液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法

    公开(公告)号:CN100415521C

    公开(公告)日:2008-09-03

    申请号:CN200480028843.7

    申请日:2004-08-19

    Abstract: 液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造工艺。该液体喷射头包括:用于加热保持在液体腔中的液体的加热元件和用于驱动所述加热元件的半导体器件,它们整体地固定在预定衬底上,并且通过驱动所述加热元件而从预定喷嘴喷射液滴,其中:用于保护加热元件不受液体影响的绝缘保护层和用于将半导体器件连接到加热元件的金属布线层顺序设置在加热元件的液体腔侧上;并且金属布线层通过利用设置在所述绝缘保护层中的开口形成的接触部分连接到加热元件,并且,述金属布线层通过利用蚀刻气体的干法蚀刻进行所引起的构图而形成并伴随有由于驱动加热元件所致的热作用部分中的金属布线层的去除。

    液体喷头以及液体喷射装置

    公开(公告)号:CN100357106C

    公开(公告)日:2007-12-26

    申请号:CN200510005595.0

    申请日:2005-01-21

    CPC classification number: B41J2/14145 B41J2/1408 B41J2002/14387

    Abstract: 本发明公开了一种液体喷头,包括:至少一个头芯片,包括位于一基板表面上的多个加热元件;喷嘴板,具有设置在相应加热元件上的喷嘴;阻挡层,设置在所述头芯片和所述喷嘴板之间;容器,位于所述加热元件和喷嘴板之间,所述容器由部分阻挡层限定;共用流动路径,与所述容器连通;以及液体存储腔室,位于除了容器所在区域以外的基板表面中的至少一个区域上,该液体存储腔室由部分阻挡层限定并且与所述共用流动路径和容器连通,该液体存储腔室存储液体使得部分喷嘴板与液体接触。

    液体喷头以及液体喷射装置

    公开(公告)号:CN1644376A

    公开(公告)日:2005-07-27

    申请号:CN200510005595.0

    申请日:2005-01-21

    CPC classification number: B41J2/14145 B41J2/1408 B41J2002/14387

    Abstract: 本发明公开了一种液体喷头,包括:至少一个头芯片,包括位于一基板表面上的多个加热元件;喷嘴板,具有设置在相应加热元件上的喷嘴;阻挡层,设置在所述头芯片和所述喷嘴板之间;容器,位于所述加热元件和喷嘴板之间,所述容器由部分阻挡层限定;共用流动路径,与所述容器连通;以及液体存储腔室,位于除了容器所在区域以外的基板表面中的至少一个区域上,该液体存储腔室由部分阻挡层限定并且与所述共用流动路径和容器连通,该液体存储腔室存储液体使得部分喷嘴板与液体接触。

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