公开(公告)号：CN114206793B

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202080054588.2

申请日：2020-06-05

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 长野干雄 ,  稻叶诚二 ,  斋藤泰成 ,  玉井喜芳 ,  小野和孝 ,  小林悠波

IPC: C03C3/068 ,  C03C3/085 ,  C03C3/087 ,  C03C3/091 ,  C03C3/095 ,  C03C3/097 ,  H01L23/15

Abstract: 本发明实现了挠曲的抑制与轻量化。支承玻璃基板(10)的杨氏模量(GPa)相对于密度(g/cm3)的比率为37.0(GPa·cm3/g)以上，且是大于比率算出值的值，该比率算出值是根据组成而算出的杨氏模量(GPa)相对于密度(g/cm3)的比率。比率算出值由下式表示。α＝2·Σ{(Vi·Gi)/Mi)·Xi}。这里，Vi为支承玻璃基板10中所含的金属氧化物的填充参数，Gi为支承玻璃基板(10)中所含的金属氧化物的解离能，Mi为支承玻璃基板(10)中所含的金属氧化物的分子量，Xi为支承玻璃基板10中所含的金属氧化物的摩尔比。

公开(公告)号：CN118388132A

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202410102638.X

申请日：2024-01-24

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 矶部卫 ,  小林悠波 ,  诹访出

IPC: C03C3/076 ,  C03C3/091 ,  C03C3/093 ,  C03C3/095 ,  C03C3/083 ,  C03C3/085 ,  C03C3/087 ,  C03C3/089

Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够抑制破裂的玻璃基板。玻璃基板10是一种在表面10A上形成有点104的玻璃基板，且在形成有点104的区域中，不包含裂纹，形成有点104的区域的延迟为50nm以下。

公开(公告)号：CN117099197A

公开(公告)日：2023-11-21

申请号：CN202280026357.X

申请日：2022-03-30

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 小林悠波 ,  吉田雄一 ,  花岛圭辅

IPC: H01L23/15

Abstract: 抑制尺寸精度的降低。玻璃基板的制造方法是支承半导体器件的玻璃基板的制造方法，生成玻璃母板，测定玻璃母板的厚度、厚度偏差以及翘曲量，基于玻璃母板的厚度来分选玻璃母板，切断分选出的玻璃母板而生成多个玻璃坯板，基于玻璃母板的厚度、厚度偏差以及翘曲量来设定玻璃坯板的第一研磨条件，基于第一研磨条件研磨玻璃坯板的表面而生成玻璃板，测定玻璃板的厚度、厚度偏差以及翘曲量，基于玻璃板的厚度来分选玻璃板，基于玻璃板的厚度、厚度偏差以及翘曲量来设定玻璃板的第二研磨条件，基于第二研磨条件研磨分选出的玻璃板的表面而生成边的长度为300mm以上且厚度为0.5mm以上的矩形的玻璃基板。

公开(公告)号：CN118800731A

公开(公告)日：2024-10-18

申请号：CN202410426418.2

申请日：2024-04-10

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 胜野枫 ,  小林悠波 ,  堀内浩平

IPC: H01L23/29 ,  H01L23/544

Abstract: 本发明提供标记容易读取的玻璃基板。本发明是在表面设置有由多个点构成的标记的玻璃基板。点具有：凹陷部，该凹陷部是从表面凹陷的部分；和突出部，该突出部在玻璃基板的厚度方向上比凹陷部突出。突出部在与点的轮廓重叠的位置或比轮廓靠内侧的位置延伸。

公开(公告)号：CN114206793A

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN202080054588.2

申请日：2020-06-05

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 长野干雄 ,  稻叶诚二 ,  斋藤泰成 ,  玉井喜芳 ,  小野和孝 ,  小林悠波

IPC: C03C3/068 ,  C03C3/085 ,  C03C3/087 ,  C03C3/091 ,  C03C3/095 ,  C03C3/097 ,  H01L23/15

Abstract: 本发明实现了挠曲的抑制与轻量化。支承玻璃基板(10)的杨氏模量(GPa)相对于密度(g/cm3)的比率为37.0(GPa·cm3/g)以上，且是大于比率算出值的值，该比率算出值是根据组成而算出的杨氏模量(GPa)相对于密度(g/cm3)的比率。比率算出值由下式表示。α＝2·Σ{(Vi·Gi)/Mi)·Xi}。这里，Vi为支承玻璃基板10中所含的金属氧化物的填充参数，Gi为支承玻璃基板(10)中所含的金属氧化物的解离能，Mi为支承玻璃基板(10)中所含的金属氧化物的分子量，Xi为支承玻璃基板10中所含的金属氧化物的摩尔比。