一种衬底(P)，在衬底表面形成薄膜图案，该衬底(P)具有能注入功能液(L)的液体注入部(A2)、功能液(L)能流动地连接配置的液体流动部(A1)。在液体注入部(A2)和液体流动部(A1)的线宽度上，液体注入部(A2)的宽度(d)以液体流动部(A1)的线宽度(b)的2倍以下形成。提供能以良好的精度稳定形成细线状的微细薄膜图案的薄膜图案形成衬底、器件的制造方法、电光装置、电子机器。
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公开(公告)号：CN1769988A
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN200510118637.1
申请日：2005-11-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L27/1292 , G02F1/13439 , H01L27/1296 , H01L27/3244 , H01L51/0005
Abstract: 本发明可以通过使在围堰部(B)上形成的线状区域(A)的液体注入部(A1)与液体流动部(A2)的线宽相等，使液体注入部(A1)的功能液(L1)的压力P1与液体流动部(A2)的功能液(L2)的压力P2变得大致相等，在基板(P)上形成凹凸不平少的薄膜图案。由此，本发明提供一种能够精度良好且稳定地形成细线状的微细的膜图案的薄膜图案基板、器件的制造方法、和电光学装置以及电子设备。
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公开(公告)号：CN1764334A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200510116455.0
申请日：2005-10-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H05K3/125 , H01L21/288 , H01L21/76838 , H01L27/1292 , H01L29/4908 , H05K2201/09727 , H05K2201/09781 , H05K2203/013 , H05K2203/1476 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明的图案形成方法，是在形成功能性膜之前，将设计图案分割成子区域，而且将该多个子区域分类成彼此不相邻的多个组。首先，对第1组进行描绘、干燥，形成布线膜(38a)、(38b)、(38d)，然后，对第2组进行描绘，形成液状体的图案(33c)、(33e)、(33f)、(33g)。然后经过干燥工序，完成一体化的功能性膜。由此，本发明提供在形成功能性膜的图案时可以在线宽或形状等方面高精度地形成的图案形成方法以及功能性膜。
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